पीईसीव्हीडी ग्राफाइट वेफर सपोर्ट

व्हीईटी एनर्जी पीईसीव्हीडी प्रक्रिया ग्रॅफाइट वेफर सपोर्ट हे पीईसीव्हीडी (प्लाझ्मा एन्हांस्ड केमिकल व्हेपर डिपॉझिशन) प्रक्रियेसाठी डिझाइन केलेले एक मुख्य उपभोग्य साहित्य आहे. हे उत्पादन उच्च-शुद्धता आणि उच्च-घनतेच्या ग्रॅफाइट मटेरियलपासून बनलेले आहे, ज्यात उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिरोध, गंज प्रतिरोध, आकारमान स्थिरता आणि इतर वैशिष्ट्ये आहेत. हे पीईसीव्हीडी प्रक्रियेसाठी एक स्थिर आधार मंच प्रदान करते, ज्यामुळे फिल्म डिपॉझिशनची एकसमानता आणि सपाटपणा सुनिश्चित होतो.

व्हीईटी एनर्जी ग्राफाइट वेफर सपोर्टची "ग्राफाइट सपोर्ट" रचना केवळ वेफरला प्रभावीपणे आधार देत नाही, तर उच्च तापमान आणि उच्च दाबाच्या पीईसीव्हीडी वातावरणात औष्णिक स्थिरता देखील प्रदान करते, ज्यामुळे प्रक्रियेची स्थिरता सुनिश्चित होते.

VET एनर्जी PECVD प्रक्रियेच्या ग्राफाइट वेफर सपोर्टमध्ये खालील वैशिष्ट्ये आहेत:

▪उच्च शुद्धता:अत्यंत कमी अशुद्धीचे प्रमाण, फिल्मचे दूषितीकरण टाळते, ज्यामुळे फिल्मची गुणवत्ता सुनिश्चित होते.

▪उच्च घनता:उच्च घनता, उच्च यांत्रिक शक्ती, उच्च तापमान आणि उच्च दाबाच्या PECVD वातावरणात टिकून राहू शकते.

▪चांगली आयामी स्थिरता:प्रक्रियेची स्थिरता सुनिश्चित करण्यासाठी उच्च तापमानात लहान आयामी बदल.

▪उत्कृष्ट औष्णिक वाहकता:वेफर जास्त गरम होण्यापासून रोखण्यासाठी उष्णता प्रभावीपणे हस्तांतरित करणे.

▪उत्कृष्ट गंजरोधकता:विविध क्षरणकारी वायू आणि प्लाझ्मामुळे होणाऱ्या झिजेला प्रतिकार करण्यास सक्षम.

▪सानुकूलित सेवा:ग्राहकांच्या गरजेनुसार वेगवेगळ्या आकारांचे आणि प्रकारांचे ग्राफाइट सपोर्ट टेबल बनवून घेता येतात.