VET Energy PECVD laadimisalus on täppiskandja, mis on loodud PECVD (plasma abil keemilise sadestamise) protsessi jaoks. See kvaliteetne sadestamisgrafiidi alus on valmistatud kõrge puhtusastmega ja suure tihedusega grafiitmaterjalist. Sellel on suurepärane vastupidavus kõrgele temperatuurile, korrosioonikindlusele, mõõtmete stabiilsus ja muud omadused. See pakub stabiilset kandeplatvormi PECVD protsessi jaoks ning tagab kile sadestamise ühtluse ja tasasuse.
VET Energy PECVD laadimisaluseid kasutatakse laialdaselt pooljuhtide, fotogalvaanika, LED-ide ja muudes valdkondades. Näiteks:
▪ Pooljuht: PECVD-protsess pooljuhtmaterjalide, näiteks räniplaatide ja epitaksiaalsete vahvlite jaoks.
▪ Fotogalvaanika: PECVD-protsess päikesepatareide õhukeste kilede jaoks.
▪ LED: PECVD protsess LED-kiipide jaoks.
Toote eelised
▪Paranda filmi kvaliteeti:Tagage ühtlane kile ladestumine ja parandage kile kvaliteeti.
▪Pikendage seadmete eluiga:Suurepärane korrosioonikindlus, pikendab PECVD seadmete kasutusiga.
▪Vähendage tootmiskulusid:Kvaliteetsed grafiidist kandikud võivad vähendada jääkide hulka ja tootmiskulusid.
SGL-i grafiitmaterjal:
| Tüüpiline parameeter: R6510 | |||
| Indeks | Katsestandard | Väärtus | Ühik |
| Keskmine tera suurus | ISO 13320 | 10 | μm |
| Mahutihedus | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| Avatud poorsus | DIN66133 | 10 | % |
| Keskmise suurusega poorid | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Läbilaskvus | DIN 51935 | 0,06 | cm²/s |
| Rockwelli kõvadus HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Spetsiifiline elektriline takistus | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Paindetugevus | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Survetugevus | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Youngi moodul | DIN 51915 | 11,5 × 10³ | MPa |
| Soojuspaisumine (20–200 ℃) | DIN 51909 | 4,2x10-6 | K-1 |
| Soojusjuhtivus (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
See on spetsiaalselt loodud suure tõhususega päikesepatareide tootmiseks, toetades G12 suurte vahvlite töötlemist. Optimeeritud kanduri disain suurendab oluliselt läbilaskevõimet, võimaldades suuremat tootlikkust ja madalamaid tootmiskulusid.
| Ese | Tüüp | Numbriline kiibikandja |
| PEVCD Grephite paat - 156 seeria | 156-13 grefiitpaat | 144 |
| 156-19 grefiitpaat | 216 | |
| 156-21 grefiitpaat | 240 | |
| 156-23 grafiidist paat | 308 | |
| PEVCD Grephite paat - 125. seeria | 125-15 grefiitpaat | 196 |
| 125-19 grefiitpaat | 252 | |
| 125-21 grafiidist paat | 280 |
