PECVD Grafita Oblateta Subteno

Mallonga Priskribo:

Dizajnita por precizeco kaj rendimento, la Grafita Vafla Subteno de VET Energy estas la ideala materialo por uzo en progresinta vafla prilaborado, kie alta termika stabileco kaj konstanta rendimento estas kritikaj. Ĉu vi laboras kun duonkonduktaĵaj vafloj aŭ aliaj delikataj substratoj, ĉi tiu altkvalita grafita subteno plibonigos vian procezan fidindecon kaj produktokvaliton, igante ĝin nemalhavebla komponanto por moderna fabrikado.

Sendu retpoŝton al ni Elŝuti kiel PDF

Produkta Detalo

Produktaj Etikedoj

La grafita subtenilo por la PECVD-procezo de VET Energy estas kerna konsumaĵo desegnita por la PECVD-procezo (plasmo-plibonigita kemia vapora deponado). Ĉi tiu produkto estas farita el alt-pura, alt-denseca grafita materialo, kun bonega rezisto al altaj temperaturoj, korodrezisto, dimensia stabileco kaj aliaj karakterizaĵoj, povas provizi stabilan subtenan platformon por la PECVD-procezo, por certigi la homogenecon kaj platecon de la filmdeponado.

La dezajno de "grafita subteno" de la grafita oblato-subteno de VET Energy povas ne nur efike subteni la oblaton, sed ankaŭ provizi termikan stabilecon en la alta temperaturo kaj alta premo PECVD-medio por certigi la stabilecon de la procezo.

La grafita vafla subteno de VET Energy PECVD-procezo havas la jenajn karakterizaĵojn:

▪Alta pureco:ekstreme malalta enhavo de malpuraĵoj, evitu poluadon de la filmo, por certigi la kvaliton de la filmo.

▪Alta denseco:alta denseco, alta mekanika forto, povas elteni altan temperaturon kaj altan premon PECVD-medion.

▪Bona dimensia stabileco:malgrandaj dimensiaj ŝanĝoj ĉe alta temperaturo por certigi la stabilecon de la procezo.

▪Bonega varmokondukteco:efike transdonas varmon por malhelpi trovarmiĝon de la oblato.

▪Forta korodrezisto:Kapabla rezisti erozion per diversaj korodaj gasoj kaj plasmo.

▪Personigita servo:Grafitaj subtentabloj de malsamaj grandecoj kaj formoj povas esti adaptitaj laŭ la bezonoj de la kliento.

Grafita materialo de SGL:

Tipa parametro: R6510
Indekso	Testnormo	Valoro	Unuo
Meza grengrandeco	ISO 13320	10	μm
Groca denseco	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³³
Malferma poreco	DIN66133	10	%
Meza porgrandeco	DIN66133	1.8	μm
Permeablo	DIN 51935	0.06	cm²/s
Rockwell-malmoleco HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Specifa elektra rezisteco	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Fleksforto	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Kunprema forto	DIN 51910	130	MPa
Modulo de Young	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Termika ekspansio (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Termika konduktiveco (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Ĝi estas specife desegnita por alt-efikeca fabrikado de sunĉeloj, subtenante la prilaboradon de grand-grandaj oblatoj G12. Optimumigita dezajno de portanto signife pliigas la trairon, ebligante pli altajn rendimentojn kaj pli malaltajn produktokostojn.

Ero	Tipo	Numero-oblato-portanto
PEVCD Grephite-boato - La serio 156	156-13 grefita boato	144
	156-19 grefita boato	216
	156-21 grefita boato	240
	156-23 grafita boato	308
PEVCD Grephite-boato - La 125-serio	125-15 grefita boato	196
	125-19 grefita boato	252
	125-21 grafita boato	280