Графітавая пласціна-апора PECVD

Апора для графітавай пласціны PECVD, намаляваная на малюнку

Кароткае апісанне:

Графітавая падкладка VET Energy, распрацаваная для дакладнасці і прадукцыйнасці, з'яўляецца ідэальным матэрыялам для выкарыстання ў перадавой апрацоўцы пласцін, дзе высокая тэрмаўстойлівасць і стабільная прадукцыйнасць маюць вырашальнае значэнне. Незалежна ад таго, працуеце вы з паўправадніковымі пласцінамі або іншымі далікатнымі падкладкамі, гэтая высакаякасная графітавая падкладка павысіць надзейнасць вашага працэсу і якасць прадукцыі, што робіць яе незаменным кампанентам для сучаснай вытворчасці.

Дашліце нам ліст Спампаваць у фармаце PDF

Падрабязнасці прадукту

Тэгі прадукту

Графітавая апора для пласцін VET Energy, атрыманая ў працэсе PECVD, — гэта расходны матэрыял для асновы, прызначаны для працэсу PECVD (плазменна-ўзмоцненае хімічнае асаджэнне з паравой фазы). Гэты прадукт выраблены з графіта высокай чысціні і шчыльнасці, які валодае выдатнай устойлівасцю да высокіх тэмператур, карозіі, стабільнасцю памераў і іншымі характарыстыкамі і можа забяспечыць стабільную апорную платформу для працэсу PECVD, забяспечваючы аднастайнасць і плоскасць нанясення плёнкі.

Канструкцыя "графітавай апоры" графітавай апоры пласціны VET Energy не толькі эфектыўна падтрымлівае пласціну, але і забяспечвае тэрмічную стабільнасць у асяроддзі PECVD пры высокай тэмпературы і высокім ціску, што гарантуе стабільнасць працэсу.

Графітавая пласціна, вырабленая па тэхналогіі VET Energy PECVD, мае наступныя характарыстыкі:

▪Высокая чысціня:надзвычай нізкае ўтрыманне прымешак, каб пазбегнуць забруджвання плёнкі, каб забяспечыць якасць плёнкі.

▪Высокая шчыльнасць:высокая шчыльнасць, высокая механічная трываласць, можа вытрымліваць высокія тэмпературы і высокі ціск у асяроддзі PECVD.

▪Добрая стабільнасць памераў:невялікія змены памераў пры высокай тэмпературы для забеспячэння стабільнасці працэсу.

▪Выдатная цеплаправоднасць:эфектыўна перадаваць цяпло, каб прадухіліць перагрэў пласціны.

▪Моцная каразійная ўстойлівасць:Здольны супрацьстаяць эрозіі пад уздзеяннем розных агрэсіўных газаў і плазмы.

▪Індывідуальны сэрвіс:Графітавыя апорныя сталы розных памераў і формаў можна наладзіць у адпаведнасці з патрэбамі кліента.

Графітавы матэрыял ад SGL:

Тыповы параметр: R6510
Індэкс	Стандарт выпрабаванняў	Значэнне	Адзінка
Сярэдні памер зерня	ІСО 13320	10	мкм
Насыпная шчыльнасць	DIN IEC 60413/204	1,83	г/см³
Адкрытая парознасць	DIN66133	10	%
Сярэдні памер пор	DIN66133	1.8	мкм
Пранікальнасць	ДЫН 51935	0,06	см²/с
Цвёрдасць па Роквелу HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Удзельнае электрычнае супраціўленне	DIN IEC 60413/402	13	мкОм
Трываласць на згіб	DIN IEC 60413/501	60	МПа
Трываласць на сціск	ДЫН 51910	130	МПа
Модуль Юнга	ДЫН 51915	11,5×10³	МПа
Цеплавое пашырэнне (20-200℃)	ДЫН 51909	4,2X10^-6	K^-1
Цеплаправоднасць (20℃)	ДЫН 51908	105	Wm^-1K^-1

Ён спецыяльна распрацаваны для вытворчасці высокаэфектыўных сонечных батарэй і падтрымлівае апрацоўку вялікіх пласцін G12. Аптымізаваная канструкцыя носьбіта значна павялічвае прапускную здольнасць, што дазваляе павялічыць выхад і знізіць вытворчыя выдаткі.

Пункт	Тып	Нумар носьбіта пласцін
PEVCD Grephite лодка - серыя 156	156-13 Грэфітавая лодка	144
	156-19 Грэфітавая лодка	216
	156-21 лодка з графіту	240
	Графітавая лодка 156-23	308
PEVCD Grephite лодка - серыя 125	125-15 Грэфітавая лодка	196
	125-19 Грэфітавая лодка	252
	Графітавая лодка 125-21	280