Cincin Grafit Dilapis Tantalum Karbida Berpori
Grafit dilapis tantalum karbida (TaC) berporiMangrupikeun bahan konci anu dikembangkeun khusus pikeun lingkungan manufaktur semikonduktor anu suhu luhur sareng korosif pisan. Substratna nyaéta grafit isostatik anu kualitasna luhur, dilapis ku lapisan tantalum karbida anu porous seragam nganggo déposisi uap kimia (CVD). TaC gaduh karasana anu luhur pisan (9-10 dina skala Mohs) sareng titik lebur 3880°C. Digabungkeun sareng stabilitas termal grafit anu saé sareng sipat hampang, bahan ieu ngagabungkeun kakuatan suhu luhur sareng résistansi kana serangan kimia sareng kejutan termal, jantenkeun pilihan anu idéal pikeun alat prosés semikonduktor anu beroperasi dina kaayaan anu ekstrim.
Kaunggulan tina Grafit Tantalum Karbida Berpori:
1. Résistansi Korosi Ultra-Luhur
-TaC sacara kimiawi inert, sacara efektif tahan korosi tina halogen sapertos fluorin sareng klorin, anu sacara signifikan manjangkeun umur alat.
-Struktur porous ningkatkeun lega permukaan palapis, ngabentuk panghalang pelindung anu langkung kuat sareng ngirangan résiko partikel rontok.
2. Stabilitas Suhu Luhur Anu Saé
-Kalayan titik lebur anu caket kana 4000°C, éta tiasa beroperasi salami waktos anu lami dina atmosfir vakum atanapi atmosfir inert anu ngaleuwihan 2500°C.
-Koefisien ékspansi termal palapis ieu cocog pisan sareng grafit, nyegah retakan sareng delaminasi anu disababkeun ku siklus termal.
3. Kamurnian Luhur sareng Kontaminasi Rendah
-Nganggo bahan baku sareng prosés kelas semikonduktor, kandungan pangotor logamna handap pisan, sacara signifikan ngirangan résiko kontaminasi wafer.
-Beungeutna padet sareng stabil sacara kimia, ngirangan generasi partikel sareng nyumponan standar kamar bersih anu ketat.
4. Desain Khusus
Bentuk anu rumit tiasa dihasilkeun numutkeun gambar konsumén, sareng porositas sareng ketebalan palapis tiasa dikontrol pikeun ngahontal aliran gas sareng konduktivitas termal anu optimal.
5. Umur Panjang Sareng Biaya Pangropéa Anu Murah
Résistansi korosi sareng aus anu luhur pisan tina palapis TaC porous ningkatkeun umur komponén ku 3-5 kali dibandingkeun sareng grafit tradisional, ngirangan frékuénsi panggantian sareng biaya pangropéa.
Aplikasi Utama
1. Komponen inti pikeun manufaktur wafer
- Pelapis ruang réaksi, baffle, sareng sirah pancuran pikeun peralatan CVD/ALD
- Pangrojong target PVD
- Komponen prosés suhu luhur pikeun difusi, oksidasi, anil, sareng prosés sanésna
2. Sistem déposisi uap kimiawi
- Ngajaga komponén konci dina lingkungan anu korosif pisan (sapertos fluorida sareng klorida) salami prosésna
3. Lingkungan korosif suhu luhur anu sanés
- Cocog pikeun pemurnian gas kimia, tungku perlakuan panas khusus, sareng aplikasi anu sanésna.
VET Energy nyaéta produsén profésional anu fokus kana R&D sareng produksi bahan canggih kelas luhur sapertos grafit, silikon karbida, kuarsa, ogé perlakuan bahan sapertos palapis SiC, palapis TaC, palapis karbon glassy, palapis karbon pirolitik, jsb. Produkna seueur dianggo dina fotovoltaik, semikonduktor, énergi énggal, metalurgi, jsb.
Tim téknis kami asalna ti lembaga panalungtikan domestik luhur, tiasa nyayogikeun solusi bahan anu langkung profésional pikeun anjeun.
Kaunggulan VET Energy kalebet:
• Pabrik sorangan sareng laboratorium profésional;
• Tingkat kamurnian sareng kualitas anu unggul dina industri;
• Hargana kompetitif & Waktos pangiriman gancang;
• Sababaraha partnership industri di sakumna dunya;
Kami ngabagéakeun anjeun nganjang ka pabrik sareng laboratorium kami iraha waé!
