Piştgiriya Waferê ya Grafîtê ya PECVD

Wêneya Taybetmendî ya Piştgiriya Wafera Grafîtê ya PECVD

Danasîna Kurt:

Piştgiriya Wafla Grafîtê ya VET Energy, ku ji bo rastbûn û performansê hatiye sêwirandin, materyalê îdeal e ji bo karanîna di pêvajoya wafla pêşketî de, ku li wir aramiya germî ya bilind û performansa domdar girîng in. Çi hûn bi waflên nîvconductor an jî bi substratên din ên hesas re dixebitin, ev piştgiriya grafîtê ya bi kalîte bilind dê pêbaweriya pêvajoya we û kalîteya hilberê zêde bike, û wê bike pêkhateyek neçar ji bo hilberîna nûjen.

Ji me re e-nameyek bişînin Dakêşin wek PDF

Hûrguliyên Berhemê

Etîketên Berheman

Piştgiriya wafla grafîtê ya pêvajoya VET Energy PECVD madeyek bingehîn a xerckirinê ye ku ji bo pêvajoya PECVD (depozîtasyona buxara kîmyewî ya bi plazmaya zêdekirî) hatiye çêkirin. Ev berhem ji materyalê grafîtê ya paqijiya bilind û densiteya bilind hatiye çêkirin, bi berxwedana germahiya bilind, berxwedana korozyonê, aramiya boyûtî û taybetmendiyên din ên hêja, dikare platformek piştgirîya domdar ji bo pêvajoya PECVD peyda bike, da ku yekrengî û rûtbûna depozîtasyona fîlmê misoger bike.

Sêwirana "piştgiriya grafît" a piştgiriya wafla grafît a VET Energy ne tenê dikare bi bandor waflê piştgirî bike, lê di heman demê de di hawîrdora PECVD ya germahiya bilind û zexta bilind de aramiya germî peyda dike da ku aramiya pêvajoyê misoger bike.

Piştgiriya waflên grafîtê ya pêvajoya VET Energy PECVD xwedî taybetmendiyên jêrîn e:

▪Paqijiya bilind:naveroka nepakiyê pir kêm e, ji qirêjbûna fîlimê dûr bisekinin, da ku kalîteya fîlimê misoger bikin.

▪Densiteya bilind:dendika bilind, hêza mekanîkî ya bilind, dikare li hember germahiya bilind û zexta bilind li hember jîngeha PECVD bisekine.

▪Stabîlîteya baş a boyûtê:guhertinên pîvanî yên piçûk di germahiya bilind de ji bo misogerkirina aramiya pêvajoyê.

▪Gehîneriya germî ya hêja:bi bandor germê veguhezîne da ku pêşî li germbûna zêde ya waferê bigire.

▪Berxwedana korozyonê ya bihêz:Dikare li hember erozyonê ji hêla gelek gazên korozîf û plazmayê ve li ber xwe bide.

▪Xizmeta xwerûkirî:Tabloyên piştgiriyê yên grafîtê yên bi mezinahî û şêweyên cûda dikarin li gorî hewcedariyên xerîdar werin xweş kirin.

Materyalê grafîtê ji SGL:

Parametreya tîpîk: R6510
Naverok	Standarda ceribandinê	Giranî	Yekbûn
Mezinahiya navînî ya genim	ISO 13320	10	μm
Tîrbûna girseyî	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Porozîteya vekirî	DIN66133	10	%
Mezinahiya porên navîn	DIN66133	1.8	μm
Permeability	DIN 51935	0.06	cm²/s
Hişkbûna Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Berxwedana elektrîkê ya taybetî	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Hêza xwarbûnê	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Hêza zextê	DIN 51910	130	MPa
Modula Young	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Berfirehbûna germî (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Germahiya guhêrbar (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Ew bi taybetî ji bo çêkirina şaneyên rojê yên bi karîgeriya bilind hatiye sêwirandin, ku piştgirî dide pêvajoya waferên mezin ên G12. Sêwirana hilgirê çêtirînkirî bi girîngî hilberînê zêde dike, rêjeyên berhemdariyê yên bilindtir û lêçûnên hilberînê yên kêmtir dike.

Şanî	Awa	Hilgirê waferê yê hejmarî
Qeyika Grephite ya PEVCD - Rêzeya 156	qeyika grefît a 156-13	144
	qeyika grefît a 156-19	216
	qeyika grefît a 156-21	240
	Qeyika grafîtê 156-23	308
Qeyika Grephite ya PEVCD - Seriya 125	Qeyika grefît a 125-15	196
	Qeyika grefît a 125-19	252
	qeyika grafît a 125-21	280