የVET ኢነርጂ የPECVD ጭነት ትሪ ለPECVD (የፕላዝማ የተሻሻለ የኬሚካል ትነት ክምችት) ሂደት የተነደፈ ትክክለኛ ተሸካሚ ነው። ይህ ከፍተኛ ጥራት ያለው የማጠራቀሚያ ግራፋይት ትሪ ከከፍተኛ ንፅህና፣ ከፍተኛ ጥግግት ካለው የግራፋይት ቁሳቁስ የተሰራ ነው። እጅግ በጣም ጥሩ ከፍተኛ የሙቀት መቋቋም፣ የዝገት መቋቋም፣ የመጠን መረጋጋት እና ሌሎች ባህሪያት አሉት። ለPECVD ሂደት የተረጋጋ ተሸካሚ መድረክ ማቅረብ እና የፊልም ክምችት ወጥነት እና ጠፍጣፋነት ማረጋገጥ ይችላል።
የVET ኢነርጂ የPECVD መጫኛ ትሪዎች በሴሚኮንዳክተር፣ በፎቶቮልታይክ፣ በኤልኢዲ እና በሌሎች መስኮች በስፋት ጥቅም ላይ ይውላሉ። ለምሳሌ፡
▪ ሴሚኮንዳክተር፡- እንደ ሲሊኮን ዋፈርስ እና ኤፒታክሲያል ዋፈርስ ላሉ ሴሚኮንዳክተር ቁሶች የPECVD ሂደት።
▪ ፎቶቮልታይክ፡- ለፀሐይ ሴል ቀጭን ፊልሞች የPECVD ሂደት።
▪ LED፡ ለ LED ቺፕስ የPECVD ሂደት።
የምርት ጥቅሞች
▪የፊልም ጥራት ማሻሻል፡የፊልሙን ወጥ የሆነ አቀማመጥ ማረጋገጥ እና የፊልሙን ጥራት ማሻሻል።
▪የመሳሪያውን ዕድሜ ማራዘም;እጅግ በጣም ጥሩ የዝገት መቋቋም፣ የ PECVD መሳሪያዎችን የአገልግሎት ዘመን ያራዝሙ።
▪የምርት ወጪዎችን ይቀንሱ:ከፍተኛ ጥራት ያላቸው የግራፋይት ትሪዎች የቆሻሻ መጣያ ፍጥነትን ሊቀንሱ እና የምርት ወጪዎችን ሊቀንሱ ይችላሉ።
የግራፋይት ቁሳቁስ ከ SGL፦
| የተለመደው መለኪያ፡ R6510 | |||
| ማውጫ | የሙከራ መስፈርት | እሴት | ዩኒት |
| አማካይ የእህል መጠን | ISO 13320 | 10 | μሜ |
| የጅምላ ጥግግት | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | ግ/ሴሜ3 |
| ክፍት ቀዳዳ | DIN66133 | 10 | % |
| መካከለኛ የቀዳዳ መጠን | DIN66133 | 1.8 | μሜ |
| ዘላቂነት | ዲአይኤን 51935 | 0.06 | ሴሜ²/ሰ |
| የሮክዌል ጥንካሬ HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| የተወሰነ የኤሌክትሪክ መቋቋም | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩም |
| የመተጣጠፍ ጥንካሬ | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| የመጭመቂያ ጥንካሬ | ዲአይኤን 51910 | 130 | MPa |
| የያንግ ሞዱለስ | ዲአይኤን 51915 | 11.5 × 10³ | MPa |
| የሙቀት መስፋፋት (20-200℃) | ዲአይኤን 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| የሙቀት ኮዳክቲቭ (20℃) | ዲአይኤን 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
በተለይ ለከፍተኛ ብቃት ያለው የፀሐይ ሴል ማምረቻ የተነደፈ ሲሆን፣ የG12 ትልቅ መጠን ያለው የዋፈር ማቀነባበሪያን ይደግፋል። የተሻሻለው ተሸካሚ ዲዛይን የውጤት መጠንን በእጅጉ ይጨምራል፣ ይህም ከፍተኛ የምርት መጠን እና ዝቅተኛ የምርት ወጪዎችን ያስችላል።
| እቃ | አይነት | የቁጥር ስዋፈር ተሸካሚ |
| የፔቭሲዲ ግሬፋይት ጀልባ - የ156 ተከታታይ | 156-13 ግሪፋይት ጀልባ | 144 |
| 156-19 ግሪፋይት ጀልባ | 216 | |
| 156-21 ግሪፋይት ጀልባ | 240 | |
| 156-23 ግራፋይት ጀልባ | 308 | |
| PEVCD ግሬፋይት ጀልባ - የ125 ተከታታይ | 125-15 ግሪፋይት ጀልባ | 196 |
| 125-19 ግሪፋይት ጀልባ | 252 | |
| 125-21 ግሪፋይት ጀልባ | 280 |







