VET ଏନର୍ଜି PECVD ଲୋଡିଂ ଟ୍ରେ ହେଉଛି PECVD (ପ୍ଲାଜମା ବର୍ଦ୍ଧିତ ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା) ପ୍ରକ୍ରିୟା ପାଇଁ ଡିଜାଇନ୍ କରାଯାଇଥିବା ଏକ ସଠିକ୍ ବାହକ। ଏହି ଉଚ୍ଚ-ଗୁଣବତ୍ତା ଜମା ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଟ୍ରେ ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା, ଉଚ୍ଚ-ଘନତା ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ସାମଗ୍ରୀରେ ତିଆରି। ଏଥିରେ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ପ୍ରତିରୋଧ, କ୍ଷୋଭ ପ୍ରତିରୋଧ, ପରିମାଣ ସ୍ଥିରତା ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟ ରହିଛି। ଏହା PECVD ପ୍ରକ୍ରିୟା ପାଇଁ ଏକ ସ୍ଥିର ବାହକ ପ୍ଲାଟଫର୍ମ ପ୍ରଦାନ କରିପାରିବ ଏବଂ ଫିଲ୍ମ ଜମାର ଏକରୂପତା ଏବଂ ସମତଳତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିପାରିବ।
VET ଏନର୍ଜି PECVD ଲୋଡିଂ ଟ୍ରେଗୁଡ଼ିକ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର, ଫଟୋଭୋଲଟାଇକ୍, LED ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ କ୍ଷେତ୍ରରେ ବ୍ୟାପକ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ। ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ:
▪ ଅର୍ଦ୍ଧଚାଳକ: ସିଲିକନ୍ ୱେଫର୍ ଏବଂ ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ୱେଫର୍ ଭଳି ଅର୍ଦ୍ଧଚାଳକ ସାମଗ୍ରୀ ପାଇଁ PECVD ପ୍ରକ୍ରିୟା।
▪ ଫଟୋଭୋଲଟାଇକ୍: ସୌର କୋଷ ପତଳା ଫିଲ୍ମ ପାଇଁ PECVD ପ୍ରକ୍ରିୟା।
▪ LED: LED ଚିପ୍ସ ପାଇଁ PECVD ପ୍ରକ୍ରିୟା।
ଉତ୍ପାଦର ଲାଭ
▪ଫିଲ୍ମର ଗୁଣବତ୍ତା ଉନ୍ନତ କରିବା:ସମାନ ଭାବରେ ଫିଲ୍ମ ଜମା କରିବା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରନ୍ତୁ ଏବଂ ଫିଲ୍ମର ଗୁଣବତ୍ତା ଉନ୍ନତ କରନ୍ତୁ।
▪ଉପକରଣର ଜୀବନ ବୃଦ୍ଧି କରନ୍ତୁ:ଉତ୍କୃଷ୍ଟ କ୍ଷରଣ ପ୍ରତିରୋଧ, PECVD ଉପକରଣର ସେବା ଜୀବନ ବୃଦ୍ଧି କରେ।
▪ଉତ୍ପାଦନ ଖର୍ଚ୍ଚ ହ୍ରାସ କରନ୍ତୁ:ଉଚ୍ଚମାନର ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଟ୍ରେଗୁଡ଼ିକ ସ୍କ୍ରାପ୍ ହାର ହ୍ରାସ କରିପାରିବ ଏବଂ ଉତ୍ପାଦନ ଖର୍ଚ୍ଚ ହ୍ରାସ କରିପାରିବ।
SGL ରୁ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ସାମଗ୍ରୀ:
| ସାଧାରଣ ପାରାମିଟର: R6510 | |||
| ସୂଚୀ | ପରୀକ୍ଷାର ମାନକ | ମୂଲ୍ୟ | ୟୁନିଟ୍ |
| ହାରାହାରି ଶସ୍ୟ ଆକାର | ISO 13320 | ୧୦ | μମି |
| ବହୁତ ଘନତ୍ୱ | ଡିଆଇଏନ୍ ଆଇଇସି ୬୦୪୧୩/୨୦୪ | ୧.୮୩ | ଗ୍ରାମ/ସେମି3 |
| ଖୋଲା ପୋରୋସିଟି | ଡିଆଇଏନ୍୬୬୧୩୩ | ୧୦ | % |
| ମଧ୍ୟମ ଛିଦ୍ର ଆକାର | ଡିଆଇଏନ୍୬୬୧୩୩ | ୧.୮ | μମି |
| ପାରଗମ୍ୟତା | ଡିଆଇଏନ୍ ୫୧୯୩୫ | ୦.୦୬ | ସେମି²/ସେ |
| ରକୱେଲ କଠୋରତା HR5/100 | ଡିଆଇଏନ୍ ଆଇଇସି୬୦୪୧୩/୩୦୩ | 90 | HR |
| ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ବୈଦ୍ୟୁତିକ ପ୍ରତିରୋଧକତା | ଡିଆଇଏନ୍ ଆଇଇସି ୬୦୪୧୩/୪୦୨ | ୧୩ | μΩମି |
| ନମନୀୟ ଶକ୍ତି | ଡିଆଇଏନ୍ ଆଇଇସି ୬୦୪୧୩/୫୦୧ | 60 | MPa |
| ସଙ୍କୋଚନ ଶକ୍ତି | ଡିଆଇଏନ୍ ୫୧୯୧୦ | ୧୩୦ | MPa |
| ୟଙ୍ଗ୍ଙ୍କ ମଡ୍ୟୁଲ୍ସ | ଡିଆଇଏନ୍ ୫୧୯୧୫ | ୧୧.୫×୧୦³ | MPa |
| ତାପଜ ବିସ୍ତାର (୨୦-୨୦୦℃) | ଡିଆଇଏନ୍ ୫୧୯୦୯ | ୪.୨X୧୦-6 | K-1 |
| ତାପଜ ପରିବାହୀତା (20℃) | ଡିଆଇଏନ୍ ୫୧୯୦୮ | ୧୦୫ | Wm-1K-1 |
ଏହା ବିଶେଷ ଭାବରେ ଉଚ୍ଚ-ଦକ୍ଷତା ସୌର ସେଲ୍ ନିର୍ମାଣ ପାଇଁ ଡିଜାଇନ୍ କରାଯାଇଛି, ଯାହା G12 ବଡ଼ ଆକାରର ୱେଫର ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣକୁ ସମର୍ଥନ କରେ। ଅପ୍ଟିମାଇଜ୍ଡ କ୍ୟାରିଅର୍ ଡିଜାଇନ୍ ଥ୍ରୁପୁଟ୍କୁ ଉଲ୍ଲେଖନୀୟ ଭାବରେ ବୃଦ୍ଧି କରେ, ଯାହା ଉଚ୍ଚ ଅମଳ ହାର ଏବଂ କମ୍ ଉତ୍ପାଦନ ଖର୍ଚ୍ଚକୁ ସକ୍ଷମ କରିଥାଏ।
| ଆଇଟମ୍ | ପ୍ରକାର | ନମ୍ବର ୱାଫର କ୍ୟାରିଅର୍ |
| PEVCD ଗ୍ରେଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା - ୧୫୬ ସିରିଜ୍ | ୧୫୬-୧୩ ଗ୍ରେଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା | ୧୪୪ |
| ୧୫୬-୧୯ ଗ୍ରେଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା | ୨୧୬ | |
| ୧୫୬-୨୧ ଗ୍ରେଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା | ୨୪୦ | |
| ୧୫୬-୨୩ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା | ୩୦୮ | |
| PEVCD ଗ୍ରେଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା - 125 ସିରିଜ୍ | ୧୨୫-୧୫ ଗ୍ରେଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା | ୧୯୬ |
| ୧୨୫-୧୯ ଗ୍ରେଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା | ୨୫୨ | |
| ୧୨୫-୨୧ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା | ୨୮୦ |
-
ଭଲ ଘର୍ଷଣ ସହିତ ଉଚ୍ଚ ଶକ୍ତିଶାଳୀ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ରିଙ୍ଗ ...
-
ସିଲ୍ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ରିଙ୍ଗ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ କମ୍ପୋଜିଟ୍ ଗାସ୍କେଟ ଗ୍ରା...
-
ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ବିୟରିଂ ଆଣ୍ଟିମୋନି ବିୟରିଂ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ସ୍ଲି...
-
ଆଇସୋଷ୍ଟାଟିକ୍ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଏବଂ ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ବ୍ଲକ ୟୁ...
-
ଉଚ୍ଚମାନର କାର୍ବନ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ପେପର୍ ରୋଲ୍ ନମନୀୟ...
-
ଉଚ୍ଚ ବିଶୁଦ୍ଧତା ନମନୀୟ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ କାଗଜ ୦.୫ ମିମି-୧.୦ ମିମି...

