PECVD тиеу науасы, графит тұндыру науасы

PECVD жүктеу науасының тұндыру графиті науасы Таңдаулы сурет

Қысқаша сипаттама:

VET Energy компаниясының PECVD жүктеу науасы тұндыру кезінде пластиналарды қауіпсіз және біркелкі қолдауды қамтамасыз етуге, тұндыру процесінің консистенциясы мен сапасын жақсартуға арналған. Керемет ыстыққа төзімділігімен графит науасы PECVD камераларының ішінде бақыланатын ортаны сақтауға көмектеседі, ластану қаупін азайтады және жоғары процестің тиімділігін қамтамасыз етеді.

Бізге электрондық пошта жіберіңіз PDF форматында жүктеп алу

Өнімнің егжей-тегжейі

Өнім тегтері

VET Energy PECVD тиеу науасы - PECVD (плазмалық күшейтілген химиялық бумен тұндыру) процесіне арналған дәлдіктегі тасымалдаушы. Бұл жоғары сапалы тұндыру графит науасы жоғары тазалықтағы, жоғары тығыздықтағы графит материалынан жасалған. Ол жоғары температураға төзімділікке, коррозияға төзімділікке, өлшемдік тұрақтылыққа және басқа да сипаттамаларға тамаша ие. Ол PECVD процесі үшін тұрақты тасымалдаушы платформаны қамтамасыз ете алады және пленка тұндыруының біркелкілігі мен жазықтығын қамтамасыз ете алады.

VET Energy PECVD тиеу науалары жартылай өткізгіштерде, фотоэлектрлік жүйелерде, жарықдиодты құрылғыларда және басқа да салаларда кеңінен қолданылады. Мысалы:

▪ Жартылай өткізгіш: Кремний пластиналары және эпитаксиалды пластиналар сияқты жартылай өткізгіш материалдарға арналған PECVD процесі.

▪ Фотоэлектрлік: күн батареяларының жұқа қабықшаларына арналған PECVD процесі.

▪ Жарықдиодты шам: Жарықдиодты чиптерге арналған PECVD процесі.

Өнімнің артықшылықтары

▪Фильм сапасын жақсарту:Біркелкі пленка түсіруді қамтамасыз ету және пленка сапасын жақсарту.

▪Жабдықтың қызмет ету мерзімін ұзарту:Коррозияға төзімділігі жоғары, PECVD жабдықтарының қызмет ету мерзімін ұзартады.

▪Өндіріс шығындарын азайту:Жоғары сапалы графит науалары қалдықтардың мөлшерін азайтып, өндіріс шығындарын азайта алады.

SGL графит материалы:

Типтік параметр: R6510
Индекс	Сынақ стандарты	Құндылық	Бірлік
Орташа дән мөлшері	ISO 13320	10	мкм
Көлемдік тығыздық	DIN IEC 60413/204	1.83	г/см³
Ашық кеуектілік	DIN66133	10	%
Орташа тесік өлшемі	DIN66133	1.8	мкм
Өткізгіштік	DIN 51935	0,06	см²/с
Роквелл қаттылығы HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Меншікті электрлік кедергі	DIN IEC 60413/402	13	мкОм
Иілу күші	DIN IEC 60413/501	60	МПа
Қысым күші	DIN 51910	130	МПа
Янг модулі	DIN 51915	11,5×10³	МПа
Термиялық кеңею (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Жылу өткізгіштік (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Ол G12 үлкен өлшемді пластиналарды өңдеуді қолдайтын жоғары тиімді күн батареяларын өндіру үшін арнайы жасалған. Оңтайландырылған тасымалдаушы дизайны өткізу қабілеттілігін айтарлықтай арттырады, бұл өнімділіктің жоғары деңгейіне және өндіріс шығындарының төмендеуіне мүмкіндік береді.

Тауар	Түрі	Нөмірлік пластина тасымалдаушысы
PEVCD Grephite қайығы - 156 сериясы	156-13 грифит қайығы	144
	156-19 грефит қайығы	216
	156-21 грифит қайығы	240
	156-23 графит қайығы	308
PEVCD Grephite қайығы - 125 сериясы	125-15 грифит қайығы	196
	125-19 грифит қайығы	252
	125-21 грфит қайығы	280