PECVD գրաֆիտային վաֆլիի հենարան

Կարճ նկարագրություն՝

Մշակված ճշգրտության և արդյունավետության համար, VET Energy-ի գրաֆիտային վաֆլիի հենարանը իդեալական նյութ է վաֆլիի առաջադեմ մշակման համար, որտեղ բարձր ջերմային կայունությունը և հաստատուն արդյունավետությունը կարևոր են: Անկախ նրանից, թե դուք աշխատում եք կիսահաղորդչային վաֆլիների, թե այլ նուրբ հիմքերի հետ, այս բարձրորակ գրաֆիտային հենարանը կբարձրացնի ձեր գործընթացի հուսալիությունը և արտադրանքի որակը՝ դարձնելով այն ժամանակակից արտադրության անփոխարինելի բաղադրիչ:

Ուղարկեք մեզ էլ. նամակ Ներբեռնել որպես PDF

Ապրանքի մանրամասներ

Ապրանքի պիտակներ

VET Energy PECVD պրոցեսի գրաֆիտային վաֆլիի հենարանը PECVD (պլազմայով ուժեղացված քիմիական գոլորշու նստեցում) պրոցեսի համար նախատեսված միջուկի սպառվող նյութ է: Այս արտադրանքը պատրաստված է բարձր մաքրության, բարձր խտության գրաֆիտային նյութից, ունի գերազանց բարձր ջերմաստիճանային դիմադրություն, կոռոզիայի դիմադրություն, չափային կայունություն և այլ բնութագրեր, կարող է ապահովել կայուն հենարան PECVD պրոցեսի համար՝ ապահովելով թաղանթի նստեցման միատարրությունն ու հարթությունը:

VET Energy գրաֆիտային վաֆլիի հենարանի «գրաֆիտային հենարանի» դիզայնը կարող է ոչ միայն արդյունավետորեն հենարան հանդիսանալ վաֆլիի համար, այլև ապահովել ջերմային կայունություն բարձր ջերմաստիճանի և բարձր ճնշման PECVD միջավայրում՝ ապահովելու գործընթացի կայունությունը։

VET Energy PECVD պրոցեսի գրաֆիտային վաֆլե հենարանը ունի հետևյալ բնութագրերը՝

▪Բարձր մաքրություն:չափազանց ցածր խառնուրդների պարունակություն, խուսափել թաղանթի աղտոտումից՝ ապահովելու թաղանթի որակը։

▪Բարձր խտություն:բարձր խտություն, բարձր մեխանիկական ամրություն, կարող է դիմակայել բարձր ջերմաստիճանին և բարձր ճնշման PECVD միջավայրին։

▪Լավ չափային կայունություն.փոքր չափային փոփոխություններ բարձր ջերմաստիճանում՝ գործընթացի կայունությունն ապահովելու համար։

▪Գերազանց ջերմահաղորդականություն.արդյունավետորեն փոխանցում է ջերմությունը՝ կանխելու համար վաֆլիի գերտաքացումը։

▪Ուժեղ կոռոզիոն դիմադրություն.Կարող է դիմակայել տարբեր քայքայիչ գազերի և պլազմայի կողմից էրոզիային։

▪Անհատականացված ծառայություն.Տարբեր չափերի և ձևերի գրաֆիտային հենարանային սեղանները կարող են հարմարեցվել հաճախորդի կարիքներին համապատասխան։

SGL-ի գրաֆիտային նյութը՝

Տիպիկ պարամետր՝ R6510
Ինդեքս	Փորձարկման ստանդարտ	Արժեք	Միավոր
Միջին հատիկի չափը	ԻՍՕ 13320	10	մկմ
Ծավալային խտություն	DIN IEC 60413/204	1.83	գ/սմ³
Բաց ծակոտկենություն	DIN66133	10	%
Միջին ծակոտիների չափ	DIN66133	1.8	մկմ
Թափանցելիություն	DIN 51935	0.06	սմ²/վ
Ռոքվելի կարծրություն HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Հատուկ էլեկտրական դիմադրություն	DIN IEC 60413/402	13	μΩմ
Ճկման ուժ	DIN IEC 60413/501	60	ՄՊա
Սեղմման ուժ	DIN 51910	130	ՄՊա
Յունգի մոդուլը	DIN 51915	11.5×10³	ՄՊա
Ջերմային ընդլայնում (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Ջերմահաղորդականություն (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Այն հատուկ նախագծված է բարձր արդյունավետությամբ արևային մարտկոցների արտադրության համար՝ աջակցելով G12 մեծ չափի վաֆլիների մշակմանը: Օպտիմալացված կրիչի դիզայնը զգալիորեն մեծացնում է արտադրողականությունը՝ հնարավորություն տալով ավելի բարձր արտադրողականության և ավելի ցածր արտադրական ծախսերի:

Ապրանք	Տեսակ	Թիվ վաֆլի կրիչ
PEVCD Գրեֆիտ նավակ - 156 շարք	156-13 գրեֆիտային նավակ	144
	156-19 գրեֆիտային նավակ	216
	156-21 գրեֆիտային նավակ	240
	156-23 գրաֆիտային նավակ	308
PEVCD Գրեֆիտ նավակ - 125 շարք	125-15 գրեֆիտային նավակ	196
	125-19 գրեֆիտային նավակ	252
	125-21 գրաֆիտային նավակ	280