Podpora wafli grafitowych PECVD

Podpora grafitowa wafla VET Energy PECVD to podstawowy materiał eksploatacyjny przeznaczony do procesu PECVD (chemiczne osadzanie z fazy gazowej wspomagane plazmą). Produkt ten jest wykonany z materiału grafitowego o wysokiej czystości i gęstości, o doskonałej odporności na wysokie temperatury, odporności na korozję, stabilności wymiarowej i innych cechach, może zapewnić stabilną platformę podporową dla procesu PECVD, aby zapewnić jednorodność i płaskość osadzania filmu.

Konstrukcja „podparcia grafitowego” wkładki grafitowej VET Energy nie tylko skutecznie podtrzymuje płytkę, ale także zapewnia stabilność termiczną w środowisku PECVD o wysokiej temperaturze i ciśnieniu, co gwarantuje stabilność procesu.

Nośniki grafitowe w procesie PECVD firmy VET Energy charakteryzują się następującymi cechami:

▪Wysoka czystość:wyjątkowo niska zawartość zanieczyszczeń, zapobiega zanieczyszczeniu folii i gwarantuje jej jakość.

▪Wysoka gęstość:duża gęstość, wysoka wytrzymałość mechaniczna, odporność na wysoką temperaturę i wysokie ciśnienie w środowisku PECVD.

▪Dobra stabilność wymiarowa:niewielkie zmiany wymiarów w wysokiej temperaturze w celu zapewnienia stabilności procesu.

▪Doskonała przewodność cieplna:skutecznie przenoszą ciepło, zapobiegając przegrzaniu się wafla.

▪Wysoka odporność na korozję:Odporne na erozję wywołaną przez różne gazy korozyjne i plazmę.

▪Usługa dostosowana do potrzeb klienta:Stoły podporowe grafitowe o różnych rozmiarach i kształtach mogą być dostosowane do potrzeb klienta.