PECVD Graphite Wafer қолдауы

PECVD графитті вафли қолдауы таңдаулы кескіні

Қысқаша сипаттама:

Дәлдік пен өнімділік үшін әзірленген VET Energy компаниясының графит пластинасының тірегі жоғары термиялық тұрақтылық пен тұрақты өнімділік маңызды болып табылатын кеңейтілген пластинаны өңдеуде пайдалану үшін тамаша материал болып табылады. Жартылай өткізгішті пластиналармен немесе басқа нәзік субстраттармен жұмыс істесеңіз де, бұл жоғары сапалы графит тірегі процесс сенімділігі мен өнім сапасын арттырып, оны заманауи өндіріс үшін таптырмас құрамдас етеді.

Бізге электрондық поштаны жіберіңіз PDF ретінде жүктеп алыңыз

Өнімнің егжей-тегжейі

Өнім тегтері

VET Energy PECVD процесінің графит пластинасы PECVD (плазмада жақсартылған химиялық бу тұндыру) процесіне арналған негізгі шығын материалы болып табылады. Бұл өнім жоғары температураға төзімділігі, коррозияға төзімділігі, өлшемдік тұрақтылығы және басқа сипаттамалары бар жоғары таза, тығыздығы жоғары графит материалынан жасалған, пленка тұндыруының біркелкілігі мен тегістігін қамтамасыз ету үшін PECVD процесі үшін тұрақты қолдау платформасын қамтамасыз ете алады.

VET Energy графит пластинкасының тіреуішінің «графиттік тірек» дизайны пластинаны тиімді қолдап қана қоймайды, сонымен қатар процестің тұрақтылығын қамтамасыз ету үшін жоғары температура мен жоғары қысымды PECVD ортасында термиялық тұрақтылықты қамтамасыз ете алады.

VET Energy PECVD процесінің графит пластинасы келесі сипаттамаларға ие:

▪Жоғары тазалық:өте төмен қоспа құрамы, пленканың ластануын болдырмаңыз, пленка сапасын қамтамасыз етеді.

▪Жоғары тығыздық:жоғары тығыздық, жоғары механикалық беріктік, жоғары температура мен жоғары қысымды PECVD ортасына төтеп бере алады.

▪Жақсы өлшемдік тұрақтылық:процестің тұрақтылығын қамтамасыз ету үшін жоғары температурада шағын өлшемді өзгерістер.

▪Өте жақсы жылу өткізгіштік:вафлидің қызып кетуін болдырмау үшін жылуды тиімді тасымалдаңыз.

▪Күшті коррозияға төзімділік:Әртүрлі коррозиялық газдар мен плазма арқылы эрозияға қарсы тұруға қабілетті.

▪Жекелеген қызмет:Әртүрлі өлшемдегі және пішіндегі графиттік қолдау кестелерін тұтынушы қажеттіліктеріне сәйкес реттеуге болады.

SGL графит материалы:

Әдеттегі параметр: R6510
Индекс	Сынақ стандарты	Мән	Бірлік
Дәннің орташа мөлшері	ISO 13320	10	мкм
Көлемдік тығыздық	DIN IEC 60413/204	1.83	г/см³
Ашық кеуектілік	DIN66133	10	%
Кеуектің орташа мөлшері	DIN66133	1.8	мкм
Өткізгіштік	DIN 51935	0,06	см²/с
Роквелл қаттылығы HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Меншікті электр кедергісі	DIN IEC 60413/402	13	мкм
Иілу күші	DIN IEC 60413/501	60	МПа
Қысу күші	DIN 51910	130	МПа
Янг модулі	DIN 51915	11,5×10³	МПа
Термиялық кеңею (20-200℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Жылу өткізгіштік (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Ол G12 үлкен өлшемді вафлиді өңдеуді қолдайтын жоғары тиімді күн батареяларын өндіру үшін арнайы жасалған. Оңтайландырылған тасымалдаушы дизайны өнімділіктің жоғарылауына және өндіріс шығындарының төмендеуіне мүмкіндік беретін өнімділікті айтарлықтай арттырады.

Элемент	Түр	Вафельді тасымалдаушы нөмір
PEVCD Grephite қайығы - 156 сериясы	156-13 грефиттік қайық	144
	156-19 грефитті қайық	216
	156-21 грефиттік қайық	240
	156-23 графит қайық	308
PEVCD Grephite қайығы - 125 сериясы	125-15 грефиттік қайық	196
	125-19 грефиттік қайық	252
	125-21 грфиттік қайық	280