Ċirku tal-grafita miksi bil-karbur tat-tantalu poruż

Ċirku tal-grafita miksi bil-karbur tat-tantalu poruż
Grafita miksija bil-karbur tat-tantalu poruż (TaC)huwa materjal ewlieni żviluppat speċifikament għall-ambjenti b'temperatura għolja u korrużivi ħafna tal-manifattura tas-semikondutturi. Is-sottostrat tiegħu huwa grafit iżostatiku ta' purità għolja, miksi b'kisja uniformi poruża tat-tantalju karbur bl-użu ta' depożizzjoni kimika tal-fwar (CVD). It-TaC għandu ebusija estremament għolja (9-10 fuq l-iskala Mohs) u punt tat-tidwib ta' 3880°C. Flimkien mal-istabbiltà termali eċċellenti u l-proprjetajiet ħfief tal-grafita, dan il-materjal jikkombina saħħa f'temperatura għolja mar-reżistenza għall-attakk kimiku u x-xokk termali, u b'hekk huwa għażla ideali għal tagħmir tal-proċess tas-semikondutturi li jopera taħt kundizzjonijiet estremi.

Vantaġġi tal-Grafita Poruża tat-Tantalu Karbur:
1. Reżistenza għall-Korrużjoni Ultra-Għolja
-TaC huwa kimikament inert, jirreżisti b'mod effettiv il-korrużjoni minn aloġeni bħall-fluworin u l-kloru, u jestendi b'mod sinifikanti l-ħajja tat-tagħmir.
-L-istruttura poruża żżid l-erja tal-wiċċ tal-kisi, u b'hekk tifforma barriera protettiva aktar robusta u tnaqqas ir-riskju li l-partiċelli jitferrgħu.
2. Stabbiltà Eċċellenti f'Temperatura Għolja
-B'punt ta' tidwib li joqrob lejn l-4000°C, jista' jopera għal perjodi twal f'vakwu jew f'atmosferi inerti li jaqbżu l-2500°C.
-Il-koeffiċjent tal-espansjoni termali tal-kisi huwa mqabbel ħafna ma' dak tal-grafita, u jipprevjeni l-qsim u d-delaminazzjoni kkawżati miċ-ċikliżmu termali.
3. Purità Għolja u Kontaminazzjoni Baxxa
-Bl-użu ta' materja prima u proċessi ta' grad semikonduttur, il-kontenut ta' impurità tal-metall huwa estremament baxx, u b'hekk inaqqas b'mod sinifikanti r-riskju ta' kontaminazzjoni tal-wejfer.
-Il-wiċċ huwa dens u kimikament stabbli, inaqqas il-ġenerazzjoni tal-partiċelli u jissodisfa standards stretti tal-kamra nadifa.
4. Disinn Personalizzat
Forom kumplessi jistgħu jiġu prodotti skont it-tpinġijiet tal-klijent, u l-porożità u l-ħxuna tal-kisi jistgħu jiġu kkontrollati biex jinkiseb fluss ottimali tal-gass u konduttività termali.
5. Ħajja Twila u Spiża Baxxa ta' Manutenzjoni
Ir-reżistenza estremament għolja għall-korrużjoni u l-użu tal-kisi poruż tat-TaC iżżid il-ħajja tal-komponenti bi 3-5 darbiet meta mqabbla mal-grafita tradizzjonali, u b'hekk tnaqqas il-frekwenza tas-sostituzzjoni u l-ispejjeż tal-manutenzjoni.

Applikazzjonijiet Prinċipali
1. Komponenti ewlenin għall-manifattura tal-wejfers
- Inforri tal-kompartiment tar-reazzjoni, baffles, u ras tad-doċċa għal tagħmir CVD/ALD
- Jappoġġja l-mira tal-PVD
- Komponenti tal-proċess f'temperatura għolja għad-diffużjoni, l-ossidazzjoni, it-temprar, u proċessi oħra
2. Sistemi ta' depożizzjoni kimika tal-fwar
- Il-protezzjoni ta' komponenti ewlenin f'ambjenti korrużivi ħafna (bħal fluworidi u kloruri) matul il-proċess
3. Ambjenti korrużivi oħra b'temperatura għolja
- Adattat għall-purifikazzjoni kimika tal-gass, fran speċjalizzati għat-trattament bis-sħana, u applikazzjonijiet oħra.