PECVD לאָודינג טאַץ דעפּאַזישאַן גראַפיט טאַץ

VET ענערגיע PECVD לאָודינג טאַץ איז אַ פּרעציזיע טרעגער דיזיינד פֿאַר PECVD (פּלאַזמע ענהאַנסט כעמישער פארע דעפּאָזיציע) פּראָצעס. די הויך-קוואַליטעט דעפּאָזיציע גראַפיט טאַץ איז געמאַכט פון הויך-ריינקייט, הויך-דענסיטי גראַפיט מאַטעריאַל. עס האט ויסגעצייכנט הויך טעמפּעראַטור קעגנשטעל, קעראָוזשאַן קעגנשטעל, דימענשאַנאַל פעסטקייט און אנדערע קעראַקטעריסטיקס. עס קען צושטעלן אַ סטאַביל טרעגער פּלאַטפאָרמע פֿאַר PECVD פּראָצעס און ענשור די יונאַפאָרמאַטי און פלאַךקייט פון פילם דעפּאָזיציע.

VET ענערגיע PECVD לאָודינג טאַץ ווערן ברייט געניצט אין האַלב-קאָנדוקטאָר, פאָטאָוואָלטאַיק, LED און אַנדערע פעלדער. למשל:

▪ האַלב-קאָנדוקטאָר: PECVD פּראָצעס פֿאַר האַלב-קאָנדוקטאָר מאַטעריאַלן ווי סיליקאָן וועיפערס און עפּיטאַקסיאַל וועיפערס.

▪ פאָטאָוואָלטאַיש: PECVD פּראָצעס פֿאַר דין פילמען פון זונ - צעלן.

▪ LED: PECVD פּראָצעס פֿאַר LED טשיפּס.

פּראָדוקט מעלות

▪פֿאַרבעסערן פֿילם קוואַליטעט:ענשור מונדיר פילם דעפּאַזישאַן און פֿאַרבעסערן פילם קוואַליטעט.

▪פֿאַרלענגערן די לעבן פֿון עקוויפּמענט:אויסגעצייכנטע קעראָוזשאַן קעגנשטעל, פאַרלענגערן די לעבן פון PECVD עקוויפּמענט.

▪רעדוצירן פּראָדוקציע קאָסטן:הויך-קוואַליטעט גראַפיט טאַץ קענען רעדוצירן סקראָט קורס און רעדוצירן פּראָדוקציע קאָס.