PECVD-grafiittikiekkojen tuki

Lyhyt kuvaus:

VET Energyn grafiittikiekkojen tuki on suunniteltu tarkkuutta ja suorituskykyä silmällä pitäen, ja se on ihanteellinen materiaali edistyneeseen kiekkojen prosessointiin, jossa korkea lämmönkestävyys ja tasainen suorituskyky ovat kriittisiä. Työskentelitpä sitten puolijohdekiekkojen tai muiden herkkien alustojen kanssa, tämä korkealaatuinen grafiittituki parantaa prosessisi luotettavuutta ja tuotteen laatua tehden siitä välttämättömän komponentin nykyaikaisessa valmistuksessa.

Lähetä meille sähköpostia Lataa PDF-tiedostona

Tuotetiedot

Tuotetunnisteet

VET Energyn PECVD-prosessiin tarkoitettu grafiittikiekkojen tuki on PECVD-prosessiin (plasma-avusteinen kemiallinen höyrypinnoitus) suunniteltu ydinkulutusosa. Tämä tuote on valmistettu erittäin puhtaasta ja tiheästä grafiittimateriaalista, jolla on erinomainen lämmönkestävyys, korroosionkestävyys, mittapysyvyys ja muita ominaisuuksia. Se voi tarjota vakaan tukialustan PECVD-prosessille ja varmistaa kalvopinnoitteen tasaisuuden ja tasaisuuden.

VET Energyn grafiittikiekkojen tuen "grafiittituki"-rakenne ei ainoastaan tue kiekkoa tehokkaasti, vaan se myös tarjoaa lämpöstabiilisuuden korkeassa lämpötilassa ja korkeapaineisessa PECVD-ympäristössä prosessin vakauden varmistamiseksi.

VET Energyn PECVD-prosessilla valmistetun grafiittikiekkojen tuen ominaisuuksiin kuuluvat seuraavat:

▪Korkea puhtausaste:erittäin alhainen epäpuhtauspitoisuus, välttää kalvon saastumista kalvon laadun varmistamiseksi.

▪Suuri tiheys:korkea tiheys, korkea mekaaninen lujuus, kestää korkeita lämpötiloja ja korkeapaineisia PECVD-ympäristöjä.

▪Hyvä mittapysyvyys:pienet mittamuutokset korkeassa lämpötilassa prosessin vakauden varmistamiseksi.

▪Erinomainen lämmönjohtavuus:siirtää lämpöä tehokkaasti estäen kiekon ylikuumenemisen.

▪Vahva korroosionkestävyys:Kestää erilaisten syövyttävien kaasujen ja plasman aiheuttamaa eroosiota.

▪Räätälöity palvelu:Eri kokoisia ja muotoisia grafiittisia tukipöytiä voidaan räätälöidä asiakkaan tarpeiden mukaan.

Grafiittimateriaalia SGL:ltä:

Tyypillinen parametri: R6510
Indeksi	Testistandardi	Arvo	Yksikkö
Keskimääräinen raekoko	ISO 13320	10	μm
Irtotiheys	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm²³
Avoin huokoisuus	DIN66133	10	%
Keskikokoinen huokoskoko	DIN66133	1.8	μm
Läpäisevyys	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rockwell-kovuus HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Ominaisresistiivisyys	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Taivutuslujuus	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Puristuslujuus	DIN 51910	130	MPa
Youngin moduuli	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Lämpölaajeneminen (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2 x 10^-6	K^-1
Lämmönjohtavuus (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Se on erityisesti suunniteltu tehokkaaseen aurinkokennojen valmistukseen ja tukee G12-kokoisten kiekkojen käsittelyä. Optimoitu kantajan suunnittelu lisää merkittävästi läpimenoaikaa, mikä mahdollistaa korkeammat saantoasteet ja alhaisemmat tuotantokustannukset.

Tuote	Tyyppi	Numerokiekon kantaja
PEVCD Grephite -vene - 156-sarja	156-13 grefiittivene	144
	156-19 grefiittivene	216
	156-21 grefiittivene	240
	156-23 grafiittivene	308
PEVCD Grephite -vene - 125-sarja	125-15 grefiittivene	196
	125-19 grefiittivene	252
	125-21 grafiittivene	280