VET Energy PECVD prosesi qrafit lövhə dayağı, PECVD (plazma ilə gücləndirilmiş kimyəvi buxar çökdürmə) prosesi üçün hazırlanmış əsas istehlak materialıdır. Bu məhsul yüksək təmizlikli, yüksək sıxlıqlı qrafit materialından hazırlanmışdır, əla yüksək temperatur müqavimətinə, korroziyaya davamlılığa, ölçülü stabilliyə və digər xüsusiyyətlərə malikdir, PECVD prosesi üçün sabit bir dəstək platforması təmin edə bilər ki, bu da film çökdürməsinin vahidliyini və düzlüyünü təmin edir.
VET Energy qrafit lövhə dayağının "qrafit dayağı" dizaynı lövhəni effektiv şəkildə dəstəkləməklə yanaşı, prosesin sabitliyini təmin etmək üçün yüksək temperatur və yüksək təzyiqli PECVD mühitində istilik sabitliyi təmin edə bilər.
VET Energy PECVD prosesi qrafit lövhə dəstəyi aşağıdakı xüsusiyyətlərə malikdir:
▪Yüksək təmizlik:Filmin keyfiyyətini təmin etmək üçün son dərəcə aşağı çirk tərkibi, filmin çirklənməsinin qarşısını alır.
▪Yüksək sıxlıq:yüksək sıxlıq, yüksək mexaniki möhkəmlik, yüksək temperatur və yüksək təzyiqli PECVD mühitinə tab gətirə bilər.
▪Yaxşı ölçülü sabitlik:prosesin sabitliyini təmin etmək üçün yüksək temperaturda kiçik ölçülü dəyişikliklər.
▪Əla istilik keçiriciliyi:lövhənin həddindən artıq istiləşməsinin qarşısını almaq üçün istiliyi effektiv şəkildə ötürün.
▪Güclü korroziyaya davamlılıq:Müxtəlif korroziyalı qazlar və plazma ilə eroziyaya qarşı dura bilir.
▪Xüsusi xidmət:Müxtəlif ölçülü və formalı qrafit dayaq masaları müştəri ehtiyaclarına uyğun olaraq fərdiləşdirilə bilər.
SGL-dən qrafit materialı:
| Tipik parametr: R6510 | |||
| İndeks | Test standartı | Dəyər | Vahid |
| Orta taxıl ölçüsü | ISO 13320 | 10 | μm |
| Toplu sıxlıq | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | q/sm33 |
| Açıq məsaməlilik | DIN66133 | 10 | % |
| Orta məsamə ölçüsü | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Keçiricilik | DIN 51935 | 0.06 | sm²/s |
| Rokvell sərtliyi HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Xüsusi elektrik müqaviməti | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Bükülmə gücü | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Sıxılma gücü | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Yanq modulu | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| Termal genişlənmə (20-200℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| İstilik keçiriciliyi (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Xüsusilə yüksək səmərəli günəş batareyası istehsalı üçün hazırlanmışdır və G12 böyük ölçülü lövhə emalını dəstəkləyir. Optimallaşdırılmış daşıyıcı dizaynı məhsuldarlığı əhəmiyyətli dərəcədə artırır, daha yüksək məhsuldarlıq nisbətlərinə və daha aşağı istehsal xərclərinə imkan verir.
| Məhsul | Növü | Nömrə lövhəsi daşıyıcısı |
| PEVCD Qrefit qayığı - 156 seriyası | 156-13 qrefit qayığı | 144 |
| 156-19 qrefit qayığı | 216 | |
| 156-21 qrefit qayığı | 240 | |
| 156-23 qrafit qayığı | 308 | |
| PEVCD Qrefit qayığı - 125 seriyası | 125-15 qrefit qayığı | 196 |
| 125-19 qrefit qayığı | 252 | |
| 125-21 grphite qayığı | 280 |
