Appoġġ tal-Wafer tal-Grafita PECVD

Deskrizzjoni Qasira:

Iddisinjat għall-preċiżjoni u l-prestazzjoni, l-Appoġġ tal-Wafer tal-Grafita ta' VET Energy huwa l-materjal ideali għall-użu fl-ipproċessar avvanzat tal-wejfers, fejn l-istabbiltà termali għolja u l-prestazzjoni konsistenti huma kritiċi. Kemm jekk qed taħdem ma' wejfers tas-semikondutturi jew sottostrati delikati oħra, dan l-appoġġ tal-grafita ta' kwalità għolja se jtejjeb l-affidabbiltà tal-proċess tiegħek u l-kwalità tal-prodott, u jagħmilha komponent indispensabbli għall-manifattura moderna.

Ibgħatilna email Niżżel bħala PDF

Dettalji tal-Prodott

Tikketti tal-Prodott

L-appoġġ tal-wejfer tal-grafita tal-proċess PECVD ta' VET Energy huwa konsumabbli ewlieni ddisinjat għall-proċess PECVD (depożizzjoni kimika tal-fwar imsaħħa bil-plażma). Dan il-prodott huwa magħmul minn materjal tal-grafita ta' purità għolja u densità għolja, b'reżistenza eċċellenti għat-temperatura għolja, reżistenza għall-korrużjoni, stabbiltà dimensjonali u karatteristiċi oħra, jista' jipprovdi pjattaforma ta' appoġġ stabbli għall-proċess PECVD, biex jiżgura l-uniformità u l-flatness tad-depożizzjoni tal-film.

Id-disinn ta' "appoġġ tal-grafita" tal-appoġġ tal-wejfer tal-grafita VET Energy mhux biss jista' jappoġġja l-wejfer b'mod effettiv, iżda jipprovdi wkoll stabbiltà termali fl-ambjent PECVD ta' temperatura għolja u pressjoni għolja biex jiżgura l-istabbiltà tal-proċess.

L-appoġġ tal-wejfer tal-grafita tal-proċess PECVD ta' VET Energy għandu l-karatteristiċi li ġejjin:

▪Purità għolja:Kontenut ta' impurità baxx ħafna, evita l-kontaminazzjoni tal-film, biex tiżgura l-kwalità tal-film.

▪Densità għolja:Densità għolja, saħħa mekkanika għolja, tista' tiflaħ temperatura għolja u ambjent PECVD bi pressjoni għolja.

▪Stabbiltà dimensjonali tajba:bidliet żgħar fid-dimensjonijiet f'temperatura għolja biex tiġi żgurata l-istabbiltà tal-proċess.

▪Konduttività termali eċċellenti:jittrasferixxi s-sħana b'mod effettiv biex jipprevjeni s-sħana żejda tal-wejfer.

▪Reżistenza qawwija għall-korrużjoni:Kapaċi jirreżisti l-erożjoni minn diversi gassijiet korrużivi u plażma.

▪Servizz personalizzat:Imwejjed ta' appoġġ tal-grafita ta' daqsijiet u forom differenti jistgħu jiġu personalizzati skont il-bżonnijiet tal-klijent.

Materjal tal-grafita minn SGL:

Parametru tipiku: R6510
Indiċi	Standard tat-test	Valur	Unità
Daqs medju tal-qamħ	ISO 13320	10	μm
Densità tal-massa	DIN IEC 60413/204	1.83	g/ċm³
Porożità miftuħa	DIN66133	10	%
Daqs medju tal-pori	DIN66133	1.8	μm
Permeabilità	DIN 51935	0.06	ċm²/s
Ebusija Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Reżistività elettrika speċifika	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Saħħa flessibbli	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Saħħa kompressiva	DIN 51910	130	MPa
Modulu ta' Young	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Espansjoni termali (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Konduttività termali (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Huwa ddisinjat speċifikament għall-manifattura ta' ċelloli solari b'effiċjenza għolja, u jappoġġja l-ipproċessar ta' wejfers ta' daqs kbir G12. Id-disinn ottimizzat tat-trasportatur iżid b'mod sinifikanti l-produzzjoni, u jippermetti rati ta' rendiment ogħla u spejjeż ta' produzzjoni aktar baxxi.

Oġġett	Tip	Numru tat-trasportatur tal-wejfer
Dgħajsa PEVCD Grephite - Is-serje 156	Dgħajsa tal-grefit 156-13	144
	Dgħajsa tal-grefit 156-19	216
	Dgħajsa tal-grefit 156-21	240
	Dgħajsa tal-grafita 156-23	308
Dgħajsa PEVCD Grephite - Is-serje 125	Dgħajsa tal-grefit 125-15	196
	Dgħajsa tal-grefit 125-19	252
	Dgħajsa tal-grafita 125-21	280