Usaidizi wa Kaki ya Grafiti ya PECVD

Usaidizi wa Kafe ya Grafiti ya PECVD Picha Iliyoangaziwa

Maelezo Mafupi:

Imeundwa kwa usahihi na utendaji, Usaidizi wa Grafiti Wafer wa VET Energy ni nyenzo bora kwa matumizi katika usindikaji wa hali ya juu wa wafer, ambapo utulivu wa hali ya juu wa joto na utendaji thabiti ni muhimu. Iwe unafanya kazi na wafer za nusu-semiconductor au substrates zingine maridadi, usaidizi huu wa grafiti wa ubora wa juu utaongeza uaminifu wa mchakato wako na ubora wa bidhaa, na kuifanya kuwa sehemu muhimu kwa utengenezaji wa kisasa.

Tutumie barua pepe Pakua kama PDF

Maelezo ya Bidhaa

Lebo za Bidhaa

Usaidizi wa grafiti ya mchakato wa VET Energy PECVD ni kifaa cha msingi kinachoweza kutumika kilichoundwa kwa ajili ya mchakato wa PECVD (uwekaji wa mvuke wa kemikali ulioimarishwa na plasma). Bidhaa hii imetengenezwa kwa nyenzo za grafiti zenye usafi wa hali ya juu, zenye msongamano mkubwa, zenye upinzani bora wa halijoto ya juu, upinzani wa kutu, utulivu wa vipimo na sifa zingine, zinaweza kutoa jukwaa thabiti la usaidizi kwa mchakato wa PECVD, ili kuhakikisha usawa na uthabiti wa uwekaji wa filamu.

Muundo wa "msaada wa grafiti" wa usaidizi wa wafer wa grafiti wa VET Energy hauwezi tu kuunga mkono wafer kwa ufanisi, lakini pia kutoa utulivu wa joto katika mazingira ya PECVD yenye halijoto ya juu na shinikizo kubwa ili kuhakikisha utulivu wa mchakato.

Usaidizi wa wafer wa grafiti ya mchakato wa VET Energy PECVD una sifa zifuatazo:

▪Usafi wa hali ya juu:kiwango cha uchafu mdogo sana, epuka uchafuzi wa filamu, ili kuhakikisha ubora wa filamu.

▪Msongamano mkubwa:msongamano mkubwa, nguvu ya juu ya mitambo, inaweza kuhimili halijoto ya juu na shinikizo la juu la mazingira ya PECVD.

▪Utulivu mzuri wa vipimo:mabadiliko madogo ya vipimo kwenye joto la juu ili kuhakikisha uthabiti wa mchakato.

▪Upitishaji bora wa joto:huhamisha joto kwa ufanisi ili kuzuia joto kupita kiasi kwenye wafer.

▪Upinzani mkubwa wa kutu:Inaweza kupinga mmomonyoko unaosababishwa na gesi mbalimbali zinazosababisha babuzi na plasma.

▪Huduma maalum:Meza za usaidizi wa grafiti za ukubwa na maumbo tofauti zinaweza kubinafsishwa kulingana na mahitaji ya wateja.

Nyenzo ya grafiti kutoka SGL:

Kigezo cha kawaida: R6510
Kielezo	Kiwango cha majaribio	Thamani	Kitengo
Ukubwa wa wastani wa nafaka	ISO 13320	10	μm
Msongamano wa wingi	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Unyevu wazi	DIN66133	10	%
Ukubwa wa wastani wa vinyweleo	DIN66133	1.8	μm
Upenyezaji	DIN 51935	0.06	sentimita²/sekunde
Ugumu wa Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Upinzani maalum wa umeme	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Nguvu ya kunyumbulika	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Nguvu ya kubana	DIN 51910	130	MPa
Moduli ya Young	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Upanuzi wa joto (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Upitishaji joto (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Imeundwa mahsusi kwa ajili ya utengenezaji wa seli za jua zenye ufanisi mkubwa, ikisaidia usindikaji wa wafer kubwa wa G12. Ubunifu ulioboreshwa wa mbebaji huongeza kwa kiasi kikubwa uzalishaji, na kuwezesha viwango vya juu vya mavuno na gharama za chini za uzalishaji.

Bidhaa	Aina	Mbebaji wa nambari ya wafer
Boti ya PEVCD Grephite - Mfululizo wa 156	156-13 mashua ya grephite	144
	156-19 mashua ya grephite	216
	156-21 mashua ya grephite	240
	Boti ya grafiti 156-23	308
Boti ya PEVCD Grephite - Mfululizo wa 125	Boti ya grephite 125-15	196
	Boti ya grephite 125-19	252
	Boti ya grifiti 125-21	280