Tšehetso ea Wafer ea Graphite ea PECVD

Tlhaloso e Khutšoanyane:

E etselitsoe ho nepahala le ts'ebetso, Tšehetso ea Graphite Wafer ea VET Energy ke thepa e loketseng bakeng sa ts'ebeliso ea li-wafer tse tsoetseng pele, moo botsitso bo phahameng ba mocheso le ts'ebetso e tsitsitseng li leng bohlokoa. Hore na u sebetsa ka li-wafer tsa semiconductor kapa li-substrate tse ling tse bonolo, ts'ehetso ena ea graphite ea boleng bo holimo e tla ntlafatsa ts'epo ea ts'ebetso ea hau le boleng ba sehlahisoa, e leng se etsang hore e be karolo ea bohlokoa bakeng sa tlhahiso ea sejoale-joale.

Romella imeile ho rona Khoasolla e le PDF

Qaqiso ea Sehlahisoa

Li-tag tsa Sehlahisoa

Tšehetso ea graphite wafer ea ts'ebetso ea VET Energy PECVD ke sesebelisoa sa mantlha se ka sebelisoang bakeng sa ts'ebetso ea PECVD (plasma e ntlafalitsoeng ke mouoane oa lik'hemik'hale). Sehlahisoa sena se entsoe ka thepa ea graphite e hloekileng haholo, e nang le bongata bo phahameng, e nang le khanyetso e ntle ea mocheso o phahameng, khanyetso ea mafome, botsitso ba litekanyo le litšobotsi tse ling, e ka fana ka sethala se tsitsitseng sa tšehetso bakeng sa ts'ebetso ea PECVD, ho netefatsa ho tšoana le ho batalla ha ho beoa ha filimi.

Moralo oa "tšehetso ea graphite" oa tšehetso ea wafer ea graphite ea VET Energy ha o khone feela ho tšehetsa wafer ka katleho, empa hape o fana ka botsitso ba mocheso tikolohong ea PECVD ea mocheso o phahameng le khatello e phahameng ho netefatsa botsitso ba ts'ebetso.

Tšehetso ea wafer ea graphite ea VET Energy PECVD e na le litšobotsi tse latelang:

▪Bohloeki bo phahameng:dikahare tse tlase haholo tsa ho se hlweke, qoba ho silafatswa ha filimi, ho netefatsa boleng ba filimi.

▪Sekhahla se phahameng:e teteaneng haholo, matla a phahameng a mechini, e ka mamella mocheso o phahameng le tikoloho ea khatello e phahameng ea PECVD.

▪Botsitso bo botle ba tekanyo:liphetoho tse nyane tsa boholo mochesong o phahameng ho netefatsa botsitso ba ts'ebetso.

▪Ho tsamaisa mocheso hantle haholo:fetisetsa mocheso ka katleho ho thibela ho chesa haholo ha wafer.

▪Khanyetso e matla ea ts'enyeho:E khona ho hanela khoholeho ea mobu ke likhase tse fapaneng tse senyang le plasma.

▪Tšebeletso e ikhethileng:Litafole tsa tšehetso ea graphite tsa boholo le libopeho tse fapaneng li ka fetoloa ho latela litlhoko tsa bareki.

Thepa ea graphite e tsoang ho SGL:

Paramethara e tloaelehileng: R6510
Index	Tekanyetso ea teko	Boleng	Yuniti
Boholo bo tloaelehileng ba lijo-thollo	ISO 13320	10	μm
Bongata ba bongata	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Maro a bulehileng	DIN66133	10	%
Boholo ba masoba a mahareng	DIN66133	1.8	μm
Ho kenella ha metsi	DIN 51935	0.06	cm²/s
Thatafalo ea Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Ho hanyetsa motlakase ka ho khetheha	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Matla a ho tenyetseha	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Matla a khatello	DIN 51910	130	MPa
Modulus ea Young	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Katoloso ea mocheso (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Ho tsamaisa mocheso (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

E etselitsoe ka ho khetheha tlhahiso ea lisele tsa letsatsi tse sebetsang hantle haholo, e tšehetsang ts'ebetso ea wafer ea boholo bo boholo ba G12. Moralo o ntlafalitsoeng oa carrier o eketsa tlhahiso haholo, o nolofalletsang sekhahla se phahameng sa chai le litšenyehelo tse tlase tsa tlhahiso.

Ntho	Mofuta	Sejari sa wafer sa nomoro
Sekepe sa PEVCD Grephite - Letoto la 156	Sekepe sa grephite sa 156-13	144
	Sekepe sa grephite sa 156-19	216
	Sekepe sa grephite sa 156-21	240
	Sekepe sa graphite sa 156-23	308
Sekepe sa PEVCD Grephite - Letoto la 125	Sekepe sa grephite sa 125-15	196
	Sekepe sa grephite sa 125-19	252
	Sekepe sa 125-21 sa grphite	280