Кеуекті тантал карбидімен қапталған графит сақинасы

Кеуекті тантал карбидімен қапталған графит сақинасы
Кеуекті тантал карбиді (TaC) қапталған графитжартылай өткізгіш өндірісінің жоғары температуралы, жоғары коррозиялық орталары үшін арнайы жасалған негізгі материал болып табылады. Оның негізі - химиялық бу тұндыру (CVD) көмегімен біркелкі кеуекті тантал карбид жабынымен қапталған жоғары тазалықтағы изостатикалық графит. TaC өте жоғары қаттылыққа (Моос шкаласы бойынша 9-10) және балқу температурасы 3880°C. Графиттің тамаша термиялық тұрақтылығы мен жеңіл қасиеттерімен үйлескенде, бұл материал жоғары температуралық беріктікті химиялық шабуылға және термиялық соққыға төзімділікпен біріктіреді, бұл оны экстремалды жағдайларда жұмыс істейтін жартылай өткізгіш технологиялық жабдықтар үшін тамаша таңдау етеді.

Кеуекті тантал карбид графитінің артықшылықтары:
1. Ультра жоғары коррозияға төзімділік
-TaC химиялық тұрғыдан инертті, фтор және хлор сияқты галогендердің коррозиясына тиімді қарсы тұрады, бұл жабдықтың қызмет ету мерзімін айтарлықтай ұзартады.
- Кеуекті құрылым жабынның беткі ауданын арттырады, берік қорғаныс тосқауылын қалыптастырады және бөлшектердің төгілу қаупін азайтады.
2. Жоғары температурадағы тамаша тұрақтылық
- Балқу температурасы 4000°C-қа жақындаған кезде, ол вакуумда немесе 2500°C-тан асатын инертті атмосферада ұзақ уақыт жұмыс істей алады.
- Жабынның термиялық кеңею коэффициенті графиттің коэффициентіне өте сәйкес келеді, бұл термиялық циклден туындаған жарықтар мен қабыршақтанудың алдын алады.
3. Жоғары тазалық және төмен ластану
- Жартылай өткізгіш шикізат пен процестерді пайдалану кезінде металл қоспасының мөлшері өте төмен, бұл пластинаның ластану қаупін айтарлықтай азайтады.
- Беті тығыз және химиялық тұрғыдан тұрақты, бөлшектердің пайда болуын азайтады және таза бөлменің қатаң стандарттарына сәйкес келеді.
4. Тапсырыс бойынша дизайн
Күрделі пішіндерді тапсырыс берушінің сызбаларына сәйкес жасауға болады, ал оңтайлы газ ағыны мен жылу өткізгіштігіне қол жеткізу үшін кеуектілік пен жабын қалыңдығын басқаруға болады.
5. Ұзақ қызмет ету мерзімі және төмен техникалық қызмет көрсету құны
Кеуекті TaC жабындарының өте жоғары коррозияға және тозуға төзімділігі дәстүрлі графитпен салыстырғанда компоненттердің қызмет ету мерзімін 3-5 есеге арттырады, бұл ауыстыру жиілігін және техникалық қызмет көрсету шығындарын азайтады.

Негізгі қолданылу салалары
1. Пластинаны өндіруге арналған негізгі компоненттер
- CVD/ALD жабдықтарына арналған реакция камерасының төсеніштері, дефлекторлары және душ басы
- PVD нысана тіректері
- Диффузия, тотығу, күйдіру және басқа да процестерге арналған жоғары температуралы процесс компоненттері
2. Химиялық бу тұндыру жүйелері
- Процесс кезінде негізгі компоненттерді жоғары коррозиялық ортада (мысалы, фторидтер мен хлоридтер) қорғау
3. Басқа жоғары температуралы коррозиялық орталар
- Химиялық газды тазартуға, мамандандырылған термиялық өңдеу пештеріне және басқа да қолданбаларға жарамды.