VET ענערגיע PECVD פּראָצעס גראַפיט וואַפער שטיצע איז אַ קערן קאָנסומאַבלע דיזיינד פֿאַר PECVD (פּלאַזמע ענהאַנסט כעמישער פארע דעפּאַזישאַן) פּראָצעס. דאָס פּראָדוקט איז געמאַכט פון הויך-ריינקייט, הויך-דענסיטי גראַפיט מאַטעריאַל, מיט ויסגעצייכנט הויך טעמפּעראַטור קעגנשטעל, קעראָוזשאַן קעגנשטעל, דימענשאַנאַל פעסטקייט און אנדערע קעראַקטעריסטיקס, קענען צושטעלן אַ סטאַביל שטיצע פּלאַטפאָרמע פֿאַר PECVD פּראָצעס, צו ענשור די יונאַפאָרמאַטי און פלאַךקייט פון פילם דעפּאַזישאַן.
דער "גראַפיט שטיצע" פּלאַן פון VET ענערגיע גראַפיט וועיפער שטיצע קען ניט נאָר עפעקטיוו שטיצן די וועיפער, אָבער אויך צושטעלן טערמישע פעסטקייט אין די הויך טעמפּעראַטור און הויך דרוק PECVD סוויווע צו ענשור די פעסטקייט פון די פּראָצעס.
VET ענערגיע PECVD פּראָצעס גראַפיט וועיפער שטיצע האט די פאלגענדע קעראַקטעריסטיקס:
▪הויך ריינקייט:גאָר נידעריקע אומריינקייט אינהאַלט, פאַרמייַדן קאַנטאַמאַניישאַן פון די פילם, צו ענשור די קוואַליטעט פון די פילם.
▪הויכע געדיכטקייט:הויך געדיכטקייט, הויך מעטשאַניקאַל שטאַרקייט, קענען וויטסטאַנד הויך טעמפּעראַטור און הויך דרוק PECVD סוויווע.
▪גוטע דימענשאַנאַל פעסטקייט:קליינע דימענסיאָנעלע ענדערונגען ביי הויכער טעמפּעראַטור צו ענשור די פעסטקייט פון דעם פּראָצעס.
▪אויסגעצייכנטע טערמישע קאַנדאַקטיוויטי:עפעקטיוולי אַריבערפירן היץ צו פאַרמייַדן ווייפער אָוווערכיטינג.
▪שטאַרקע קעראָוזשאַן קעגנשטעל:קענען זיך קעגנשטעלן קעגן עראזיע דורך פארשידענע קאראזיווע גאזן און פלאזמע.
▪קאַסטאַמייזד סערוויס:גראַפיט שטיצע טישן פון פאַרשידענע סיזעס און שאַפּעס קענען זיין קאַסטאַמייזד לויט קונה באדערפענישן.
גראַפיט מאַטעריאַל פֿון SGL:
| טיפּישער פּאַראַמעטער: R6510 | |||
| אינדעקס | טעסט סטאַנדאַרט | ווערט | איינהייט |
| דורכשניטלעכע קערל גרייס | ISO 13320 | 10 | מיקראָמעטער |
| מאַסע געדיכטקייט | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | ג/קמ3 |
| אפענע פּאָראָזיטעט | דין66133 | 10 | % |
| מיטל פּאָרע גרייס | דין66133 | 1.8 | מיקראָמעטער |
| דורכדרינגלעכקייט | דין 51935 | 0.06 | סענטימעטער²/סעק. |
| ראָקוועל כאַרדנאַס HR5/100 | דין IEC60413/303 | 90 | HR |
| ספּעציפֿיש עלעקטריש קעגנשטאַנד | דין IEC 60413/402 | 13 | מיקראָמעהעם |
| בייגונג שטאַרקייט | דין IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| קאָמפּרעסיוו שטאַרקייט | דין 51910 | 130 | MPa |
| יונגס מאָדולוס | דין 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| טערמישע עקספּאַנשאַן (20-200 ℃) | דין 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| טערמישע קאַנדאַקטיוויטי (20℃) | דין 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
עס איז ספּעציעל דיזיינד פֿאַר הויך-עפֿעקטיוו זונ - צעל פּראָדוקציע, שטיצנדיק G12 גרויס-גרייס וועיפֿער פּראַסעסינג. אָפּטימיזירטער קעריער פּלאַן פֿאַרגרעסערט באַדייטנד די דורכפֿלוס, וואָס ערמעגליכט העכערע פּראָדוקציע ראַטעס און נידעריקערע פּראָדוקציע קאָסטן.
| אייטעם | טיפּ | נומער וועיפער טרעגער |
| PEVCD גרעפיטע שיפל - די 156 סעריע | 156-13 גרעפיטע שיף | 144 |
| 156-19 גרעפיטע שיף | 216 | |
| 156-21 גרעפיטע שיף | 240 | |
| 156-23 גראַפיט שיפל | 308 | |
| PEVCD גרעפיטע שיפל - די 125 סעריע | 125-15 גרעפיטע שיפל | 196 |
| 125-19 גרעפיטע שיפל | 252 | |
| 125-21 גראַפֿיט שיפל | 280 |
-
צושטעלן פון הויך ריינקייט גראַפיט בלאָק טראָגן-קעגנשטעליק ...
-
הויך ריינקייט גראַפיט פּלאַטע הויך טעמפּעראַטור און ...
-
מנהג הויך ריינקייט גראַפיט פּאַפּיר, קינסטלעך ס ...
-
הויך טעמפּעראַטור קאַנדאַקטיוו גראַפיט רוט הויך פּ ...
-
גראַפיט/קאַרבאָן פיבער געפלאָכטענע שנור פֿאַר וואַקוום פֿ...
-
נייַ אולטרא-הויך טערמישע קאַנדאַקטיוויטי פלעקסאַבאַל גר ...

