Ҳалқаи графити пӯшонидашудаи карбиди тантал бо сӯрохи сӯрохдор

Ҳалқаи графити пӯшонидашудаи карбиди тантал бо сӯрохи сӯрохдор
Графити пӯшонидашудаи карбиди тантал (TaC) бо сӯрохиҳои сӯрохдормаводи калидӣ мебошад, ки махсус барои муҳитҳои баландҳарорат ва хеле зангзанандаи истеҳсоли нимноқилҳо таҳия шудааст. Зеризаминии он графити изостатикии тозагии баланд аст, ки бо рӯйпӯши карбиди танталии яксон сӯрохдор бо истифода аз таҳшиншавии буғи кимиёвӣ (CVD) пӯшонида шудааст. TaC дорои сахтии бениҳоят баланд (9-10 дар миқёси Моҳс) ва нуқтаи обшавии 3880°C мебошад. Ин мавод дар якҷоягӣ бо устувории аълои гармӣ ва хосиятҳои сабуки графит, қувваи баланди ҳароратиро бо муқовимат ба ҳамлаи кимиёвӣ ва зарбаи гармӣ муттаҳид мекунад, ки онро барои таҷҳизоти коркарди нимноқилҳо, ки дар шароити шадид кор мекунанд, интихоби беҳтарин мегардонад.

Бартариҳои графити карбиди танталии сӯрохдор:
1. Муқовимати ултра-баланд ба зангзанӣ
-TaC аз ҷиҳати кимиёвӣ инертӣ буда, ба зангзании галогенҳо, ба монанди фтор ва хлор, самаранок муқовимат мекунад ва мӯҳлати хизмати таҷҳизотро ба таври назаррас дароз мекунад.
-Сохтори сӯрохдор масоҳати сатҳи рӯйпӯшро зиёд мекунад, монеаи муҳофизатии мустаҳкамтарро ба вуҷуд меорад ва хатари рехтани зарраҳоро кам мекунад.
2. Устувории аълои ҳарорати баланд
- Бо нуқтаи обшавӣ ба 4000°C наздик шудан, он метавонад муддати тӯлонӣ дар вакуум ё атмосфераи инертӣ аз 2500°C кор кунад.
-Коэффитсиенти васеъшавии гармии рӯйпӯш бо коэффитсиенти графит хеле мувофиқ аст, ки аз кафидан ва деламинатсия, ки дар натиҷаи даври гармӣ ба вуҷуд меояд, пешгирӣ мекунад.
3. Покӣ ва ифлосшавии паст
- Бо истифода аз ашёи хом ва равандҳои дараҷаи нимноқил, миқдори ифлосшавии металл хеле паст аст, ки хатари ифлосшавии вафлиро ба таври назаррас коҳиш медиҳад.
-Сатҳ зич ва аз ҷиҳати кимиёвӣ устувор буда, пайдоиши зарраҳоро кам мекунад ва ба стандартҳои қатъии утоқи тоза мувофиқат мекунад.
4. Тарроҳии фармоишӣ
Шаклҳои мураккабро мувофиқи расмҳои муштарӣ истеҳсол кардан мумкин аст ва сӯрохнокӣ ва ғафсии рӯйпӯшро барои ноил шудан ба ҷараёни оптималии газ ва гузариши гармӣ назорат кардан мумкин аст.
5. Мӯҳлати дароз ва арзиши нигоҳдории паст
Муқовимати бениҳоят баланди зангзанӣ ва фарсудашавии рӯйпӯшҳои сӯрохидори TaC мӯҳлати кори ҷузъҳоро дар муқоиса бо графити анъанавӣ 3-5 маротиба зиёд мекунад ва басомади ивазкунӣ ва хароҷоти нигоҳдориро кам мекунад.

Барномаҳои асосӣ
1. Ҷузъҳои асосӣ барои истеҳсоли пластинаҳо
- Астарҳои камераи реаксия, монеаҳо ва сари душ барои таҷҳизоти CVD/ALD
- Дастгирии ҳадафи PVD
- Ҷузъҳои раванди ҳарорати баланд барои диффузия, оксидшавӣ, гармкунӣ ва дигар равандҳо
2. Системаҳои ҷойгиркунии буғи кимиёвӣ
- Ҳифзи ҷузъҳои калидӣ дар муҳитҳои хеле зангзананда (ба монанди фторҳо ва хлоридҳо) дар давоми раванд
3. Муҳитҳои дигари зангзанандаи ҳарорати баланд
- Барои тозакунии гази кимиёвӣ, кӯраҳои махсуси коркарди гармӣ ва дигар барномаҳо мувофиқ аст.