غیر محفوظ ٹینٹلم کاربائیڈ لیپت گریفائٹ رنگ

غیر محفوظ ٹینٹلم کاربائیڈ لیپت گریفائٹ رنگ
غیر محفوظ ٹینٹلم کاربائیڈ (TaC) لیپت گریفائٹسیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کے اعلی درجہ حرارت، انتہائی سنکنرن ماحول کے لیے خاص طور پر تیار کیا گیا ایک اہم مواد ہے۔ اس کا سبسٹریٹ ہائی پیوریٹی آئسوسٹیٹک گریفائٹ ہے، جو کیمیائی بخارات جمع (CVD) کا استعمال کرتے ہوئے یکساں طور پر غیر محفوظ ٹینٹلم کاربائیڈ کوٹنگ کے ساتھ لیپت ہے۔ TaC کی سختی بہت زیادہ ہے (Mohs پیمانے پر 9-10) اور پگھلنے کا نقطہ 3880°C ہے۔ گریفائٹ کے بہترین تھرمل استحکام اور ہلکے وزن کی خصوصیات کے ساتھ مل کر، یہ مواد کیمیائی حملے اور تھرمل جھٹکے کے خلاف مزاحمت کے ساتھ اعلی درجہ حرارت کی طاقت کو یکجا کرتا ہے، یہ انتہائی حالات میں کام کرنے والے سیمی کنڈکٹر پراسیس آلات کے لیے ایک مثالی انتخاب بناتا ہے۔

غیر محفوظ ٹینٹلم کاربائیڈ گریفائٹ کے فوائد:
1. انتہائی اعلی سنکنرن مزاحمت
-TaC کیمیاوی طور پر غیر فعال ہے، مؤثر طریقے سے ہالوجن جیسے فلورین اور کلورین سے سنکنرن کے خلاف مزاحمت کرتا ہے، جو سامان کی زندگی کو نمایاں طور پر بڑھاتا ہے۔
غیر محفوظ ڈھانچہ کوٹنگ کی سطح کے رقبے کو بڑھاتا ہے، ایک زیادہ مضبوط حفاظتی رکاوٹ بناتا ہے اور ذرات کے بہانے کے خطرے کو کم کرتا ہے۔
2. بہترین اعلی درجہ حرارت استحکام
-ایک پگھلنے کا نقطہ 4000 ° C تک پہنچنے کے ساتھ، یہ خلا میں یا 2500 ° C سے زیادہ غیر فعال ماحول میں طویل مدت تک کام کر سکتا ہے۔
- کوٹنگ کا تھرمل ایکسپینشن گتانک گریفائٹ کے ساتھ انتہائی مماثل ہے، تھرمل سائیکلنگ کی وجہ سے کریکنگ اور ڈیلامینیشن کو روکتا ہے۔
3. اعلی طہارت اور کم آلودگی
سیمی کنڈکٹر گریڈ کے خام مال اور عمل کا استعمال کرتے ہوئے، دھات کی ناپاکی کا مواد انتہائی کم ہوتا ہے، جس سے ویفر کی آلودگی کا خطرہ نمایاں طور پر کم ہوتا ہے۔
-سطح گھنی اور کیمیاوی طور پر مستحکم ہے، ذرہ کی پیداوار کو کم کرتی ہے اور کلین روم کے سخت معیارات کو پورا کرتی ہے۔
4. اپنی مرضی کے مطابق ڈیزائن
پیچیدہ شکلیں کسٹمر ڈرائنگ کے مطابق تیار کی جا سکتی ہیں، اور زیادہ سے زیادہ گیس کے بہاؤ اور تھرمل چالکتا کو حاصل کرنے کے لیے پورسٹی اور کوٹنگ کی موٹائی کو کنٹرول کیا جا سکتا ہے۔
5. لمبی عمر اور کم دیکھ بھال کی لاگت
غیر محفوظ ٹی اے سی کوٹنگز کی انتہائی زیادہ سنکنرن اور پہننے کی مزاحمت روایتی گریفائٹ کے مقابلے اجزاء کی زندگی میں 3-5 گنا اضافہ کرتی ہے، متبادل فریکوئنسی اور دیکھ بھال کے اخراجات کو کم کرتی ہے۔

مین ایپلی کیشنز
1. ویفر مینوفیکچرنگ کے لیے بنیادی اجزاء
- CVD/ALD آلات کے لیے ری ایکشن چیمبر لائنرز، چکرا، اور شاور ہیڈ
- PVD ہدف کی حمایت کرتا ہے۔
- بازی، آکسیکرن، اینیلنگ، اور دیگر عملوں کے لیے اعلی درجہ حرارت کے عمل کے اجزاء
2. کیمیائی بخارات جمع کرنے کے نظام
- عمل کے دوران انتہائی سنکنرن ماحول (جیسے فلورائیڈز اور کلورائیڈ) میں کلیدی اجزاء کی حفاظت
3. دیگر اعلی درجہ حرارت corrosive ماحول
- کیمیائی گیس صاف کرنے، خصوصی حرارتی علاج کی بھٹیوں اور دیگر ایپلی کیشنز کے لیے موزوں ہے۔