Υποστήριξη πλακιδίων γραφίτη PECVD

Σύντομη Περιγραφή:

Σχεδιασμένο για ακρίβεια και απόδοση, το Graphite Wafer Support της VET Energy είναι το ιδανικό υλικό για χρήση στην προηγμένη επεξεργασία πλακιδίων, όπου η υψηλή θερμική σταθερότητα και η σταθερή απόδοση είναι κρίσιμες. Είτε εργάζεστε με πλακίδια ημιαγωγών είτε με άλλα ευαίσθητα υποστρώματα, αυτό το υψηλής ποιότητας γραφιτικό στήριγμα θα βελτιώσει την αξιοπιστία της διαδικασίας σας και την ποιότητα του προϊόντος, καθιστώντας το απαραίτητο συστατικό για τη σύγχρονη κατασκευή.

Στείλτε μας email Λήψη ως PDF

Λεπτομέρειες προϊόντος

Ετικέτες προϊόντων

Το στήριγμα πλακιδίων γραφίτη VET Energy PECVD είναι ένα αναλώσιμο πυρήνα σχεδιασμένο για τη διαδικασία PECVD (χημική εναπόθεση ατμών με ενισχυμένο πλάσμα). Αυτό το προϊόν είναι κατασκευασμένο από υλικό γραφίτη υψηλής καθαρότητας και πυκνότητας, με εξαιρετική αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες, αντοχή στη διάβρωση, σταθερότητα διαστάσεων και άλλα χαρακτηριστικά, και μπορεί να παρέχει μια σταθερή πλατφόρμα στήριξης για τη διαδικασία PECVD, εξασφαλίζοντας την ομοιομορφία και την επιπεδότητα της εναπόθεσης φιλμ.

Ο σχεδιασμός "υποστήριξης γραφίτη" του υποστρώματος γραφίτη της VET Energy δεν μπορεί μόνο να υποστηρίξει αποτελεσματικά το πλακίδιο, αλλά και να παρέχει θερμική σταθερότητα στο περιβάλλον PECVD υψηλής θερμοκρασίας και υψηλής πίεσης, εξασφαλίζοντας τη σταθερότητα της διεργασίας.

Το υπόστρωμα πλακιδίων γραφίτη με διεργασία PECVD της VET Energy έχει τα ακόλουθα χαρακτηριστικά:

▪Υψηλή καθαρότητα:εξαιρετικά χαμηλή περιεκτικότητα σε ακαθαρσίες, αποφύγετε τη μόλυνση της μεμβράνης, για να εξασφαλίσετε την ποιότητα της μεμβράνης.

▪Υψηλή πυκνότητα:υψηλή πυκνότητα, υψηλή μηχανική αντοχή, μπορεί να αντέξει σε περιβάλλον υψηλής θερμοκρασίας και υψηλής πίεσης PECVD.

▪Καλή διαστατική σταθερότητα:μικρές διαστατικές αλλαγές σε υψηλή θερμοκρασία για να διασφαλιστεί η σταθερότητα της διαδικασίας.

▪Άριστη θερμική αγωγιμότητα:Μεταφέρετε αποτελεσματικά τη θερμότητα για να αποτρέψετε την υπερθέρμανση της γκοφρέτας.

▪Ισχυρή αντοχή στη διάβρωση:Ικανός να αντισταθεί στη διάβρωση από διάφορα διαβρωτικά αέρια και πλάσμα.

▪Προσαρμοσμένη υπηρεσία:Τα τραπέζια στήριξης από γραφίτη διαφορετικών μεγεθών και σχημάτων μπορούν να προσαρμοστούν στις ανάγκες του πελάτη.

Υλικό γραφίτη από την SGL:

Τυπική παράμετρος: R6510
Δείκτης	Πρότυπο δοκιμής	Αξία	Μονάδα
Μέσο μέγεθος κόκκων	ISO 13320	10	μm
Φαινόμενη πυκνότητα	DIN IEC 60413/204	1,83	γρ./εκ.³
Ανοιχτό πορώδες	DIN66133	10	%
Μεσαίο μέγεθος πόρων	DIN66133	1.8	μm
Διαπερατό	DIN 51935	0,06	cm²/s
Σκληρότητα Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Ειδική ηλεκτρική αντίσταση	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Αντοχή σε κάμψη	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Αντοχή σε θλίψη	DIN 51910	130	MPa
Μέτρο Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Θερμική διαστολή (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Θερμική αγωγιμότητα (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Έχει σχεδιαστεί ειδικά για την κατασκευή ηλιακών κυψελών υψηλής απόδοσης, υποστηρίζοντας την επεξεργασία πλακιδίων μεγάλου μεγέθους G12. Ο βελτιστοποιημένος σχεδιασμός φορέα αυξάνει σημαντικά την απόδοση, επιτρέποντας υψηλότερα ποσοστά απόδοσης και χαμηλότερο κόστος παραγωγής.

Είδος	Τύπος	Αριθμός φορέα γκοφρέτας
Σκάφος PEVCD Grephite - Η σειρά 156	156-13 βάρκα από γρεφίτη	144
	156-19 βάρκα από γρεφίτη	216
	156-21 βάρκα από γρεφίτη	240
	156-23 βάρκα από γραφίτη	308
Σκάφος PEVCD Grephite - Η σειρά 125	125-15 βάρκα από γρεφίτη	196
	125-19 βάρκα από γρεφίτη	252
	125-21 γραφιτό σκάφος	280