ਪੋਰਸ ਟੈਂਟਲਮ ਕਾਰਬਾਈਡ ਕੋਟੇਡ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਰਿੰਗ

ਪੋਰਸ ਟੈਂਟਲਮ ਕਾਰਬਾਈਡ ਕੋਟੇਡ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਰਿੰਗ
ਪੋਰਸ ਟੈਂਟਲਮ ਕਾਰਬਾਈਡ (TaC) ਕੋਟੇਡ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟਇਹ ਇੱਕ ਮੁੱਖ ਸਮੱਗਰੀ ਹੈ ਜੋ ਖਾਸ ਤੌਰ 'ਤੇ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ ਦੇ ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ, ਬਹੁਤ ਜ਼ਿਆਦਾ ਖੋਰ ਵਾਲੇ ਵਾਤਾਵਰਣ ਲਈ ਵਿਕਸਤ ਕੀਤੀ ਗਈ ਹੈ। ਇਸਦਾ ਸਬਸਟਰੇਟ ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲਾ ਆਈਸੋਸਟੈਟਿਕ ਗ੍ਰਾਫਾਈਟ ਹੈ, ਜੋ ਕਿ ਰਸਾਇਣਕ ਭਾਫ਼ ਜਮ੍ਹਾਂ (CVD) ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਦੇ ਹੋਏ ਇੱਕ ਸਮਾਨ ਪੋਰਸ ਟੈਂਟਲਮ ਕਾਰਬਾਈਡ ਕੋਟਿੰਗ ਨਾਲ ਲੇਪਿਆ ਹੋਇਆ ਹੈ। TaC ਵਿੱਚ ਬਹੁਤ ਜ਼ਿਆਦਾ ਕਠੋਰਤਾ (ਮੋਹਸ ਸਕੇਲ 'ਤੇ 9-10) ਅਤੇ 3880°C ਦਾ ਪਿਘਲਣ ਬਿੰਦੂ ਹੈ। ਗ੍ਰਾਫਾਈਟ ਦੀ ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਥਰਮਲ ਸਥਿਰਤਾ ਅਤੇ ਹਲਕੇ ਭਾਰ ਵਾਲੇ ਗੁਣਾਂ ਦੇ ਨਾਲ, ਇਹ ਸਮੱਗਰੀ ਰਸਾਇਣਕ ਹਮਲੇ ਅਤੇ ਥਰਮਲ ਝਟਕੇ ਦੇ ਵਿਰੋਧ ਦੇ ਨਾਲ ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਦੀ ਤਾਕਤ ਨੂੰ ਜੋੜਦੀ ਹੈ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਇਹ ਬਹੁਤ ਜ਼ਿਆਦਾ ਸਥਿਤੀਆਂ ਵਿੱਚ ਕੰਮ ਕਰਨ ਵਾਲੇ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਉਪਕਰਣਾਂ ਲਈ ਇੱਕ ਆਦਰਸ਼ ਵਿਕਲਪ ਬਣ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।

ਪੋਰਸ ਟੈਂਟਲਮ ਕਾਰਬਾਈਡ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਦੇ ਫਾਇਦੇ:
1. ਅਤਿ-ਉੱਚ ਖੋਰ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ
-TaC ਰਸਾਇਣਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਅਯੋਗ ਹੈ, ਫਲੋਰੀਨ ਅਤੇ ਕਲੋਰੀਨ ਵਰਗੇ ਹੈਲੋਜਨਾਂ ਤੋਂ ਹੋਣ ਵਾਲੇ ਖੋਰ ਦਾ ਪ੍ਰਭਾਵਸ਼ਾਲੀ ਢੰਗ ਨਾਲ ਵਿਰੋਧ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਉਪਕਰਣਾਂ ਦੀ ਉਮਰ ਕਾਫ਼ੀ ਵਧਦੀ ਹੈ।
-ਛਿਦਰਾਂ ਵਾਲੀ ਬਣਤਰ ਕੋਟਿੰਗ ਦੇ ਸਤਹ ਖੇਤਰ ਨੂੰ ਵਧਾਉਂਦੀ ਹੈ, ਇੱਕ ਵਧੇਰੇ ਮਜ਼ਬੂਤ ​​ਸੁਰੱਖਿਆ ਰੁਕਾਵਟ ਬਣਾਉਂਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਕਣਾਂ ਦੇ ਡਿੱਗਣ ਦੇ ਜੋਖਮ ਨੂੰ ਘਟਾਉਂਦੀ ਹੈ।
2. ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਸਥਿਰਤਾ
-ਪਿਘਲਣ ਵਾਲੇ ਬਿੰਦੂ ਦੇ 4000°C ਦੇ ਨੇੜੇ ਪਹੁੰਚਣ 'ਤੇ, ਇਹ ਵੈਕਿਊਮ ਜਾਂ 2500°C ਤੋਂ ਵੱਧ ਤਾਪਮਾਨ ਵਾਲੇ ਅਯੋਗ ਵਾਯੂਮੰਡਲ ਵਿੱਚ ਲੰਬੇ ਸਮੇਂ ਲਈ ਕੰਮ ਕਰ ਸਕਦਾ ਹੈ।
-ਕੋਟਿੰਗ ਦਾ ਥਰਮਲ ਐਕਸਪੈਂਸ਼ਨ ਗੁਣਾਂਕ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਦੇ ਨਾਲ ਬਹੁਤ ਜ਼ਿਆਦਾ ਮੇਲ ਖਾਂਦਾ ਹੈ, ਜੋ ਥਰਮਲ ਸਾਈਕਲਿੰਗ ਕਾਰਨ ਹੋਣ ਵਾਲੇ ਕ੍ਰੈਕਿੰਗ ਅਤੇ ਡੀਲੇਮੀਨੇਸ਼ਨ ਨੂੰ ਰੋਕਦਾ ਹੈ।
3. ਉੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਅਤੇ ਘੱਟ ਗੰਦਗੀ
-ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ-ਗ੍ਰੇਡ ਕੱਚੇ ਮਾਲ ਅਤੇ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਦੇ ਹੋਏ, ਧਾਤ ਦੀ ਅਸ਼ੁੱਧਤਾ ਦੀ ਮਾਤਰਾ ਬਹੁਤ ਘੱਟ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਜੋ ਵੇਫਰ ਗੰਦਗੀ ਦੇ ਜੋਖਮ ਨੂੰ ਕਾਫ਼ੀ ਘਟਾਉਂਦੀ ਹੈ।
- ਸਤ੍ਹਾ ਸੰਘਣੀ ਅਤੇ ਰਸਾਇਣਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਸਥਿਰ ਹੈ, ਕਣਾਂ ਦੀ ਪੈਦਾਵਾਰ ਨੂੰ ਘਟਾਉਂਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਸਖ਼ਤ ਸਾਫ਼-ਸਫ਼ਾਈ ਦੇ ਮਿਆਰਾਂ ਨੂੰ ਪੂਰਾ ਕਰਦੀ ਹੈ।
4. ਕਸਟਮ ਡਿਜ਼ਾਈਨ
ਗਾਹਕਾਂ ਦੀਆਂ ਡਰਾਇੰਗਾਂ ਅਨੁਸਾਰ ਗੁੰਝਲਦਾਰ ਆਕਾਰ ਤਿਆਰ ਕੀਤੇ ਜਾ ਸਕਦੇ ਹਨ, ਅਤੇ ਅਨੁਕੂਲ ਗੈਸ ਪ੍ਰਵਾਹ ਅਤੇ ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰਨ ਲਈ ਪੋਰੋਸਿਟੀ ਅਤੇ ਕੋਟਿੰਗ ਮੋਟਾਈ ਨੂੰ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ।
5. ਲੰਬੀ ਉਮਰ ਅਤੇ ਘੱਟ ਰੱਖ-ਰਖਾਅ ਦੀ ਲਾਗਤ
ਪੋਰਸ TaC ਕੋਟਿੰਗਾਂ ਦਾ ਬਹੁਤ ਜ਼ਿਆਦਾ ਖੋਰ ਅਤੇ ਪਹਿਨਣ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ, ਰਵਾਇਤੀ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਦੇ ਮੁਕਾਬਲੇ ਕੰਪੋਨੈਂਟ ਲਾਈਫ ਨੂੰ 3-5 ਗੁਣਾ ਵਧਾਉਂਦਾ ਹੈ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਬਦਲਣ ਦੀ ਬਾਰੰਬਾਰਤਾ ਅਤੇ ਰੱਖ-ਰਖਾਅ ਦੀ ਲਾਗਤ ਘਟਦੀ ਹੈ।

ਮੁੱਖ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨ
1. ਵੇਫਰ ਨਿਰਮਾਣ ਲਈ ਮੁੱਖ ਹਿੱਸੇ
- CVD/ALD ਉਪਕਰਣਾਂ ਲਈ ਰਿਐਕਸ਼ਨ ਚੈਂਬਰ ਲਾਈਨਰ, ਬੈਫਲ ਅਤੇ ਸ਼ਾਵਰ-ਹੈੱਡ
- ਪੀਵੀਡੀ ਟਾਰਗੇਟ ਸਪੋਰਟ ਕਰਦਾ ਹੈ
- ਪ੍ਰਸਾਰ, ਆਕਸੀਕਰਨ, ਐਨੀਲਿੰਗ, ਅਤੇ ਹੋਰ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਲਈ ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੇ ਹਿੱਸੇ
2. ਰਸਾਇਣਕ ਭਾਫ਼ ਜਮ੍ਹਾਂ ਕਰਨ ਵਾਲੇ ਸਿਸਟਮ
- ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੌਰਾਨ ਬਹੁਤ ਜ਼ਿਆਦਾ ਖਰਾਬ ਵਾਤਾਵਰਣ (ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਫਲੋਰਾਈਡ ਅਤੇ ਕਲੋਰਾਈਡ) ਵਿੱਚ ਮੁੱਖ ਹਿੱਸਿਆਂ ਦੀ ਰੱਖਿਆ ਕਰਨਾ
3. ਹੋਰ ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਵਾਲੇ ਖਰਾਬ ਵਾਤਾਵਰਣ
- ਰਸਾਇਣਕ ਗੈਸ ਸ਼ੁੱਧੀਕਰਨ, ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਗਰਮੀ ਇਲਾਜ ਭੱਠੀਆਂ, ਅਤੇ ਹੋਰ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ ਲਈ ਢੁਕਵਾਂ।