Trej tal-Grafita għad-Depożizzjoni tat-Trej tat-Tagħbija tal-PECVD

Trej tat-Tagħbija tal-PECVD Trej tal-Grafita għad-Depożizzjoni Immaġni Dehru

Deskrizzjoni Qasira:

It-Trej tat-Tagħbija PECVD ta' VET Energy huwa ddisinjat biex jipprovdi appoġġ sigur u uniformi għall-wejfers waqt id-depożizzjoni, u b'hekk itejjeb il-konsistenza u l-kwalità tal-proċess ta' depożizzjoni. Bir-reżistenza eċċellenti tiegħu għas-sħana, it-Trej tal-Grafita jgħin biex iżomm ambjent ikkontrollat ġewwa l-kmamar PECVD, u b'hekk inaqqas ir-riskju ta' kontaminazzjoni u jiżgura effiċjenza għolja tal-proċess.

Ibgħatilna email Niżżel bħala PDF

Dettalji tal-Prodott

Tikketti tal-Prodott

It-trej tat-tagħbija VET Energy PECVD huwa trasportatur ta' preċiżjoni ddisinjat għall-proċess PECVD (depożizzjoni kimika tal-fwar bil-plażma msaħħa). Dan it-trej tal-grafita għad-depożizzjoni ta' kwalità għolja huwa magħmul minn materjal tal-grafita ta' purità għolja u densità għolja. Għandu reżistenza eċċellenti għat-temperatura għolja, reżistenza għall-korrużjoni, stabbiltà dimensjonali u karatteristiċi oħra. Jista' jipprovdi pjattaforma stabbli għat-trasportatur għall-proċess PECVD u jiżgura l-uniformità u l-flatness tad-depożizzjoni tal-film.

It-trejs tat-tagħbija tal-VET Energy PECVD jintużaw ħafna fis-semikondutturi, fotovoltajċi, LED u oqsma oħra. Pereżempju:

▪ Semikonduttur: Proċess PECVD għal materjali semikondutturi bħal wejfers tas-silikon u wejfers epitassjali.

▪ Fotovoltajku: Proċess PECVD għal films irqaq ta' ċelloli solari.

▪ LED: Proċess PECVD għal ċipep LED.

Vantaġġi tal-Prodott

▪Ittejjeb il-kwalità tal-film:Żgura depożizzjoni uniformi tal-film u ttejjeb il-kwalità tal-film.

▪Estendi l-ħajja tat-tagħmir:Reżistenza eċċellenti għall-korrużjoni, testendi l-ħajja tas-servizz tat-tagħmir PECVD.

▪Naqqas l-ispejjeż tal-produzzjoni:Trejs tal-grafita ta' kwalità għolja jistgħu jnaqqsu r-rata tal-fdalijiet u jnaqqsu l-ispejjeż tal-produzzjoni.

Materjal tal-grafita minn SGL:

Parametru tipiku: R6510
Indiċi	Standard tat-test	Valur	Unità
Daqs medju tal-qamħ	ISO 13320	10	μm
Densità tal-massa	DIN IEC 60413/204	1.83	g/ċm³
Porożità miftuħa	DIN66133	10	%
Daqs medju tal-pori	DIN66133	1.8	μm
Permeabilità	DIN 51935	0.06	ċm²/s
Ebusija Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Reżistività elettrika speċifika	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Saħħa flessibbli	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Saħħa kompressiva	DIN 51910	130	MPa
Modulu ta' Young	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Espansjoni termali (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Konduttività termali (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Huwa ddisinjat speċifikament għall-manifattura ta' ċelloli solari b'effiċjenza għolja, u jappoġġja l-ipproċessar ta' wejfers ta' daqs kbir G12. Id-disinn ottimizzat tat-trasportatur iżid b'mod sinifikanti l-produzzjoni, u jippermetti rati ta' rendiment ogħla u spejjeż ta' produzzjoni aktar baxxi.

Oġġett	Tip	Numru tat-trasportatur tal-wejfer
Dgħajsa PEVCD Grephite - Is-serje 156	Dgħajsa tal-grefit 156-13	144
	Dgħajsa tal-grefit 156-19	216
	Dgħajsa tal-grefit 156-21	240
	Dgħajsa tal-grafita 156-23	308
Dgħajsa PEVCD Grephite - Is-serje 125	Dgħajsa tal-grefit 125-15	196
	Dgħajsa tal-grefit 125-19	252
	Dgħajsa tal-grafita 125-21	280