VET Energyn PECVD-täyttöalusta on tarkkuusalusta, joka on suunniteltu PECVD-prosessiin (plasma-avusteinen kemiallinen höyrypinnoitus). Tämä korkealaatuinen grafiittipinnoitusalusta on valmistettu erittäin puhtaasta ja tiheästä grafiittimateriaalista. Sillä on erinomainen lämmönkesto, korroosionkestävyys, mittapysyvyys ja muita ominaisuuksia. Se voi tarjota vakaan alustan PECVD-prosessille ja varmistaa kalvopinnoituksen tasaisuuden ja tasaisuuden.
VET Energyn PECVD-täyttöalustoja käytetään laajalti puolijohde-, aurinkosähkö-, LED- ja muilla aloilla. Esimerkiksi:
▪ Puolijohde: PECVD-prosessi puolijohdemateriaaleille, kuten piikiekoille ja epitaksiaalisille kiekoille.
▪ Aurinkosähkö: PECVD-prosessi aurinkokennojen ohutkalvoille.
▪ LED: PECVD-prosessi LED-siruille.
Tuotteen edut
▪Paranna elokuvan laatua:Varmista tasainen kalvon kerrostuminen ja paranna kalvon laatua.
▪Pidennä laitteiden käyttöikää:Erinomainen korroosionkestävyys, pidentää PECVD-laitteiden käyttöikää.
▪Alenna tuotantokustannuksia:Korkealaatuiset grafiittialustat voivat vähentää hylkymäärää ja alentaa tuotantokustannuksia.
Grafiittimateriaalia SGL:ltä:
| Tyypillinen parametri: R6510 | |||
| Indeksi | Testistandardi | Arvo | Yksikkö |
| Keskimääräinen raekoko | ISO 13320 | 10 | μm |
| Irtotiheys | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm²3 |
| Avoin huokoisuus | DIN66133 | 10 | % |
| Keskikokoinen huokoskoko | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Läpäisevyys | DIN 51935 | 0,06 | cm²/s |
| Rockwell-kovuus HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Ominaisresistiivisyys | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Taivutuslujuus | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Puristuslujuus | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Youngin moduuli | DIN 51915 | 11,5 × 10³ | MPa |
| Lämpölaajeneminen (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4,2 x 10-6 | K-1 |
| Lämmönjohtavuus (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Se on erityisesti suunniteltu tehokkaaseen aurinkokennojen valmistukseen ja tukee G12-kokoisten kiekkojen käsittelyä. Optimoitu kantajan suunnittelu lisää merkittävästi läpimenoaikaa, mikä mahdollistaa korkeammat saantoasteet ja alhaisemmat tuotantokustannukset.
| Tuote | Tyyppi | Numerokiekon kantaja |
| PEVCD Grephite -vene - 156-sarja | 156-13 grefiittivene | 144 |
| 156-19 grefiittivene | 216 | |
| 156-21 grefiittivene | 240 | |
| 156-23 grafiittivene | 308 | |
| PEVCD Grephite -vene - 125-sarja | 125-15 grefiittivene | 196 |
| 125-19 grefiittivene | 252 | |
| 125-21 grafiittivene | 280 |
-
Erittäin luja grafiittirengas, jolla on hyvä kitka ...
-
Grafiittitiiviste grafiittikomposiittitiiviste
-
Grafiittilaakeri antimonilaakeri grafiittiholkki
-
isostaattinen grafiitti ja erityinen grafiittilohko u...
-
Korkealaatuinen hiiligrafiittipaperirulla, joustava ...
-
Erittäin puhdasta joustavaa grafiittipaperia 0,5–1,0 mm...