PECVD ગ્રેફાઇટ વેફર સપોર્ટ

VET એનર્જી PECVD પ્રોસેસ ગ્રેફાઇટ વેફર સપોર્ટ એ PECVD (પ્લાઝ્મા એન્હાન્સ્ડ કેમિકલ વેપર ડિપોઝિશન) પ્રક્રિયા માટે રચાયેલ મુખ્ય ઉપભોગ્ય છે. આ ઉત્પાદન ઉચ્ચ-શુદ્ધતા, ઉચ્ચ-ઘનતાવાળા ગ્રેફાઇટ સામગ્રીથી બનેલું છે, જેમાં ઉત્તમ ઉચ્ચ તાપમાન પ્રતિકાર, કાટ પ્રતિકાર, પરિમાણીય સ્થિરતા અને અન્ય લાક્ષણિકતાઓ છે, જે PECVD પ્રક્રિયા માટે સ્થિર સપોર્ટ પ્લેટફોર્મ પૂરું પાડી શકે છે, જેથી ફિલ્મ ડિપોઝિશનની એકરૂપતા અને સપાટતા સુનિશ્ચિત થાય.

VET એનર્જી ગ્રેફાઇટ વેફર સપોર્ટની "ગ્રેફાઇટ સપોર્ટ" ડિઝાઇન માત્ર વેફરને અસરકારક રીતે ટેકો આપી શકતી નથી, પરંતુ પ્રક્રિયાની સ્થિરતા સુનિશ્ચિત કરવા માટે ઉચ્ચ તાપમાન અને ઉચ્ચ દબાણવાળા PECVD વાતાવરણમાં થર્મલ સ્થિરતા પણ પ્રદાન કરે છે.

VET એનર્જી PECVD પ્રોસેસ ગ્રેફાઇટ વેફર સપોર્ટમાં નીચેની લાક્ષણિકતાઓ છે:

▪ઉચ્ચ શુદ્ધતા:ફિલ્મની ગુણવત્તા સુનિશ્ચિત કરવા માટે, ફિલ્મના દૂષણને ટાળવા માટે, અત્યંત ઓછી અશુદ્ધિ સામગ્રી.

▪ઉચ્ચ ઘનતા:ઉચ્ચ ઘનતા, ઉચ્ચ યાંત્રિક શક્તિ, ઉચ્ચ તાપમાન અને ઉચ્ચ દબાણ PECVD વાતાવરણનો સામનો કરી શકે છે.

▪સારી પરિમાણીય સ્થિરતા:પ્રક્રિયાની સ્થિરતા સુનિશ્ચિત કરવા માટે ઊંચા તાપમાને નાના પરિમાણીય ફેરફારો.

▪ઉત્તમ થર્મલ વાહકતા:વેફરને વધુ ગરમ થવાથી બચાવવા માટે અસરકારક રીતે ગરમીનું સ્થાનાંતરણ કરો.

▪મજબૂત કાટ પ્રતિકાર:વિવિધ કાટ લાગતા વાયુઓ અને પ્લાઝ્મા દ્વારા ધોવાણનો પ્રતિકાર કરવા સક્ષમ.

▪કસ્ટમાઇઝ્ડ સેવા:વિવિધ કદ અને આકારના ગ્રેફાઇટ સપોર્ટ ટેબલ ગ્રાહકની જરૂરિયાતો અનુસાર કસ્ટમાઇઝ કરી શકાય છે.