Fanohanana Wafer Grafita PECVD

Sary nasongadina momba ny fanohanana ny Wafer Grafita PECVD

Famaritana fohy:

Natao ho an'ny fahamarinan-toerana sy ny fahombiazana, ny Fanohanana Grafita avy amin'ny VET Energy no fitaovana tsara indrindra ampiasaina amin'ny fanodinana wafer mandroso, izay tena ilaina ny fahamarinan-toerana ara-hafanana avo lenta sy ny fahombiazana tsy tapaka. Na miasa amin'ny wafer semiconductor na substrate marefo hafa ianao, ity fanohanana grafita avo lenta ity dia hanatsara ny fahatokisan'ny fizotranao sy ny kalitaon'ny vokatra, ka mahatonga azy io ho singa tena ilaina amin'ny famokarana maoderina.

Alefaso mailaka aminay Sintomy amin'ny endrika PDF

Antsipirian'ny vokatra

Marika vokatra

Ny fanohanana ny takelaka grafita VET Energy PECVD dia fitaovana fototra natao ho an'ny fizotran'ny PECVD (plasma enhanced chemical evaporation deposition). Ity vokatra ity dia vita amin'ny fitaovana grafita avo lenta sy matevina, miaraka amin'ny fanoherana tsara ny mari-pana avo lenta, ny harafesina, ny fahamarinan-toerana amin'ny refy ary ny toetra hafa, afaka manome sehatra fanohanana marin-toerana ho an'ny fizotran'ny PECVD, mba hahazoana antoka fa mitovy sy fisaka ny fametrahana sarimihetsika.

Ny endrika "fanohanana grafita" an'ny fanohanana wafer grafita VET Energy dia tsy vitan'ny hoe afaka manohana tsara ny wafer fotsiny, fa manome fahamarinan-toerana ara-hafanana ihany koa ao anatin'ny tontolo PECVD avo lenta sy avo lenta mba hahazoana antoka ny fahamarinan'ny dingana.

Ireto avy ny toetra mampiavaka ny fanohanana ny takelaka grafita VET Energy PECVD:

▪Fahadiovana avo lenta:ambany dia ambany ny loto ao anatiny, mba tsy ho voaloto ny sarimihetsika, mba hahazoana antoka ny kalitaon'ny sarimihetsika.

▪Haavo be:hakitroky avo, tanjaka mekanika avo, mahatanty mari-pana avo sy tsindry avo lenta amin'ny tontolo PECVD.

▪Fahamarinan-toerana tsara amin'ny refy:fiovana kely amin'ny refy amin'ny mari-pana avo mba hahazoana antoka ny fahamarinan'ny dingana.

▪Fitondran-tena mafana tsara dia tsara:mamindra hafanana amin'ny fomba mahomby mba hisorohana ny hafanan'ny wafer.

▪Fanoherana harafesina matanjaka:Afaka manohitra ny fahasimban'ny entona sy plasma isan-karazany.

▪Serivisy namboarina manokana:Azo amboarina araka ny filàn'ny mpanjifa ny latabatra fanohanana grafita amin'ny habe sy endrika samihafa.

Akora grafita avy amin'ny SGL:

Paramètre mahazatra: R6510
Fanondroana	Fenitra fitsapana	sarobidy	Singa
Haben'ny voam-bary antonony	ISO 13320	10	μm
Hakitroky ny ambongadiny	DIN IEC 60413/204	1.83	g/sm³
Porosité misokatra	DIN66133	10	%
Haben'ny mason-koditra antonony	DIN66133	1.8	μm
Fahaiza-miditra	DIN 51935	0.06	sm²/s
Hamafin'ny Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90 taona	HR
Resistivity elektrika manokana	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Tanjaky ny fihenjanana	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Tanjaky ny famoretana	DIN 51910	130	MPa
Modulus an'i Young	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Fitomboana mafana (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Fitondran-tena mafana (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Natao manokana ho an'ny famokarana sela masoandro mahomby avo lenta izy io, manohana ny fanodinana wafer lehibe G12. Ny endrika mpitatitra nohatsaraina dia mampitombo be ny vokatra, ka ahafahana mahazo vokatra ambony kokoa sy mampihena ny vidin'ny famokarana.

zavatra	Karazana	Mpitatitra wafer isa
Sambo PEVCD Grephite - Andiany 156	Sambo grefita 156-13	144
	Sambo grefita 156-19	216
	Sambo grefita 156-21	240
	Sambo grafita 156-23	308
Sambo PEVCD Grephite - Ny andiany 125	Sambo grefita 125-15	196
	Sambo grefita 125-19	252
	Sambo grifit 125-21	280