Podparcie wafli grafitowych PECVD

Grafitowy nośnik waflowy VET Energy PECVD to podstawowy materiał eksploatacyjny przeznaczony do procesu PECVD (chemicznego osadzania z fazy gazowej wspomaganego plazmą). Produkt ten wykonany jest z grafitu o wysokiej czystości i gęstości, charakteryzującego się doskonałą odpornością na wysokie temperatury, odpornością na korozję, stabilnością wymiarową i innymi cechami, co zapewnia stabilną platformę nośną dla procesu PECVD, gwarantując jednorodność i płaskość osadzania warstw.

Konstrukcja „podparcia grafitowego” zastosowanego w podparciu wafli grafitowych VET Energy nie tylko skutecznie podtrzymuje wafel, ale także zapewnia stabilność termiczną w środowisku PECVD o wysokiej temperaturze i wysokim ciśnieniu, gwarantując stabilność procesu.

Nośniki grafitowe w procesie PECVD firmy VET Energy charakteryzują się następującymi cechami:

▪Wysoka czystość:wyjątkowo niska zawartość zanieczyszczeń, zapobiega zanieczyszczeniu folii, gwarantując jej jakość.

▪Wysoka gęstość:Wysoka gęstość, wysoka wytrzymałość mechaniczna, odporność na wysokie temperatury i ciśnienia panujące w środowisku PECVD.

▪Dobra stabilność wymiarowa:niewielkie zmiany wymiarowe w wysokiej temperaturze w celu zapewnienia stabilności procesu.

▪Doskonała przewodność cieplna:skutecznie przenoszą ciepło, zapobiegając przegrzaniu się wafla.

▪Wysoka odporność na korozję:Odporne na erozję wywołaną przez różne gazy korozyjne i plazmę.

▪Usługa dostosowana do potrzeb:Stoły podporowe grafitowe o różnych rozmiarach i kształtach mogą być dostosowane do potrzeb klienta.