PECVD grafiidist vahvli tugi

Lühike kirjeldus:

Täpsuse ja jõudluse tagamiseks loodud VET Energy grafiidist vahvli tugi on ideaalne materjal täiustatud vahvlitöötluses kasutamiseks, kus kõrge termiline stabiilsus ja järjepidev jõudlus on kriitilise tähtsusega. Olenemata sellest, kas töötate pooljuhtvahvlite või muude õrnade aluspindadega, suurendab see kvaliteetne grafiidist tugi teie protsessi usaldusväärsust ja toote kvaliteeti, muutes selle tänapäevase tootmise asendamatuks komponendiks.

Saada meile e-kiri Laadi alla PDF-failina

Toote üksikasjad

Tootesildid

VET Energy PECVD protsessi grafiidist vahvli tugi on PECVD (plasma abil keemilise sadestamise) protsessi jaoks mõeldud südamiktarvik. See toode on valmistatud kõrge puhtusastmega ja suure tihedusega grafiitmaterjalist, millel on suurepärane kõrge temperatuuritaluvus, korrosioonikindlus, mõõtmete stabiilsus ja muud omadused, mis pakuvad PECVD protsessi jaoks stabiilset tugiplatvormi, et tagada kile sadestamise ühtlus ja tasasus.

VET Energy grafiitplaatide toe "grafiittoe" disain mitte ainult ei toeta plaati tõhusalt, vaid tagab ka termilise stabiilsuse kõrge temperatuuri ja kõrgsurve PECVD keskkonnas, et tagada protsessi stabiilsus.

VET Energy PECVD protsessil valmistatud grafiidist vahvli toel on järgmised omadused:

▪Kõrge puhtusastmega:Äärmiselt madal lisandite sisaldus, vältige kile saastumist, et tagada kile kvaliteet.

▪Suur tihedus:kõrge tihedusega, kõrge mehaanilise tugevusega, talub kõrgeid temperatuure ja kõrgsurve PECVD keskkonda.

▪Hea mõõtmete stabiilsus:väikesed mõõtmete muutused kõrgel temperatuuril, et tagada protsessi stabiilsus.

▪Suurepärane soojusjuhtivus:tõhusalt soojust üle kanda, et vältida kiibi ülekuumenemist.

▪Tugev korrosioonikindlus:Suudab vastu seista erinevate söövitavate gaaside ja plasma erosioonile.

▪Kohandatud teenus:Erineva suuruse ja kujuga grafiidist tugilaudu saab vastavalt kliendi vajadustele kohandada.

SGL-i grafiitmaterjal:

Tüüpiline parameeter: R6510
Indeks	Katsestandard	Väärtus	Ühik
Keskmine tera suurus	ISO 13320	10	μm
Mahutihedus	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Avatud poorsus	DIN66133	10	%
Keskmise suurusega poorid	DIN66133	1.8	μm
Läbilaskvus	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rockwelli kõvadus HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Spetsiifiline elektriline takistus	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Paindetugevus	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Survetugevus	DIN 51910	130	MPa
Youngi moodul	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Soojuspaisumine (20–200 ℃)	DIN 51909	4,2x10^-6	K^-1
Soojusjuhtivus (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

See on spetsiaalselt loodud suure tõhususega päikesepatareide tootmiseks, toetades G12 suurte vahvlite töötlemist. Optimeeritud kanduri disain suurendab oluliselt läbilaskevõimet, võimaldades suuremat tootlikkust ja madalamaid tootmiskulusid.

Ese	Tüüp	Numbriline kiibikandja
PEVCD Grephite paat - 156 seeria	156-13 grefiitpaat	144
	156-19 grefiitpaat	216
	156-21 grefiitpaat	240
	156-23 grafiidist paat	308
PEVCD Grephite paat - 125. seeria	125-15 grefiitpaat	196
	125-19 grefiitpaat	252
	125-21 grafiidist paat	280