Suport de làmines de grafit PECVD

Descripció breu:

Dissenyat per a la precisió i el rendiment, el suport de grafit per a oblies de VET Energy és el material ideal per al seu ús en el processament avançat d'oblies, on una alta estabilitat tèrmica i un rendiment constant són crítics. Tant si treballeu amb oblies de semiconductors com amb altres substrats delicats, aquest suport de grafit d'alta qualitat millorarà la fiabilitat del vostre procés i la qualitat del producte, convertint-lo en un component indispensable per a la fabricació moderna.

Envia'ns un correu electrònic Descarrega com a PDF

Detall del producte

Etiquetes de producte

El suport d'oblies de grafit per al procés PECVD de VET Energy és un consumible principal dissenyat per al procés PECVD (deposició química de vapor millorada per plasma). Aquest producte està fet de material de grafit d'alta puresa i alta densitat, amb una excel·lent resistència a altes temperatures, resistència a la corrosió, estabilitat dimensional i altres característiques, que pot proporcionar una plataforma de suport estable per al procés PECVD, per garantir la uniformitat i la planitud de la deposició de la pel·lícula.

El disseny de "suport de grafit" del suport de l'oblia de grafit de VET Energy no només pot suportar eficaçment l'oblia, sinó que també proporciona estabilitat tèrmica en l'entorn PECVD d'alta temperatura i alta pressió per garantir l'estabilitat del procés.

El suport de galeta de grafit del procés PECVD de VET Energy té les següents característiques:

▪Alta puresa:Contingut d'impureses extremadament baix, evita la contaminació de la pel·lícula, per garantir la qualitat de la pel·lícula.

▪Alta densitat:alta densitat, alta resistència mecànica, pot suportar altes temperatures i altes pressions en un entorn PECVD.

▪Bona estabilitat dimensional:petits canvis dimensionals a alta temperatura per garantir l'estabilitat del procés.

▪Excel·lent conductivitat tèrmica:transfereix eficaçment la calor per evitar el sobreescalfament de la làmina.

▪Forta resistència a la corrosió:Capaç de resistir l'erosió per diversos gasos corrosius i plasma.

▪Servei personalitzat:Les taules de suport de grafit de diferents mides i formes es poden personalitzar segons les necessitats del client.

Material de grafit de SGL:

Paràmetre típic: R6510
Índex	Estàndard de prova	Valor	Unitat
Mida mitjana del gra	ISO 13320	10	μm
Densitat aparent	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Porositat oberta	DIN66133	10	%
Mida mitjana dels porus	DIN66133	1.8	μm
Permeabilitat	DIN 51935	0,06	cm²/s
Duresa Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Resistivitat elèctrica específica	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Resistència a la flexió	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Resistència a la compressió	DIN 51910	130	MPa
Mòdul de Young	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Expansió tèrmica (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Conductivitat tèrmica (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Està dissenyat específicament per a la fabricació de cèl·lules solars d'alta eficiència, i admet el processament d'oblies de gran mida G12. El disseny optimitzat del portador augmenta significativament el rendiment, permetent taxes de rendiment més elevades i costos de producció més baixos.

Ítem	Tipus	Portador de l'oblea número
Vaixell de grefita PEVCD - La sèrie 156	156-13 vaixell de grefit	144
	156-19 vaixell de grefit	216
	156-21 vaixell de grefit	240
	156-23 vaixell de grafit	308
Vaixell PEVCD Grephite - La sèrie 125	Vaixell de grefit 125-15	196
	Vaixell de grefit 125-19	252
	Vaixell de grafit 125-21	280