PECVD nakládací zásobník na nanášení grafitu

Obrázek grafitového zásobníku pro nanášení PECVD

Stručný popis:

Vkládací zásobník PECVD od společnosti VET Energy je navržen tak, aby poskytoval bezpečnou a rovnoměrnou oporu pro destičky během depozice, čímž zlepšuje konzistenci a kvalitu procesu depozice. Díky své vynikající tepelné odolnosti pomáhá grafitový zásobník udržovat kontrolované prostředí uvnitř komor PECVD, čímž snižuje riziko kontaminace a zajišťuje vysokou efektivitu procesu.

Pošlete nám e-mail Stáhnout jako PDF

Detaily produktu

Štítky produktů

VET Energy PECVD nakládací miska je přesný nosič určený pro proces PECVD (plazmou vylepšené chemické nanášení z plynné fáze). Tato vysoce kvalitní grafitová miska pro nanášení je vyrobena z vysoce čistého grafitového materiálu s vysokou hustotou. Má vynikající odolnost proti vysokým teplotám, korozi, rozměrovou stabilitu a další vlastnosti. Může poskytnout stabilní nosičovou platformu pro proces PECVD a zajistit rovnoměrnost a rovinnost nanášení filmu.

Vkládací misky VET Energy PECVD se široce používají v polovodičovém, fotovoltaickém, LED a dalších oblastech. Například:

▪ Polovodič: Proces PECVD pro polovodičové materiály, jako jsou křemíkové destičky a epitaxní destičky.

▪ Fotovoltaika: PECVD proces pro tenké filmy solárních článků.

▪ LED: Proces PECVD pro LED čipy.

Výhody produktu

▪Zlepšení kvality filmu:Zajistěte rovnoměrné nanášení filmu a zlepšete jeho kvalitu.

▪Prodloužení životnosti zařízení:Vynikající odolnost proti korozi, prodloužení životnosti zařízení PECVD.

▪Snižte výrobní náklady:Vysoce kvalitní grafitové misky mohou snížit míru zmetkovitosti a snížit výrobní náklady.

Grafitový materiál od SGL:

Typický parametr: R6510
Index	Zkušební standard	Hodnota	Jednotka
Průměrná velikost zrna	ISO 13320	10	μm
Objemová hustota	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Otevřená pórovitost	DIN66133	10	%
Střední velikost pórů	DIN66133	1,8	μm
Propustnost	DIN 51935	0,06	cm²/s
Tvrdost Rockwella HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Měrný elektrický odpor	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Pevnost v ohybu	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Pevnost v tlaku	DIN 51910	130	MPa
Youngův modul	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Tepelná roztažnost (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2x10^-6	K^-1
Tepelná vodivost (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Je speciálně navržen pro vysoce účinnou výrobu solárních článků a podporuje zpracování velkoformátových destiček G12. Optimalizovaná konstrukce nosičů výrazně zvyšuje propustnost, což umožňuje vyšší výtěžnost a nižší výrobní náklady.

Položka	Typ	Nosič oplatek s číslem
PEVCD Grephite boat - Řada 156	156-13 grefitová loď	144
	156-19 grefitová loď	216
	156-21 grefitová loď	240
	156-23 grafitový člun	308
PEVCD Grephite boat - Řada 125	125-15 grefitová loď	196
	125-19 grefitová loď	252
	125-21 grafitová loď	280