Підтримка графітової пластини PECVD

Зображення опори для графітової пластини PECVD

Короткий опис:

Розроблений для точності та продуктивності, графітовий носій для пластин від VET Energy є ідеальним матеріалом для використання в передовій обробці пластин, де висока термостабільність та стабільна продуктивність є критично важливими. Незалежно від того, чи працюєте ви з напівпровідниковими пластинами, чи іншими делікатними підкладками, цей високоякісний графітовий носій підвищить надійність вашого процесу та якість продукції, що робить його незамінним компонентом сучасного виробництва.

Надіслати нам електронного листа Завантажити як PDF

Деталі продукту

Теги продукту

Графітовий носій для пластин VET Energy PECVD – це витратний матеріал для серцевини, розроблений для процесу PECVD (плазмохімічного осадження з парової фази). Цей продукт виготовлений з високочистого графітового матеріалу високої щільності, що має відмінну стійкість до високих температур, корозійну стійкість, стабільність розмірів та інші характеристики, може забезпечити стабільну опорну платформу для процесу PECVD, забезпечуючи однорідність та площинність осадження плівки.

Конструкція "графітової опори" графітової опори пластини VET Energy може не тільки ефективно підтримувати пластину, але й забезпечувати термічну стабільність у середовищі PECVD високої температури та високого тиску, гарантуючи стабільність процесу.

Графітовий носій для пластин, виготовлений за технологією PECVD, має такі характеристики:

▪Висока чистота:надзвичайно низький вміст домішок, запобігає забрудненню плівки, щоб забезпечити якість плівки.

▪Висока щільність:висока щільність, висока механічна міцність, витримує високу температуру та високий тиск у середовищі PECVD.

▪Гарна розмірна стабільність:невеликі зміни розмірів за високої температури для забезпечення стабільності процесу.

▪Відмінна теплопровідність:ефективно передають тепло, запобігаючи перегріву пластини.

▪Сильна стійкість до корозії:Здатний протистояти ерозії, викликаній різними агресивними газами та плазмою.

▪Індивідуальне обслуговування:Графітові опорні столи різних розмірів та форм можуть бути виготовлені відповідно до потреб замовника.

Графітовий матеріал від SGL:

Типовий параметр: R6510
Індекс	Стандарт випробування	Значення	Одиниця
Середній розмір зерна	ISO 13320	10	мкм
Насипна щільність	DIN IEC 60413/204	1.83	г/см³
Відкрита пористість	DIN66133	10	%
Середній розмір пор	DIN66133	1.8	мкм
Проникність	ДІН 51935	0,06	см²/с
Твердість по Роквеллу HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Питомий електричний опір	DIN IEC 60413/402	13	мкОм
Міцність на згин	DIN IEC 60413/501	60	МПа
Міцність на стиск	ДІН 51910	130	МПа
Модуль Юнга	ДІН 51915	11,5×10³	МПа
Теплове розширення (20-200℃)	ДІН 51909	4.2X10^-6	K^-1
Теплопровідність (20℃)	ДІН 51908	105	Wm^-1K^-1

Він спеціально розроблений для виробництва високоефективних сонячних елементів, підтримуючи обробку великорозмірних пластин G12. Оптимізована конструкція носіїв значно підвищує пропускну здатність, забезпечуючи вищі показники продуктивності та нижчі виробничі витрати.

Елемент	Тип	Номер носія пластини
Човен PEVCD Grephite - серія 156	156-13 грефітовий човен	144
	156-19 грефітовий човен	216
	156-21 грефітовий човен	240
	Графітовий човен 156-23	308
Човен PEVCD Grephite - серія 125	125-15 грефітовий човен	196
	125-19 грефітовий човен	252
	125-21 графітовий човен	280