Inel de grafit acoperit cu carbură de tantal poros

Inel de grafit acoperit cu carbură de tantal poros
Grafit acoperit cu carbură de tantal poroasă (TaC)este un material cheie dezvoltat special pentru mediile cu temperaturi ridicate și corozive ridicate din fabricația semiconductorilor. Substratul său este grafit izostatic de înaltă puritate, acoperit cu un strat uniform poros de carbură de tantal prin depunere chimică din vapori (CVD). TaC are o duritate extrem de mare (9-10 pe scara Mohs) și un punct de topire de 3880°C. Combinat cu stabilitatea termică excelentă și proprietățile de greutate redusă ale grafitului, acest material combină rezistența la temperaturi ridicate cu rezistența la atacuri chimice și șocuri termice, ceea ce îl face o alegere ideală pentru echipamentele de procesare a semiconductorilor care funcționează în condiții extreme.

Avantajele grafitului poros din carbură de tantal:
1. Rezistență ultra-înaltă la coroziune
-TaC este inert din punct de vedere chimic, rezistând eficient la coroziunea cauzată de halogeni precum fluorul și clorul, prelungind semnificativ durata de viață a echipamentelor.
Structura poroasă mărește suprafața acoperirii, formând o barieră protectoare mai robustă și reducând riscul de eliberare a particulelor.
2. Stabilitate excelentă la temperaturi ridicate
Cu un punct de topire care se apropie de 4000°C, poate funcționa perioade lungi de timp în vid sau în atmosfere inerte care depășesc 2500°C.
Coeficientul de dilatare termică al acoperirii este foarte apropiat de cel al grafitului, prevenind fisurarea și delaminarea cauzate de ciclurile termice.
3. Puritate ridicată și contaminare redusă
Folosind materii prime și procese de calitate semiconductoare, conținutul de impurități metalice este extrem de scăzut, reducând semnificativ riscul de contaminare a plachetelor.
Suprafața este densă și stabilă chimic, reducând generarea de particule și respectând standardele stricte pentru camerele sterile.
4. Design personalizat
Formele complexe pot fi produse conform desenelor clientului, iar porozitatea și grosimea stratului de acoperire pot fi controlate pentru a obține un flux de gaz și o conductivitate termică optime.
5. Durată lungă de viață și costuri reduse de întreținere
Rezistența extrem de ridicată la coroziune și uzură a acoperirilor poroase TaC crește durata de viață a componentelor de 3-5 ori în comparație cu grafitul tradițional, reducând frecvența de înlocuire și costurile de întreținere.

Aplicații principale
1. Componente de bază pentru fabricarea plachetelor
- Căptușeli ale camerei de reacție, deflectoare și cap de duș pentru echipamente CVD/ALD
- Suporturi pentru ținte PVD
- Componente de proces la temperatură înaltă pentru difuzie, oxidare, recoacere și alte procese
2. Sisteme de depunere chimică în fază de vapori
- Protejarea componentelor cheie în medii extrem de corozive (cum ar fi fluorurile și clorurile) în timpul procesului
3. Alte medii corozive la temperaturi ridicate
- Potrivit pentru purificarea chimică a gazelor, cuptoare specializate de tratament termic și alte aplicații.