PECVD Grafit Wafer Destegi

Gysgaça düşündiriş:

Takyklyk we öndürijilik üçin niýetlenen VET Energy-niň Grafit Wafer Daýanjy ýokary termal durnuklylygyň we yzygiderli öndürijiligiň möhüm bolan öňdebaryjy wafer gaýtadan işlemekde ulanmak üçin iň amatly materialdyr. Ýarymgeçiriji waferler ýa-da beýleki inçe substratlar bilen işleýän bolsaňyzam, bu ýokary hilli grafit daýanjy prosesiňiziň ygtybarlylygyny we önümiň hilini ýokarlandyrar we ony häzirki zaman önümçiligi üçin aýrylmaz bölek eder.

Bize e-poçta iberiň PDF görnüşinde göçürip alyň

Önümiň jikme-jiklikleri

Önümiň tegleri

VET Energy PECVD prosesiniň grafit plastinka daýagy PECVD (plazma arkaly güýçlendirilen himiki bug çökündisi) prosesi üçin niýetlenen esasy sarp ediji materialdyr. Bu önüm ýokary arassalykly, ýokary dykyzlykly grafit materialyndan ýasalyp, ajaýyp ýokary temperatura çydamlylygyna, korroziýa garşylygyna, ölçeg durnuklylygyna we beýleki häsiýetlere eýe bolup, PECVD prosesi üçin durnukly goldaw platformasyny üpjün edip, plýonka çökündisiniň birmeňzeşligini we tekizligini üpjün edip biler.

"VET Energy" grafit plastinka daýanjynyň "grafit daýanjy" dizaýny plastinkany netijeli goldamak bilen çäklenmän, eýsem, ýokary temperatura we ýokary basyşly PECVD gurşawynda termal durnuklylygy üpjün edip, prosesiň durnuklylygyny üpjün edip bilýär.

VET Energy PECVD proses grafit wafer daýanjy aşakdaky häsiýetlere eýedir:

▪Ýokary arassalyk:plýonkanyň hilini üpjün etmek üçin gaty az hapaçylyk mukdary, plýonkanyň hapalanmagynyň öňüni almak.

▪Ýokary dykyzlyk:ýokary dykyzlyk, ýokary mehaniki berklik, ýokary temperatura we ýokary basyşly PECVD gurşawyna çydap bilýär.

▪Gowy ölçegli durnuklylyk:prosesiň durnuklylygyny üpjün etmek üçin ýokary temperaturada kiçi ölçegli üýtgeşmeler.

▪Ajaýyp ýylylyk geçirijiligi:plastilin gyzgynlygynyň öňüni almak üçin ýylylygy netijeli geçirýär.

▪Güýçli korroziýa garşylygy:Dürli aşyndyryjy gazlar we plazma bilen eroziýa garşy durup bilýär.

▪Özleşdirilen hyzmat:Dürli ölçegdäki we görnüşdäki grafit goldaw stollaryny müşderiniň isleglerine laýyklykda özleşdirip bolýar.

SGL-den grafit materialy:

Adaty parametr: R6510
Indeks	Synag standarty	Bahasy	Birlik
Ortaça däne ululygy	ISO 13320	10	μm
Köp mukdarda dykyzlyk	DIN IEC 60413/204	1.83	g/sm³
Açyk gözeneklilik	DIN66133	10	%
Orta gözenek ululygy	DIN66133	1.8	μm
Geçirijilik	DIN 51935	0.06	sm²/s
Rokwelliň gatylygy HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Özboluşly elektrik garşylygy	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Bükülme güýji	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Basyş güýji	DIN 51910	130	MPa
Ýangyň moduly	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Termal giňelme (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Ýylylyk geçirijiligi (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Ol, G12 uly göwrümli wafer gaýtadan işlemegini goldaýan ýokary netijeli gün batareýalaryny öndürmek üçin ýörite döredildi. Optimallaşdyrylan daşaýjy dizaýn öndürijiligi ep-esli ýokarlandyrýar, bu bolsa ýokary hasyllylyk depginini we önümçilik çykdajylaryny azaltmaga mümkinçilik berýär.

Haryt	Görnüş	Sanly wafer daşaýjy
PEVCD Grefit gaýygy - 156 seriýasy	156-13 grefit gaýygy	144
	156-19 grefit gaýygy	216
	156-21 grefit gaýygy	240
	156-23 grafit gaýygy	308
PEVCD Grefit gaýygy - 125 seriýasy	125-15 grefit gaýygy	196
	125-19 grefit gaýygy	252
	125-21 grfit gaýygy	280