PECVD ग्रेफाइट वेफर समर्थन

VET Energy PECVD प्रक्रिया ग्रेफाइट वेफर समर्थन PECVD (प्लाज्मा एन्हान्स्ड केमिकल वाष्प निक्षेपण) प्रक्रियाको लागि डिजाइन गरिएको एक मुख्य उपभोग्य वस्तु हो। यो उत्पादन उच्च-शुद्धता, उच्च-घनत्व ग्रेफाइट सामग्रीबाट बनेको छ, उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिरोध, जंग प्रतिरोध, आयामी स्थिरता र अन्य विशेषताहरू सहित, PECVD प्रक्रियाको लागि स्थिर समर्थन प्लेटफर्म प्रदान गर्न सक्छ, फिल्म निक्षेपणको एकरूपता र समतलता सुनिश्चित गर्न।

VET Energy ग्रेफाइट वेफर सपोर्टको "ग्रेफाइट सपोर्ट" डिजाइनले वेफरलाई प्रभावकारी रूपमा समर्थन मात्र गर्दैन, तर प्रक्रियाको स्थिरता सुनिश्चित गर्न उच्च तापक्रम र उच्च चाप PECVD वातावरणमा थर्मल स्थिरता पनि प्रदान गर्दछ।

VET Energy PECVD प्रक्रिया ग्रेफाइट वेफर समर्थनमा निम्न विशेषताहरू छन्:

▪उच्च शुद्धता:अत्यन्तै कम अशुद्धता सामग्री, फिल्मको गुणस्तर सुनिश्चित गर्न फिल्मको प्रदूषणबाट बच्नुहोस्।

▪उच्च घनत्व:उच्च घनत्व, उच्च यान्त्रिक शक्ति, उच्च तापक्रम र उच्च दबाव PECVD वातावरण सामना गर्न सक्छ।

▪राम्रो आयामी स्थिरता:प्रक्रियाको स्थिरता सुनिश्चित गर्न उच्च तापक्रममा साना आयामी परिवर्तनहरू।

▪उत्कृष्ट तापीय चालकता:वेफरलाई अत्यधिक तातो हुनबाट रोक्न प्रभावकारी रूपमा ताप स्थानान्तरण गर्नुहोस्।

▪बलियो जंग प्रतिरोध:विभिन्न संक्षारक ग्याँसहरू र प्लाज्मा द्वारा क्षरण प्रतिरोध गर्न सक्षम।

▪अनुकूलित सेवा:विभिन्न आकार र आकारका ग्रेफाइट समर्थन तालिकाहरू ग्राहकको आवश्यकता अनुसार अनुकूलित गर्न सकिन्छ।