Nkwado Wafer Graphite PECVD

Foto a na-egosi na nkwado nke PECVD Graphite Wafer

Nkọwa Dị Mkpirikpi:

E mere VET Energy maka nkenke na arụmọrụ, Nkwado Wafer Graphite nke VET Energy bụ ihe kacha mma maka iji na nhazi wafer dị elu, ebe nkwụsi ike okpomọkụ dị elu na arụmọrụ na-aga n'ihu dị oke mkpa. Ma ị na-arụ ọrụ na wafer semiconductor ma ọ bụ ihe ndị ọzọ dị nro, nkwado graphite dị elu a ga-eme ka ntụkwasị obi usoro gị na ịdị mma ngwaahịa gị ka mma, na-eme ka ọ bụrụ ihe dị mkpa maka mmepụta nke oge a.

Zitere anyị ozi-e Budata ya dị ka PDF

Nkọwa Ngwaahịa

Akara Ngwaahịa

Ike VET Nkwado wafer usoro PECVD bụ ihe eji eri ihe nke e mere maka usoro PECVD (plasma enhanced chemical vapor deposition). Ngwaahịa a bụ nke e ji ihe dị ọcha, nke nwere njupụta dị elu, nke nwere ezigbo iguzogide okpomọkụ dị elu, iguzogide nchara, nkwụsi ike nha na njirimara ndị ọzọ, nwere ike inye ikpo okwu nkwado kwụsiri ike maka usoro PECVD, iji hụ na ihe nkiri ahụ dị n'otu ma dị larịị.

Nhazi "nkwado graphite" nke nkwado VET Energy graphite wafer abụghị naanị ịkwado wafer nke ọma, kamakwa inye nkwụsi ike okpomọkụ na gburugburu okpomọkụ dị elu na nrụgide dị elu PECVD iji hụ na usoro ahụ kwụsiri ike.

Nkwado wafer usoro PECVD nke VET Energy nwere njirimara ndị a:

▪Ịdị ọcha dị elu:adịghị ọcha nke ukwuu, zere mmetọ nke ihe nkiri ahụ, iji hụ na ihe nkiri ahụ dị mma.

▪Oke njupụta:nnukwu njupụta, ike igwe dị elu, nwere ike iguzogide okpomọkụ dị elu na gburugburu ebe obibi PECVD dị elu.

▪Ezigbo nkwụsi ike akụkụ:obere mgbanwe nha na oke okpomọkụ iji hụ na usoro ahụ kwụsiri ike.

▪Ezigbo njikwa okpomọkụ:nyefee okpomọkụ nke ọma iji gbochie oke okpomọkụ wafer.

▪Ike siri ike nke na-eguzogide nchara:Nwere ike iguzogide mbuze site na gas na plasma dị iche iche.

▪Ọrụ ahaziri ahazi:Enwere ike ịhazi tebụl nkwado eserese nke nha na ọdịdị dị iche iche dịka mkpa ndị ahịa si dị.

Ihe e ji graphite mee site na SGL:

Nha nkịtị: R6510
Ndepụta Ndekọ	Ụkpụrụ nnwale	Uru	Ngalaba
Nkezi nha ọka	ISO 13320	10	μm
Njupụta dị ukwuu	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Oghere mepere emepe	DIN66133	10	%
Nha oghere dị ọkara	DIN66133	1.8	μm
Ịgafe	DIN 51935	0.06	cm²/s
Ike siri ike nke Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Nguzogide eletriki kpọmkwem	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Ike flexural	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Ike mkpakọ	DIN 51910	130	MPa
Modulu nke Young	DIN 51915	11.5 × 10³	MPa
Mgbasawanye okpomọkụ (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Ọkụ conductivity (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

E mere ya kpọmkwem maka imepụta sel anyanwụ dị elu, na-akwado nhazi wafer G12 buru ibu. Nhazi ụgbọ ibu kachasị mma na-eme ka mmepụta ya dịkwuo elu nke ukwuu, na-eme ka ọnụego mmepụta dị elu ma na-ebelata ọnụ ahịa mmepụta.

ihe	Ụdị	Onye na-ebu nọmba wafer
Ụgbọ mmiri PEVCD Grephite - Usoro 156	Ụgbọ mmiri grephite nke 156-13	144
	Ụgbọ mmiri grephite nke 156-19	216
	Ụgbọ mmiri grephite nke 156-21	240
	Ụgbọ mmiri graphite 156-23	308
Ụgbọ mmiri Grephite nke PEVCD - Usoro 125	Ụgbọ mmiri grephite 125-15	196
	Ụgbọ mmiri grephite nke 125-19	252
	Ụgbọ mmiri grephite 125-21	280