PECVD ग्रेफाइट वेफर सपोर्ट

VET एनर्जी PECVD प्रोसेस ग्रेफाइट वेफर सपोर्ट हे PECVD (प्लाझ्मा एन्हांस्ड केमिकल व्हेपर डिपॉझिशन) प्रक्रियेसाठी डिझाइन केलेले एक मुख्य उपभोग्य आहे. हे उत्पादन उच्च-शुद्धता, उच्च-घनता ग्रेफाइट मटेरियलपासून बनलेले आहे, उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिरोधकता, गंज प्रतिरोधकता, मितीय स्थिरता आणि इतर वैशिष्ट्यांसह, PECVD प्रक्रियेसाठी एक स्थिर समर्थन प्लॅटफॉर्म प्रदान करू शकते, ज्यामुळे फिल्म डिपॉझिशनची एकसमानता आणि सपाटपणा सुनिश्चित होतो.

व्हीईटी एनर्जी ग्रेफाइट वेफर सपोर्टची "ग्रेफाइट सपोर्ट" डिझाइन केवळ वेफरला प्रभावीपणे समर्थन देऊ शकत नाही, तर प्रक्रियेची स्थिरता सुनिश्चित करण्यासाठी उच्च तापमान आणि उच्च दाब असलेल्या PECVD वातावरणात थर्मल स्थिरता देखील प्रदान करते.

VET एनर्जी PECVD प्रक्रिया ग्रेफाइट वेफर सपोर्टमध्ये खालील वैशिष्ट्ये आहेत:

▪उच्च शुद्धता:अत्यंत कमी अशुद्धता असलेले, चित्रपटाचे दूषित होणे टाळा, जेणेकरून चित्रपटाची गुणवत्ता सुनिश्चित होईल.

▪उच्च घनता:उच्च घनता, उच्च यांत्रिक शक्ती, उच्च तापमान आणि उच्च दाब PECVD वातावरणाचा सामना करू शकते.

▪चांगली मितीय स्थिरता:प्रक्रियेची स्थिरता सुनिश्चित करण्यासाठी उच्च तापमानात लहान मितीय बदल.

▪उत्कृष्ट औष्णिक चालकता:वेफर जास्त गरम होण्यापासून रोखण्यासाठी उष्णता प्रभावीपणे हस्तांतरित करा.

▪मजबूत गंज प्रतिकार:विविध संक्षारक वायू आणि प्लाझ्मा यांच्या क्षरणाचा प्रतिकार करण्यास सक्षम.

▪सानुकूलित सेवा:ग्राहकांच्या गरजेनुसार वेगवेगळ्या आकारांचे आणि आकारांचे ग्रेफाइट सपोर्ट टेबल्स कस्टमाइझ केले जाऊ शकतात.