Taic Wafer Grafait PECVD

Tuairisgeul Goirid:

Air a dhealbhadh airson mionaideachd agus coileanadh, ’s e Taic Wafer Grafait VET Energy an stuth air leth freagarrach airson a chleachdadh ann an giullachd wafer adhartach, far a bheil seasmhachd teirmeach àrd agus coileanadh cunbhalach deatamach. Ge bith a bheil thu ag obair le wafers leth-chonnsachaidh no fo-stratan cugallach eile, neartaichidh an taic grafait àrd-inbhe seo earbsachd do phròiseis agus càileachd toraidh, ga dhèanamh na phàirt riatanach airson saothrachadh an latha an-diugh.

Cuir post-d thugainn Luchdaich sìos mar PDF

Mion-fhiosrachadh Toraidh

Tagaichean Bathar

Tha taic uaifridh grafait pròiseas PECVD VET Energy na stuth-caitheamh cridhe a chaidh a dhealbhadh airson pròiseas PECVD (plasma enhanced chemical vapor deposition). Tha an toradh seo air a dhèanamh de stuth grafait àrd-ghlanachd, àrd-dùmhlachd, le strì an aghaidh teòthachd àrd, strì an aghaidh creimeadh, seasmhachd tomhasach agus feartan eile, agus faodaidh e àrd-ùrlar taic seasmhach a thoirt seachad airson pròiseas PECVD, gus dèanamh cinnteach à cunbhalachd agus rèidh tasgadh film.

Chan e a-mhàin gun urrainn don dealbhadh "taic grafait" de thaic uaifle grafait VET Energy taic èifeachdach a thoirt don uaifle, ach cuideachd seasmhachd teirmeach a thoirt seachad ann an àrainneachd PECVD àrd-theodhachd agus bruthadh àrd gus dèanamh cinnteach à seasmhachd a’ phròiseis.

Tha na feartan a leanas aig taic uaifearan grafait pròiseas VET Energy PECVD:

▪Glanachd àrd:susbaint neo-ghlainead glè ìosal, seachain truailleadh an fhilm, gus dèanamh cinnteach à càileachd an fhilm.

▪Dùmhlachd àrd:dùmhlachd àrd, neart meacanaigeach àrd, is urrainn dha seasamh an aghaidh teòthachd àrd agus àrainneachd PECVD le cuideam àrd.

▪Seasmhachd tomhasach math:atharrachaidhean beaga meudach aig teòthachd àrd gus dèanamh cinnteach à seasmhachd a’ phròiseis.

▪Seòltachd teirmeach sàr-mhath:gluasad teas gu h-èifeachdach gus casg a chuir air cus teasachadh wafer.

▪Frith-aghaidh creimeadh làidir:Comasach air seasamh an aghaidh bleith le diofar ghasan creimneach agus plasma.

▪Seirbheis gnàthaichte:Faodar bùird taic grafait de dhiofar mheudan agus chumaidhean a ghnàthachadh a rèir feumalachdan luchd-ceannach.

Stuth grafait bho SGL:

Paramadair àbhaisteach: R6510
Clàr-amais	Inbhe deuchainn	Luach	Aonad
Meud cuibheasach gràin	ISO 13320	10	μm
Dlùths mòr-chuid	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Porachd fosgailte	DIN66133	10	%
Meud meadhanach pore	DIN66133	1.8	μm
Treòiteachd	DIN 51935	0.06	cm²/s
Cruas Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Frith-sheasmhachd dealain sònraichte	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Neart lùbadh	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Neart teannachaidh	DIN 51910	130	MPa
Modúl Young	DIN 51915	11.5 × 10³	MPa
Leudachadh teirmeach (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Seoltachd teirmeach (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Tha e air a dhealbhadh gu sònraichte airson saothrachadh ceallan grèine àrd-èifeachdais, a’ toirt taic do ghiullachd uaifearan mòra G12. Bidh dealbhadh giùlain leasaichte a’ meudachadh an toraidh gu mòr, a’ comasachadh ìrean toraidh nas àirde agus cosgaisean cinneasachaidh nas ìsle.

Nì	Seòrsa	Àireamh giùlain wafer
Bàta Grephite PEVCD - An t-sreath 156	Bàta greaphite 156-13	144
	Bàta greaphite 156-19	216
	Bàta greaphite 156-21	240
	Bàta grafait 156-23	308
Bàta Grephite PEVCD - An t-sreath 125	Bàta greaphite 125-15	196
	Bàta greaphite 125-19	252
	Bàta grafait 125-21	280