Safata de càrrega PECVD Safata de deposició de grafit

Descripció breu:

La safata de càrrega PECVD de VET Energy està dissenyada per proporcionar un suport segur i uniforme per a les oblies durant la deposició, millorant la consistència i la qualitat del procés de deposició. Amb la seva excel·lent resistència a la calor, la safata de grafit ajuda a mantenir un entorn controlat dins de les cambres PECVD, reduint el risc de contaminació i garantint una alta eficiència del procés.

Envia'ns un correu electrònic Descarrega com a PDF

Detall del producte

Etiquetes de producte

La safata de càrrega PECVD de VET Energy és un portador de precisió dissenyat per al procés PECVD (deposició química de vapor millorada per plasma). Aquesta safata de grafit de deposició d'alta qualitat està feta de material de grafit d'alta puresa i alta densitat. Té una excel·lent resistència a altes temperatures, resistència a la corrosió, estabilitat dimensional i altres característiques. Pot proporcionar una plataforma portadora estable per al procés PECVD i garantir la uniformitat i la planitud de la deposició de la pel·lícula.

Les safates de càrrega PECVD de VET Energy s'utilitzen àmpliament en semiconductors, fotovoltaica, LED i altres camps. Per exemple:

▪ Semiconductor: procés PECVD per a materials semiconductors com ara oblies de silici i oblies epitaxials.

▪ Fotovoltaica: procés PECVD per a pel·lícules primes de cèl·lules solars.

▪ LED: procés PECVD per a xips LED.

Avantatges del producte

▪Millorar la qualitat de la pel·lícula:Assegurar una deposició uniforme de la pel·lícula i millorar la seva qualitat.

▪Allargar la vida útil de l'equip:Excel·lent resistència a la corrosió, allarga la vida útil dels equips PECVD.

▪Reduir els costos de producció:Les safates de grafit d'alta qualitat poden reduir la taxa de ferralla i reduir els costos de producció.

Material de grafit de SGL:

Paràmetre típic: R6510
Índex	Estàndard de prova	Valor	Unitat
Mida mitjana del gra	ISO 13320	10	μm
Densitat aparent	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Porositat oberta	DIN66133	10	%
Mida mitjana dels porus	DIN66133	1.8	μm
Permeabilitat	DIN 51935	0,06	cm²/s
Duresa Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Resistivitat elèctrica específica	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Resistència a la flexió	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Resistència a la compressió	DIN 51910	130	MPa
Mòdul de Young	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Expansió tèrmica (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Conductivitat tèrmica (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Està dissenyat específicament per a la fabricació de cèl·lules solars d'alta eficiència, i admet el processament d'oblies de gran mida G12. El disseny optimitzat del portador augmenta significativament el rendiment, permetent taxes de rendiment més elevades i costos de producció més baixos.

Ítem	Tipus	Portador de l'oblea número
Vaixell de grefita PEVCD - La sèrie 156	156-13 vaixell de grefit	144
	156-19 vaixell de grefit	216
	156-21 vaixell de grefit	240
	156-23 vaixell de grafit	308
Vaixell PEVCD Grephite - La sèrie 125	Vaixell de grefit 125-15	196
	Vaixell de grefit 125-19	252
	Vaixell de grafit 125-21	280