De VET Energy PECVD-laadbak is in presyzjedrager ûntworpen foar it PECVD-proses (plasma-ferbettere gemyske dampôfsetting). Dizze grafytbak fan hege kwaliteit is makke fan grafytmateriaal mei hege suverens en hege tichtheid. It hat poerbêste temperatuerresistinsje, korrosjebestriding, dimensjonele stabiliteit en oare skaaimerken. It kin in stabyl dragerplatfoarm leverje foar it PECVD-proses en de uniformiteit en flakheid fan filmôfsetting garandearje.
VET Energy PECVD laadbakken wurde in soad brûkt yn healgeleiders, fotovoltaïsche apparaten, LED en oare fjilden. Bygelyks:
▪ Healgeleider: PECVD-proses foar healgeleidermaterialen lykas silisiumwafers en epitaksiale wafers.
▪ Fotovoltaïsk: PECVD-proses foar tinne films fan sinnesellen.
▪ LED: PECVD-proses foar LED-chips.
Produktfoardielen
▪Ferbetterje de filmkwaliteit:Soargje foar unifoarme filmôfsetting en ferbetterje de filmkwaliteit.
▪Ferlingje de libbensdoer fan apparatuer:Uitstekende korrosjebestriding, ferlingje de libbensdoer fan PECVD-apparatuer.
▪Ferminderje produksjekosten:Grafytbakken fan hege kwaliteit kinne it skrootpersintaazje ferminderje en de produksjekosten ferminderje.
Grafytmateriaal fan SGL:
| Typyske parameter: R6510 | |||
| Yndeks | Teststandert | Wearde | Ienheid |
| Gemiddelde nôtgrutte | ISO 13320 | 10 | μm |
| Bulkdichtheid | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| Iepen porositeit | DIN66133 | 10 | % |
| Middelgrutte poaren | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Permeabiliteit | DIN 51935 | 0.06 | sm²/s |
| Rockwell-hurdens HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Spesifike elektryske wjerstân | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Bûgingssterkte | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Kompresjesterkte | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Young's modulus | DIN 51915 | 11,5 × 10³ | MPa |
| Termyske útwreiding (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| Termyske geliedingsfermogen (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
It is spesifyk ûntworpen foar hege-effisjinsje sinnesellenproduksje, en stipet de ferwurking fan grutte G12-wafers. Optimalisearre dragerûntwerp fergruttet de trochfier signifikant, wêrtroch hegere opbringsten en legere produksjekosten mooglik binne.
| Ûnderdiel | Type | Nûmer waferdrager |
| PEVCD Grephite-boat - De 156-searje | 156-13 grepytboat | 144 |
| 156-19 grepytboat | 216 | |
| 156-21 grepytboat | 240 | |
| 156-23 grafytboat | 308 | |
| PEVCD Grephite-boat - De 125-searje | 125-15 grepytboat | 196 |
| 125-19 grepytboat | 252 | |
| 125-21 grafytboat | 280 |
