Bag grafit kouvri ak Tantalòm Carbide pore

Bag grafit kouvri ak Tantalòm Carbide pore
Grafit kouvri ak carbure tantal pore (TaC)se yon materyèl kle ki devlope espesyalman pou anviwònman fabrikasyon semi-kondiktè ki gen tanperati ki wo ak korozivite. Substra li se grafit izostatik ki gen gwo pite, kouvri ak yon kouch carbure tantal ki pore inifòmman lè l sèvi avèk depo vapè chimik (CVD). TaC gen yon dite ki wo anpil (9-10 sou echèl Mohs la) ak yon pwen fizyon 3880 °C. Ansanm ak ekselan estabilite tèmik grafit la ak pwopriyete lejè li yo, materyèl sa a konbine fòs nan tanperati ki wo ak rezistans a atak chimik ak chòk tèmik, sa ki fè li yon chwa ideyal pou ekipman pwosesis semi-kondiktè k ap opere nan kondisyon ekstrèm.

Avantaj grafit poreu Tantalòm Carbide:
1. Rezistans korozyon ultra-wo
-TaC se yon pwodui chimik inaktif, li reziste byen kont korozyon ki soti nan alojèn tankou fliyò ak klò, sa ki pwolonje lavi ekipman yo anpil.
-Estrikti pore a ogmante sifas kouch la, li fòme yon baryè pwoteksyon ki pi solid epi li diminye risk pou patikil yo gaye.
2. Ekselan estabilite nan tanperati ki wo
Avèk yon pwen fizyon ki apwoche 4000°C, li ka fonksyone pou peryòd pwolonje nan vid oswa atmosfè inaktif ki depase 2500°C.
-Koyefisyan ekspansyon tèmik kouch la trè koresponn ak sa ki nan grafit la, sa ki anpeche fann ak delaminasyon ki koze pa siklaj tèmik la.
3. Segondè Pite ak Kontaminasyon ki Ba
-Lè l sèvi avèk matyè premyè ak pwosesis ki soti nan klas semi-kondiktè, kontni enpurte metal la trè ba, sa ki diminye anpil risk kontaminasyon wafer la.
-Sifas la dans e chimikman estab, sa diminye jenerasyon patikil epi li satisfè estanda chanm pwòp yo.
4. Konsepsyon pèsonalize
Yo ka pwodui fòm konplèks dapre desen kliyan yo, epi yo ka kontwole porosit ak epesè kouch la pou reyalize yon koule gaz ak konduktivite tèmik optimal.
5. Long dire lavi ak pri antretyen ki ba
Rezistans ekstrèmman wo nan korozyon ak mete nan kouch TaC pore ogmante lavi konpozan yo pa 3-5 fwa konpare ak grafit tradisyonèl yo, sa ki diminye frekans ranplasman ak depans antretyen.

Aplikasyon prensipal yo
1. Konpozan debaz pou fabrikasyon waf
- Revètman chanm reyaksyon, deflektè, ak tèt douch pou ekipman CVD/ALD
- Sipò sib PVD
- Konpozan pwosesis tanperati ki wo pou difizyon, oksidasyon, rekwi, ak lòt pwosesis
2. Sistèm depo vapè chimik
- Pwoteje konpozan kle yo nan anviwònman ki trè koroziv (tankou fliyò ak klori) pandan pwosesis la
3. Lòt anviwònman koroziv ki gen gwo tanperati
- Apwopriye pou pirifikasyon gaz chimik, founo tretman chalè espesyalize, ak lòt aplikasyon.