PECVD ଲୋଡିଂ ଟ୍ରେ ଡିପୋଜିସନ୍ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଟ୍ରେ

ସଂକ୍ଷିପ୍ତ ବର୍ଣ୍ଣନା:

VET ଏନର୍ଜିର PECVD ଲୋଡିଂ ଟ୍ରେ ଡିପୋଜିସନ ସମୟରେ ୱେଫର ପାଇଁ ସୁରକ୍ଷିତ ଏବଂ ସମାନ ସମର୍ଥନ ପ୍ରଦାନ କରିବା ପାଇଁ ଡିଜାଇନ୍ କରାଯାଇଛି, ଡିପୋଜିସନ ପ୍ରକ୍ରିୟାର ସ୍ଥିରତା ଏବଂ ଗୁଣବତ୍ତା ଉନ୍ନତ କରିଥାଏ। ଏହାର ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ତାପ ପ୍ରତିରୋଧ ସହିତ, ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଟ୍ରେ PECVD ଚାମ୍ବର ଭିତରେ ଏକ ନିୟନ୍ତ୍ରିତ ପରିବେଶ ବଜାୟ ରଖିବାରେ ସାହାଯ୍ୟ କରେ, ପ୍ରଦୂଷଣର ବିପଦ ହ୍ରାସ କରେ ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଦକ୍ଷତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ।


ଉତ୍ପାଦ ବିବରଣୀ

ଉତ୍ପାଦ ଟ୍ୟାଗ୍‌ଗୁଡ଼ିକ

VET ଏନର୍ଜି PECVD ଲୋଡିଂ ଟ୍ରେ ହେଉଛି PECVD (ପ୍ଲାଜମା ବର୍ଦ୍ଧିତ ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା) ପ୍ରକ୍ରିୟା ପାଇଁ ଡିଜାଇନ୍ କରାଯାଇଥିବା ଏକ ସଠିକ୍ ବାହକ। ଏହି ଉଚ୍ଚ-ଗୁଣବତ୍ତା ଜମା ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଟ୍ରେ ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା, ଉଚ୍ଚ-ଘନତା ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ସାମଗ୍ରୀରେ ତିଆରି। ଏଥିରେ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ପ୍ରତିରୋଧ, କ୍ଷୋଭ ପ୍ରତିରୋଧ, ପରିମାଣ ସ୍ଥିରତା ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟ ରହିଛି। ଏହା PECVD ପ୍ରକ୍ରିୟା ପାଇଁ ଏକ ସ୍ଥିର ବାହକ ପ୍ଲାଟଫର୍ମ ପ୍ରଦାନ କରିପାରିବ ଏବଂ ଫିଲ୍ମ ଜମାର ଏକରୂପତା ଏବଂ ସମତଳତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିପାରିବ।

VET ଏନର୍ଜି PECVD ଲୋଡିଂ ଟ୍ରେଗୁଡ଼ିକ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର, ଫଟୋଭୋଲଟାଇକ୍, LED ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ କ୍ଷେତ୍ରରେ ବ୍ୟାପକ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ। ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ:

▪ ଅର୍ଦ୍ଧଚାଳକ: ସିଲିକନ୍ ୱେଫର୍ ଏବଂ ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ୱେଫର୍ ଭଳି ଅର୍ଦ୍ଧଚାଳକ ସାମଗ୍ରୀ ପାଇଁ PECVD ପ୍ରକ୍ରିୟା।

▪ ଫଟୋଭୋଲଟାଇକ୍: ସୌର କୋଷ ପତଳା ଫିଲ୍ମ ପାଇଁ PECVD ପ୍ରକ୍ରିୟା।

▪ LED: LED ଚିପ୍ସ ପାଇଁ PECVD ପ୍ରକ୍ରିୟା।

ଉତ୍ପାଦର ଲାଭ

ଫିଲ୍ମର ଗୁଣବତ୍ତା ଉନ୍ନତ କରିବା:ସମାନ ଭାବରେ ଫିଲ୍ମ ଜମା କରିବା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରନ୍ତୁ ଏବଂ ଫିଲ୍ମର ଗୁଣବତ୍ତା ଉନ୍ନତ କରନ୍ତୁ।

ଉପକରଣର ଜୀବନ ବୃଦ୍ଧି କରନ୍ତୁ:ଉତ୍କୃଷ୍ଟ କ୍ଷରଣ ପ୍ରତିରୋଧ, PECVD ଉପକରଣର ସେବା ଜୀବନ ବୃଦ୍ଧି କରେ।

ଉତ୍ପାଦନ ଖର୍ଚ୍ଚ ହ୍ରାସ କରନ୍ତୁ:ଉଚ୍ଚମାନର ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଟ୍ରେଗୁଡ଼ିକ ସ୍କ୍ରାପ୍ ହାର ହ୍ରାସ କରିପାରିବ ଏବଂ ଉତ୍ପାଦନ ଖର୍ଚ୍ଚ ହ୍ରାସ କରିପାରିବ।

SGL ରୁ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ସାମଗ୍ରୀ:

ସାଧାରଣ ପାରାମିଟର: R6510

ସୂଚୀ ପରୀକ୍ଷାର ମାନକ ମୂଲ୍ୟ ୟୁନିଟ୍
ହାରାହାରି ଶସ୍ୟ ଆକାର ISO 13320 ୧୦ μମି
ବହୁତ ଘନତ୍ୱ ଡିଆଇଏନ୍ ଆଇଇସି ୬୦୪୧୩/୨୦୪ ୧.୮୩ ଗ୍ରାମ/ସେମି3
ଖୋଲା ପୋରୋସିଟି ଡିଆଇଏନ୍‌୬୬୧୩୩ ୧୦ %
ମଧ୍ୟମ ଛିଦ୍ର ଆକାର ଡିଆଇଏନ୍‌୬୬୧୩୩ ୧.୮ μମି
ପାରଗମ୍ୟତା ଡିଆଇଏନ୍ ୫୧୯୩୫ ୦.୦୬ ସେମି²/ସେ
ରକୱେଲ କଠୋରତା HR5/100 ଡିଆଇଏନ୍ ଆଇଇସି୬୦୪୧୩/୩୦୩ 90 HR
ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ବୈଦ୍ୟୁତିକ ପ୍ରତିରୋଧକତା ଡିଆଇଏନ୍ ଆଇଇସି ୬୦୪୧୩/୪୦୨ ୧୩ μΩମି
ନମନୀୟ ଶକ୍ତି ଡିଆଇଏନ୍ ଆଇଇସି ୬୦୪୧୩/୫୦୧ 60 MPa
ସଙ୍କୋଚନ ଶକ୍ତି ଡିଆଇଏନ୍ ୫୧୯୧୦ ୧୩୦ MPa
ୟଙ୍ଗ୍‌ଙ୍କ ମଡ୍ୟୁଲ୍ସ ଡିଆଇଏନ୍ ୫୧୯୧୫ ୧୧.୫×୧୦³ MPa
ତାପଜ ବିସ୍ତାର (୨୦-୨୦୦℃) ଡିଆଇଏନ୍ ୫୧୯୦୯ ୪.୨X୧୦-6 K-1
ତାପଜ ପରିବାହୀତା (20℃) ଡିଆଇଏନ୍ ୫୧୯୦୮ ୧୦୫ Wm-1K-1

ଏହା ବିଶେଷ ଭାବରେ ଉଚ୍ଚ-ଦକ୍ଷତା ସୌର ସେଲ୍ ନିର୍ମାଣ ପାଇଁ ଡିଜାଇନ୍ କରାଯାଇଛି, ଯାହା G12 ବଡ଼ ଆକାରର ୱେଫର ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣକୁ ସମର୍ଥନ କରେ। ଅପ୍ଟିମାଇଜ୍ଡ କ୍ୟାରିଅର୍ ଡିଜାଇନ୍ ଥ୍ରୁପୁଟ୍‌କୁ ଉଲ୍ଲେଖନୀୟ ଭାବରେ ବୃଦ୍ଧି କରେ, ଯାହା ଉଚ୍ଚ ଅମଳ ହାର ଏବଂ କମ୍ ଉତ୍ପାଦନ ଖର୍ଚ୍ଚକୁ ସକ୍ଷମ କରିଥାଏ।

ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା
ଆଇଟମ୍‌ ପ୍ରକାର ନମ୍ବର ୱାଫର କ୍ୟାରିଅର୍
PEVCD ଗ୍ରେଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା - ୧୫୬ ସିରିଜ୍ ୧୫୬-୧୩ ଗ୍ରେଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା ୧୪୪
୧୫୬-୧୯ ଗ୍ରେଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା ୨୧୬
୧୫୬-୨୧ ଗ୍ରେଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା ୨୪୦
୧୫୬-୨୩ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା ୩୦୮
PEVCD ଗ୍ରେଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା - 125 ସିରିଜ୍ ୧୨୫-୧୫ ଗ୍ରେଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା ୧୯୬
୧୨୫-୧୯ ଗ୍ରେଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା ୨୫୨
୧୨୫-୨୧ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା ୨୮୦
ଉତ୍ପାଦର ଲାଭ
VET ଏନର୍ଜିର ବ୍ୟବସାୟିକ ସହଯୋଗ

  • ପୂର୍ବବର୍ତ୍ତୀ:
  • ପରବର୍ତ୍ତୀ:

  • WhatsApp ଅନଲାଇନ୍ ଚାଟ୍!