PECVD Графит Ваферын Дэмжлэг

Товч тайлбар:

Нарийвчлал болон гүйцэтгэлд зориулагдсан VET Energy компанийн Графит Ваферийн тулгуур нь өндөр дулааны тогтвортой байдал болон тогтвортой гүйцэтгэл чухал ач холбогдолтой дэвшилтэт вафер боловсруулахад ашиглахад тохиромжтой материал юм. Та хагас дамжуулагч вафер эсвэл бусад эмзэг суурьтай ажиллаж байгаа эсэхээс үл хамааран энэхүү өндөр чанартай графит тулгуур нь таны процессын найдвартай байдал болон бүтээгдэхүүний чанарыг сайжруулж, орчин үеийн үйлдвэрлэлийн зайлшгүй бүрэлдэхүүн хэсэг болгоно.

Бидэнд имэйл илгээх PDF хэлбэрээр татаж авах

Бүтээгдэхүүний дэлгэрэнгүй мэдээлэл

Бүтээгдэхүүний шошго

VET Energy PECVD процессын бал чулуун хавтангийн тулгуур нь PECVD (плазмын сайжруулсан химийн ууршуулах) процесст зориулагдсан гол хэрэглээний материал юм. Энэхүү бүтээгдэхүүн нь өндөр цэвэршилттэй, өндөр нягтралтай бал чулуун материалаар хийгдсэн бөгөөд маш сайн өндөр температурт тэсвэртэй, зэврэлтэнд тэсвэртэй, хэмжээст тогтвортой байдал болон бусад шинж чанартай бөгөөд PECVD процесст тогтвортой тулгуур тавцан болж, хальсан бүрхүүлийн жигд байдал, тэгш байдлыг хангах боломжтой.

VET Energy графит хавтангийн тулгуурын "бал чулуун тулгуур" загвар нь хавтанг үр дүнтэйгээр дэмжихээс гадна өндөр температур, өндөр даралттай PECVD орчинд дулааны тогтвортой байдлыг хангаж, үйл явцын тогтвортой байдлыг хангаж чадна.

VET Energy PECVD процессын бал чулуун хавтангийн тулгуур нь дараах шинж чанаруудтай:

▪Өндөр цэвэршилттэй:Киноны чанарыг баталгаажуулахын тулд маш бага хольцын агууламжтай тул хальсыг бохирдуулахаас зайлсхий.

▪Өндөр нягтрал:өндөр нягтралтай, өндөр механик бат бөх, өндөр температур болон өндөр даралтын PECVD орчинд тэсвэртэй.

▪Сайн хэмжээст тогтвортой байдал:үйл явцын тогтвортой байдлыг хангахын тулд өндөр температурт жижиг хэмжээст өөрчлөлтүүд.

▪Маш сайн дулаан дамжуулалт:ваарны хэт халалтаас урьдчилан сэргийлэхийн тулд дулааныг үр дүнтэй дамжуулдаг.

▪Хүчтэй зэврэлтээс хамгаалах чадвар:Төрөл бүрийн идэмхий хий болон плазмын элэгдлийг эсэргүүцэх чадвартай.

▪Захиалгат үйлчилгээ:Янз бүрийн хэмжээ, хэлбэрийн графит тулгуурын ширээг хэрэглэгчийн хэрэгцээнд нийцүүлэн өөрчилж болно.

SGL-ийн бал чулуун материал:

Ердийн параметр: R6510
Индекс	Туршилтын стандарт	Үнэ цэнэ	Нэгж
Үр тарианы дундаж хэмжээ	ISO 13320	10	мкм
Бөөн нягтрал	DIN IEC 60413/204	1.83	г/см³
Нээлттэй сүвэрхэг байдал	DIN66133	10	%
Дунд зэргийн нүх сүвний хэмжээ	DIN66133	1.8	мкм
Нэвчилт	DIN 51935	0.06	см²/с
Роквеллийн хатуулаг HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Цахилгаан эсэргүүцэл	DIN IEC 60413/402	13	μΩм
Гулзайлтын хүч	DIN IEC 60413/501	60	МПа
Шахалтын бат бэх	DIN 51910	130	МПа
Янгийн модуль	DIN 51915	11.5×10³	МПа
Дулааны тэлэлт (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Дулаан дамжуулалт (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Энэ нь G12 том хэмжээтэй вафлийн боловсруулалтыг дэмждэг өндөр үр ашигтай нарны зай үйлдвэрлэхэд зориулагдсан. Оновчтой зөөгч загвар нь дамжуулах чадварыг мэдэгдэхүйц нэмэгдүүлж, ургацын хэмжээг нэмэгдүүлж, үйлдвэрлэлийн зардлыг бууруулдаг.

Зүйл	Төрөл	Дугаартай вафли зөөгч
PEVCD Грефит завь - 156 цуврал	156-13 грефит завь	144
	156-19 грефит завь	216
	156-21 грефит завь	240
	156-23 бал чулуун завь	308
PEVCD Грефит завь - 125 цуврал	125-15 грефит завь	196
	125-19 грефит завь	252
	125-21 грфит завь	280