Bagian Halfmoon Grafit Dilapis SiCmangrupikeun komponén konci anu dianggo dina prosés manufaktur semikonduktor, khususna pikeun peralatan epitaksial SiC. Kami nganggo téknologi anu dipatenkeun pikeun ngadamel bagian halfmoon kalayan kamurnian anu luhur pisan, keseragaman palapis anu saé sareng umur jasa anu saé pisan, ogé résistansi kimia sareng sipat stabilitas termal anu luhur.
Bahan dasar: grafit kamurnian luhur
Sarat kamurnian:eusi karbon ≥99,99%, eusi lebu ≤5ppm, pikeun mastikeun yén teu aya pangotor anu diendapkeun pikeun ngotoran lapisan epitaksial dina suhu anu luhur.
Kaunggulan kinerja:
Konduktivitas termal anu luhur:Konduktivitas termal dina suhu kamar ngahontal 150W/(m・K), anu ampir sarua jeung tingkat tambaga sareng tiasa gancang mindahkeun panas.
Koefisien ékspansi handap:5×10-6/℃ (25-1000℃), cocog jeung substrat silikon karbida (4.2×10-6/℃), ngurangan retakan palapis anu disababkeun ku setrés termal.
Akurasi pamrosésan:Toleransi diménsi ±0,05mm kahontal ngaliwatan mesin CNC pikeun mastikeun panyegelan ruangan éta.
Aplikasi anu béda tina CVD SiC sareng CVD TaC
| Palapis | Prosés | Babandingan | Aplikasi has |
| CVD-SiC | Suhu: 1000-1200℃ Tekanan: 10-100 Torr | Karasa HV2500, kandelna 50-100um, résistansi oksidasi anu saé pisan (stabil di handap 1600 ℃) | Tungku epitaksial universal, cocog pikeun atmosfir konvensional sapertos hidrogén sareng silana |
| CVD-TaC | Suhu: 1600-1800℃ Tekanan: 1-10 Torr | Karasa HV3000, kandelna 20-50um, tahan pisan kana korosi (tiasa nahan gas korosif sapertos HCl, NH₃, jsb.) | Lingkungan anu korosif pisan (sapertos epitaksi sareng alat ukir GaN), atanapi prosés khusus anu meryogikeun suhu anu luhur pisan nyaéta 2600°C |
Inspeksi kualitas
Kandel palapis: alat ukur ketebalan laser (akurasi ±1um) atanapi analisis cross-sectional SEM.
Kakuatan beungkeutan: uji goresan (beban kritis > 50N) atanapi uji ultrasonik (kagancangan sora > 5000m/s).
Résistansi korosi: laju leungitna massa (<0.1 mg/cm²・h) diuji dina atmosfir HCl (5 vol%, 1600℃).
VET Energy nyaéta produsén profésional anu fokus kana R&D sareng produksi bahan canggih kelas luhur sapertos grafit, silikon karbida, kuarsa, ogé perlakuan bahan sapertos palapis SiC, palapis TaC, palapis karbon glassy, palapis karbon pirolitik, jsb. Produkna seueur dianggo dina fotovoltaik, semikonduktor, énergi énggal, metalurgi, jsb.
Tim téknis kami asalna ti lembaga panalungtikan domestik luhur, tiasa nyayogikeun solusi bahan anu langkung profésional pikeun anjeun.
Kaunggulan VET Energy kalebet:
• Pabrik sorangan sareng laboratorium profésional;
• Tingkat kamurnian sareng kualitas anu unggul dina industri;
• Hargana kompetitif & Waktos pangiriman gancang;
• Sababaraha partnership industri di sakumna dunya;
Kami ngabagéakeun anjeun nganjang ka pabrik sareng laboratorium kami iraha waé!
