ការគាំទ្របន្ទះក្រាហ្វីត PECVD

បន្ទះទ្រទ្រង់ក្រាហ្វីតដំណើរការ VET Energy PECVD គឺជាសម្ភារៈស្នូលដែលត្រូវបានរចនាឡើងសម្រាប់ដំណើរការ PECVD (ការដាក់ចំហាយគីមីដែលបង្កើនដោយប្លាស្មា)។ ផលិតផលនេះត្រូវបានផលិតពីវត្ថុធាតុក្រាហ្វីតដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ដង់ស៊ីតេខ្ពស់ ជាមួយនឹងភាពធន់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ភាពធន់នឹងការច្រេះ ស្ថេរភាពវិមាត្រ និងលក្ខណៈផ្សេងៗទៀត អាចផ្តល់នូវវេទិកាទ្រទ្រង់ដែលមានស្ថេរភាពសម្រាប់ដំណើរការ PECVD ដើម្បីធានាបាននូវឯកសណ្ឋាន និងភាពរាបស្មើនៃការដាក់ស្រទាប់ខ្សែភាពយន្ត។

ការរចនា "ការគាំទ្រក្រាហ្វីត" នៃការគាំទ្របន្ទះក្រាហ្វីត VET Energy មិនត្រឹមតែអាចទ្រទ្រង់បន្ទះក្រាហ្វីតបានយ៉ាងមានប្រសិទ្ធភាពប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែថែមទាំងផ្តល់នូវស្ថេរភាពកម្ដៅនៅក្នុងបរិយាកាសសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងសម្ពាធខ្ពស់ PECVD ដើម្បីធានាបាននូវស្ថេរភាពនៃដំណើរការ។

ការគាំទ្របន្ទះក្រាហ្វីតដំណើរការ VET Energy PECVD មានលក្ខណៈដូចខាងក្រោម៖

▪ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់៖មាតិកាមិនបរិសុទ្ធទាបបំផុត ជៀសវាងការចម្លងរោគនៃខ្សែភាពយន្ត ដើម្បីធានាគុណភាពនៃខ្សែភាពយន្ត។

▪ដង់ស៊ីតេខ្ពស់៖ដង់ស៊ីតេខ្ពស់ កម្លាំងមេកានិចខ្ពស់ អាចទប់ទល់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងសម្ពាធខ្ពស់នៃបរិស្ថាន PECVD។

▪ស្ថេរភាពវិមាត្រល្អ៖ការផ្លាស់ប្តូរវិមាត្រតូចៗនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ដើម្បីធានាបាននូវស្ថេរភាពនៃដំណើរការ។

▪ចរន្តកំដៅដ៏ល្អឥតខ្ចោះ៖ផ្ទេរកំដៅប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាព ដើម្បីការពារការឡើងកំដៅខ្លាំងពេកនៃបន្ទះ wafer។

▪ភាពធន់នឹងការច្រេះខ្លាំង៖អាចទប់ទល់នឹងសំណឹកដោយឧស្ម័ន និងប្លាស្មាដែលกัดกร่อนជាច្រើន។

▪សេវាកម្មតាមតម្រូវការ៖តុទ្រទ្រង់ក្រាហ្វីតដែលមានទំហំ និងរូបរាងផ្សេងៗគ្នាអាចត្រូវបានប្ដូរតាមបំណងតាមតម្រូវការរបស់អតិថិជន។