Suport pentru napolitane din grafit PECVD

Imagine prezentată pentru suportul de napolitane din grafit PECVD

Scurtă descriere:

Conceput pentru precizie și performanță, suportul de grafit pentru napolitane de la VET Energy este materialul ideal pentru utilizare în procesarea avansată a napolitanelor, unde stabilitatea termică ridicată și performanța constantă sunt esențiale. Indiferent dacă lucrați cu napolitane semiconductoare sau alte substraturi delicate, acest suport de grafit de înaltă calitate va îmbunătăți fiabilitatea procesului și calitatea produsului, făcându-l o componentă indispensabilă pentru producția modernă.

Trimiteți-ne un e-mail Descărcați ca PDF

Detalii produs

Etichete de produs

Suportul de napolitană din grafit pentru procesul PECVD de la VET Energy este un consumabil principal conceput pentru procesul PECVD (depunere chimică în fază de vapori îmbunătățită cu plasmă). Acest produs este fabricat din material grafit de înaltă puritate și densitate, cu rezistență excelentă la temperaturi ridicate, rezistență la coroziune, stabilitate dimensională și alte caracteristici, putând oferi o platformă de suport stabilă pentru procesul PECVD, pentru a asigura uniformitatea și planeitatea depunerii peliculei.

Designul „suportului de grafit” al suportului de napolitană de grafit VET Energy nu numai că poate susține eficient napolitana, dar poate oferi și stabilitate termică în mediul PECVD la temperatură ridicată și presiune ridicată pentru a asigura stabilitatea procesului.

Suportul pentru napolitane de grafit din procesul PECVD de la VET Energy are următoarele caracteristici:

▪Puritate ridicată:conținut extrem de scăzut de impurități, pentru a evita contaminarea peliculei, pentru a asigura calitatea acesteia.

▪Densitate mare:densitate mare, rezistență mecanică ridicată, poate rezista la temperaturi ridicate și presiuni ridicate în mediul PECVD.

▪Stabilitate dimensională bună:mici modificări dimensionale la temperatură ridicată pentru a asigura stabilitatea procesului.

▪Conductivitate termică excelentă:transferă eficient căldura pentru a preveni supraîncălzirea plachetei.

▪Rezistență puternică la coroziune:Capabil să reziste eroziunii cauzate de diverse gaze corozive și plasmă.

▪Serviciu personalizat:Mesele suport din grafit de diferite dimensiuni și forme pot fi personalizate în funcție de nevoile clientului.

Material grafit de la SGL:

Parametru tipic: R6510
Index	Standard de testare	Valoare	Unitate
Dimensiunea medie a granulelor	ISO 13320	10	μm
Densitatea în vrac	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Porozitate deschisă	DIN66133	10	%
Dimensiune medie a porilor	DIN66133	1.8	μm
Permeabilitate	DIN 51935	0,06	cm²/s
Duritate Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Rezistență electrică specifică	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Rezistență la încovoiere	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Rezistență la compresiune	DIN 51910	130	MPa
Modulul lui Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Expansiune termică (20-200℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Conductivitate termică (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Este special conceput pentru fabricarea de celule solare de înaltă eficiență, suportând procesarea de plachete de dimensiuni mari G12. Designul optimizat al purtătorilor crește semnificativ randamentul, permițând rate de randament mai mari și costuri de producție mai mici.

Articol	Tip	Suport de napolitane cu număr
Barcă PEVCD Grephite - Seria 156	Barcă de grefit 156-13	144
	Barcă de grefit 156-19	216
	Barcă de grefit 156-21	240
	Barcă de grafit 156-23	308
Barcă PEVCD Grephite - Seria 125	Barcă de grefit 125-15	196
	Barcă din grefit 125-19	252
	Barcă din grafită 125-21	280