Kākoʻo Wafer Graphite PECVD

Kiʻi i hōʻike ʻia no ke kākoʻo ʻana i ka PECVD Graphite Wafer

Wehewehe Pōkole:

Hoʻolālā ʻia no ka pololei a me ka hana, ʻo ke kākoʻo wafer Graphite a VET Energy ka mea kūpono no ka hoʻohana ʻana i ka hana wafer holomua, kahi e koʻikoʻi ai ke kūpaʻa wela kiʻekiʻe a me ka hana mau. Inā ʻoe e hana ana me nā wafers semiconductor a i ʻole nā mea palupalu ʻē aʻe, e hoʻonui kēia kākoʻo graphite kiʻekiʻe i ka hilinaʻi o kāu kaʻina hana a me ka maikaʻi o ka huahana, e lilo ia i mea nui no ka hana hou.

E leka uila mai iā mākou Hoʻoiho ma ke ʻano he PDF

Nā kikoʻī huahana

Nā Lepili Huahana

ʻO ke kākoʻo wafer graphite kaʻina hana VET Energy PECVD kahi mea hoʻopau koʻikoʻi i hoʻolālā ʻia no ke kaʻina hana PECVD (plasma enhanced chemical vapor deposition). Hana ʻia kēia huahana me ka mea graphite maʻemaʻe kiʻekiʻe, me ke kūpaʻa wela kiʻekiʻe maikaʻi loa, ke kūpaʻa i ka pala, ke kūpaʻa dimensional a me nā ʻano ʻē aʻe, hiki ke hāʻawi i kahi kahua kākoʻo paʻa no ke kaʻina hana PECVD, e hōʻoia i ka like a me ka palahalaha o ka waiho ʻana o ka ʻiliʻili.

ʻAʻole hiki i ka hoʻolālā "kākoʻo graphite" o ke kākoʻo wafer graphite VET Energy ke kākoʻo pono i ka wafer, akā hāʻawi pū i ke kūpaʻa wela i ke anuanu kiʻekiʻe a me ke kaomi kiʻekiʻe o ke kaiapuni PECVD e hōʻoia i ke kūpaʻa o ke kaʻina hana.

ʻO ke kākoʻo wafer graphite kaʻina hana VET Energy PECVD nā ʻano penei:

▪Maʻemaʻe kiʻekiʻe:haʻahaʻa loa ka ʻike haumia, pale i ka haumia o ke kiʻiʻoniʻoni, e hōʻoia i ka maikaʻi o ke kiʻiʻoniʻoni.

▪Kiʻekiʻe ka nui:ke kiʻekiʻe o ka nui, ka ikaika mechanical kiʻekiʻe, hiki ke kū i ke kiʻekiʻe o ka mahana a me ke kaomi kiʻekiʻe o ke kaiapuni PECVD.

▪Paʻa maikaʻi o ka ana:nā loli liʻiliʻi liʻiliʻi ma ka mahana kiʻekiʻe e hōʻoia i ke kūpaʻa o ke kaʻina hana.

▪Ka hoʻokele wela maikaʻi loa:hoʻoili pono i ka wela e pale ai i ka wela nui ʻana o ka wafer.

▪Ke kūpaʻa ikaika i ka pala:Hiki ke pale aku i ka ʻino ʻana e nā kinoea ʻino a me ka plasma.

▪Hana lawelawe i hoʻopilikino ʻia:Hiki ke hoʻopilikino ʻia nā papa kākoʻo graphite o nā nui like ʻole a me nā ʻano e like me nā pono o ka mea kūʻai aku.

Mea graphite mai SGL:

ʻO ke ana maʻamau: R6510
Papa Kuhikuhi	Kūlana hoʻāʻo	Waiwai	ʻĀpana
Ka nui o ka palaoa maʻamau	ISO 13320	10	μm
Ka nui o ka nui	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Ka porosity hāmama	DIN66133	10	%
Ka nui o nā pore waena	DIN66133	1.8	μm
Ka hiki ke komo	DIN 51935	0.06	kenimika²/s
ʻO ka paʻakikī Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Ke kū'ē uila kiko'ī	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Ikaika kūlou	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Ikaika hoʻopaʻa	DIN 51910	130	MPa
Modulus o Young	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Hoʻonui wela (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Ka hoʻokele wela (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Ua hoʻolālā kūikawā ʻia no ka hana ʻana i nā cell solar kiʻekiʻe, e kākoʻo ana i ka hana wafer nui G12. Hoʻonui nui ka hoʻolālā lawe i hoʻomaikaʻi ʻia i ka throughput, e hiki ai ke kiʻekiʻe i nā helu hua a me nā kumukūʻai hana haʻahaʻa.

Mea	ʻAno	Mea lawe wafer helu
Waʻa PEVCD Grephite - Ka moʻo 156	156-13 waʻa grephite	144
	156-19 waʻa grephite	216
	156-21 waʻa grephite	240
	156-23 waʻa graphite	308
Waʻa PEVCD Grephite - Ka moʻo 125	waʻa grephite 125-15	196
	125-19 waʻa grephite	252
	125-21 waʻa griphite	280