ການຮອງຮັບແຜ່ນເວເຟີແກຣໄຟຕ໌ໃນຂະບວນການ VET Energy PECVD ແມ່ນວັດສະດຸຫຼັກທີ່ອອກແບບມາສຳລັບຂະບວນການ PECVD (ການສະສົມໄອເຄມີທີ່ເສີມດ້ວຍພລາສມາ). ຜະລິດຕະພັນນີ້ແມ່ນເຮັດດ້ວຍວັດສະດຸແກຣໄຟຕ໌ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ຄວາມໜາແໜ້ນສູງ, ມີຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມສູງ, ທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນ, ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງມິຕິ ແລະ ລັກສະນະອື່ນໆທີ່ດີເລີດ, ສາມາດໃຫ້ແພລດຟອມຮອງຮັບທີ່ໝັ້ນຄົງສຳລັບຂະບວນການ PECVD, ເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີ ແລະ ຄວາມລຽບນຽນຂອງການສະສົມຟິມ.
ການອອກແບບ "ການຮອງຮັບກຣາໄຟທ໌" ຂອງການຮອງຮັບເວເຟີກຣາໄຟທ໌ VET Energy ບໍ່ພຽງແຕ່ສາມາດຮອງຮັບເວເຟີໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບເທົ່ານັ້ນ, ແຕ່ຍັງໃຫ້ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນໃນສະພາບແວດລ້ອມ PECVD ທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ຄວາມກົດດັນສູງເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການ.
ການຮອງຮັບເວເຟີແກຣໄຟດ໌ຂອງຂະບວນການ VET Energy PECVD ມີລັກສະນະດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້:
▪ຄວາມບໍລິສຸດສູງ:ເນື້ອໃນສິ່ງປົນເປື້ອນຕໍ່າສຸດ, ຫຼີກເວັ້ນການປົນເປື້ອນຂອງຮູບເງົາ, ເພື່ອຮັບປະກັນຄຸນນະພາບຂອງຮູບເງົາ.
▪ຄວາມໜາແໜ້ນສູງ:ຄວາມໜາແໜ້ນສູງ, ຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກສູງ, ສາມາດທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ສະພາບແວດລ້ອມ PECVD ທີ່ມີຄວາມກົດດັນສູງ.
▪ສະຖຽນລະພາບມິຕິທີ່ດີ:ການປ່ຽນແປງມິຕິຂະໜາດນ້ອຍຢູ່ທີ່ອຸນຫະພູມສູງເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການ.
▪ການນຳຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ:ຖ່າຍໂອນຄວາມຮ້ອນໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບເພື່ອປ້ອງກັນການຮ້ອນເກີນໄປຂອງແຜ່ນເວເຟີ.
▪ຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນທີ່ເຂັ້ມແຂງ:ສາມາດຕ້ານທານການກັດເຊາະໂດຍອາຍແກັສ ແລະ ພລາສມາທີ່ກັດກ່ອນຕ່າງໆ.
▪ການບໍລິການທີ່ກຳນົດເອງ:ໂຕະຮອງຮັບກຣາໄຟທ໌ທີ່ມີຂະໜາດ ແລະ ຮູບຮ່າງທີ່ແຕກຕ່າງກັນສາມາດປັບແຕ່ງໄດ້ຕາມຄວາມຕ້ອງການຂອງລູກຄ້າ.
ວັດສະດຸກຣາໄຟດຈາກ SGL:
| ພາລາມິເຕີທົ່ວໄປ: R6510 | |||
| ດັດຊະນີ | ມາດຕະຖານການທົດສອບ | ມູນຄ່າ | ໜ່ວຍ |
| ຂະໜາດເມັດພືດໂດຍສະເລ່ຍ | ISO 13320 | 10 | ໄມຄຣມ |
| ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງມວນສານ | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | ກຣາມ/ຊມ3 |
| ຮູຂຸມຂົນເປີດ | DIN66133 | 10 | % |
| ຂະໜາດຮູຂຸມຂົນປານກາງ | DIN66133 | 1.8 | ໄມຄຣມ |
| ການຊຶມຜ່ານ | DIN 51935 | 0.06 | ຊມ²/ວິນາທີ |
| ຄວາມແຂງ Rockwell HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| ຄວາມຕ້ານທານໄຟຟ້າສະເພາະ | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| ຄວາມແຂງແຮງຂອງການບິດງໍ | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| ຄວາມແຮງບີບອັດ | DIN 51910 | 130 | MPa |
| ໂມດູນຂອງ Young | DIN 51915 | 11.5 × 10³ | MPa |
| ການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນ (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| ຄວາມນຳຄວາມຮ້ອນ (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
ມັນຖືກອອກແບບມາເປັນພິເສດສຳລັບການຜະລິດແຜງໂຊລາເຊວທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງ, ຮອງຮັບການປະມວນຜົນແຜ່ນເວເຟີຂະໜາດໃຫຍ່ G12. ການອອກແບບຕົວນຳທີ່ດີທີ່ສຸດຊ່ວຍເພີ່ມປະລິມານການຜະລິດຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ, ເຮັດໃຫ້ອັດຕາຜົນຜະລິດສູງຂຶ້ນ ແລະ ຕົ້ນທຶນການຜະລິດຕ່ຳລົງ.
| ລາຍການ | ປະເພດ | ຜູ້ໃຫ້ບໍລິການເວເຟີໝາຍເລກ |
| ເຮືອ PEVCD Grephite - ຊຸດ 156 | ເຮືອກຣີໄຟ 156-13 | 144 |
| ເຮືອກຣີໄຟ 156-19 | 216 | |
| ເຮືອກຣີໄຟ 156-21 | 240 | |
| ເຮືອແກຣໄຟ 156-23 | 308 | |
| ເຮືອ PEVCD Grephite - ຊຸດ 125 | ເຮືອກຣີໄຟ 125-15 | 196 |
| ເຮືອກຣີໄຟ 125-19 | 252 | |
| ເຮືອກຣາຟ 125-21 | 280 |
