د PECVD ګرافیت ویفر ملاتړ

د VET انرژۍ PECVD پروسې ګرافایټ ویفر ملاتړ د PECVD (پلازما لوړ شوي کیمیاوي بخار زیرمه کولو) پروسې لپاره ډیزاین شوی اصلي مصرفي دی. دا محصول د لوړ پاکوالي، لوړ کثافت ګرافایټ موادو څخه جوړ شوی، د غوره لوړ تودوخې مقاومت، د زنګ مقاومت، ابعادي ثبات او نورو ځانګړتیاو سره، کولی شي د PECVD پروسې لپاره یو باثباته ملاتړ پلیټ فارم چمتو کړي، ترڅو د فلم زیرمه کولو یووالي او فلیټیت ډاډمن کړي.

د VET انرژۍ ګرافایټ ویفر ملاتړ "ګرافایټ ملاتړ" ډیزاین نه یوازې په مؤثره توګه د ویفر ملاتړ کولی شي، بلکې د لوړې تودوخې او لوړ فشار PECVD چاپیریال کې د تودوخې ثبات هم چمتو کوي ترڅو د پروسې ثبات ډاډمن کړي.

د VET انرژۍ PECVD پروسې ګرافایټ ویفر ملاتړ لاندې ځانګړتیاوې لري:

▪لوړ پاکوالی:د فلم د ککړتیا څخه مخنیوی وکړئ، ترڅو د فلم کیفیت ډاډمن شي.

▪لوړ کثافت:لوړ کثافت، لوړ میخانیکي ځواک، کولی شي د لوړې تودوخې او لوړ فشار PECVD چاپیریال سره مقاومت وکړي.

▪ښه ابعادي ثبات:د پروسې ثبات ډاډمن کولو لپاره په لوړه تودوخه کې کوچني ابعادي بدلونونه.

▪غوره حرارتي چالکتیا:په مؤثره توګه تودوخه انتقال کړئ ترڅو د ویفر ډیر ګرمیدو مخه ونیسئ.

▪د زنګ وهلو قوي مقاومت:د مختلفو زنګ وهونکو ګازونو او پلازما لخوا د تخریب په وړاندې مقاومت کولو توان لري.

▪دودیز خدمت:د مختلفو اندازو او شکلونو د ګرافایټ ملاتړ میزونه د پیرودونکو اړتیاو سره سم تنظیم کیدی شي.