Feadán Próisis Scaipthe Sileacain Charbíde SiC

Feadán Próisis Scaipthe Sileacain Charbíde SiC

Feadáin Foirnéise Scaipthe Carbíde SileacainIs comhpháirteanna tábhachtacha iad a úsáidtear i bpróisis leathsheoltóra, cóireála teasa ardteochta, agus ullmhúcháin ábhar. Úsáidtear iad go príomha mar sheomra tacaíochta agus imoibrithe le haghaidh foirnéisí idirleata nó foirnéisí ocsaídiúcháin, ag déanamh próiseas ar nós imoibriú atmaisféarach, ocsaídiú, idirleata, agus annealing i dtimpeallachtaí ardteochta, an-chreimneach.
Speisialtóireacht VET Energy is ea dearadh agus monarú feadáin charbaíde sileacain (SiC) le haghaidh feidhmeanna leathsheoltóra ardteochta agus creimneach. Le háiseanna táirgthe chun cinn agus teicneolaíochtaí CVD agus shintéirithe dílseánaigh, seachadann muid feadáin a bhfuil cobhsaíocht theirmeach den scoth, friotaíocht ocsaídiúcháin agus saolré seirbhíse fada acu.

Buntáistí feadáin SiC VET Energy:

Íonacht Thar a Bheith Ard:Déantar é a tháirgeadh trí phróiseas speisialta sintéirithe, agus laghdaítear eisíontais miotail dhíobhálacha (amhail Na, K, Fe, agus Al) go dtí an leibhéal ppb.
Gásáil Thar a Bheith Íseal:Faoi thimpeallachtaí ardteochta agus ardfholús, tá an t-asghrádú gásála i bhfad níos ísle ná mar atá i gcás grianchloch, rud a chuireann cosc ​​​​éifeachtach ar éilliú seomra an phróisis, a chinntíonn cáilíocht intreach na scannán tanaí taiscthe nó fás criostail, agus a fheabhsaíonn toradh an táirge go suntasach (go háirithe ríthábhachtach d’eipeitacsas SiC, fás GaN, agus táirgeadh sileacain aonchriostail ard-deireadh).
Cobhsaíocht Ardteochta:Is féidir teochtaí oibriúcháin fadtéarmacha os cionn 1600°C (i bhfad os cionn phointe bogúcháin grianchloch, thart ar 1200°C) a bheith ann, agus is féidir le teochtaí gearrthéarmacha teochtaí níos airde fós a sheasamh (amhail 1800°C), rud a chomhlíonann riachtanais ardteochta leathsheoltóirí agus próiseas fáis criostail an tríú glúin.
Friotaíocht in aghaidh Creimeadh Ceimiceach:An-fhriotaitheach in aghaidh gás an-chreimneach amhail HCl, Cl₂, agus HF, chomh maith le sileacan leáite agus gal miotail, ag cothabháil sláine struchtúrach agus bailchríoch dromchla in atmaisféir chasta amhail CVD, idirleathadh, ocsaídiú, agus greanadh, le saolré i bhfad níos faide ná saolré feadáin foirnéise grianchloiche.
Seoltacht Theirmeach den Scoth:Tá a sheoltacht theirmeach i bhfad níos mó ná seoltacht theirmeach grianchloch, rud a chuireann ar chumas dáileadh teochta foirnéise níos tapúla agus níos aonfhoirmí agus a fheabhsaíonn aonfhoirmeacht agus in-athdhéantacht an phróisis. Tá sé seo ríthábhachtach go háirithe i gcás próiseála il-shrutháin mhóra (m.sh., foirnéisí idirleata fótavoltacha agus imoibreoirí MOCVD).
Cobhsaíocht Thomhasach:Cinntíonn a chomhéifeacht leathnúcháin theirmigh thar a bheith íseal go gcoinníonn an feadán foirnéise geoiméadracht an-chobhsaí fiú nuair a bhíonn luaineachtaí teochta arís agus arís eile agus go mór ann, rud a chuireann cosc ​​ar theip séalaithe nó ar thiúchan struis de bharr leathnú agus crapadh teirmeach.
Marthanacht:A bhuíochas dá chruas agus a neart ard, tá airíonna meicniúla den scoth ag an bhfeadán foirnéise, rud a fhágann go bhfuil sé frithsheasmhach in aghaidh dífhoirmithe agus damáiste.

Feidhmchlár tipiciúil:

Déantúsaíocht Leathsheoltóra:Fás eipitacsach SiC/GaN (MOCVD, HTCVD), eipitacsach bunaithe ar sileacan, idirleathadh/ocsaídiú/annéalú ardteochta (RTP), agus LPCVD.

Tionscal Fótavoltach:Idirleathadh ardteochta (idirleathadh fosfair/bóróin) agus annéalú cealla gréine sileacain chriostalach.