Porösen Tantalkarbidbeschichtete Grafitråd
Poréis Tantalkarbid (TaC) beschichtete Graphitass e Schlësselmaterial, dat speziell fir déi héichtemperaturéiert, staark korrosiv Ëmfeld vun der Hallefleederproduktioun entwéckelt gouf. Säi Substrat ass héichreine isostatesche Graphit, deen mat enger gläichméisseg poröser Tantalcarbidbeschichtung mat Hëllef vun enger chemescher Dampfoflagerung (CVD) beschichtet ass. TaC huet eng extrem héich Häert (9-10 op der Mohs-Skala) an e Schmelzpunkt vun 3880°C. Kombinéiert mat der exzellenter thermescher Stabilitéit a Liichtgewiichtseigenschaften vum Graphit kombinéiert dëst Material Héichtemperaturfestigkeit mat Resistenz géint chemeschen Attacken an Thermoschock, wat et zu enger idealer Wiel fir Hallefleederprozessausrüstung mécht, déi ënner extremen Bedéngungen funktionéiert.
Virdeeler vum porösen Tantalkarbidgrafit:
1. Ultrahéich Korrosiounsbeständegkeet
-TaC ass chemesch inert, hält effektiv géint Korrosioun duerch Halogenen wéi Fluor a Chlor stand, wat d'Liewensdauer vun der Ausrüstung däitlech verlängert.
-Déi poréis Struktur erhéicht d'Uewerfläch vun der Beschichtung, bildt eng méi robust Schutzbarriär an reduzéiert de Risiko vu Partikeloffäll.
2. Excellent Héichtemperaturstabilitéit
-Mat engem Schmelzpunkt vu bal 4000 °C kann et fir verlängert Perioden a Vakuum oder inerten Atmosphären iwwer 2500 °C funktionéieren.
-Den thermeschen Ausdehnungskoeffizient vun der Beschichtung ass staark mat deem vum Graphit iwwereneestëmmt, wat Rëssbildung an Delaminatioun verhënnert, déi duerch thermesch Zyklen verursaacht ginn.
3. Héich Rengheet a geréng Kontaminatioun
-Mat Hëllef vu Rohmaterialien a Prozesser vu Hallefleederqualitéit ass den Unreinheetsgehalt vu Metaller extrem niddreg, wat de Risiko vun der Waferkontaminatioun däitlech reduzéiert.
-D'Uewerfläch ass dicht a chemesch stabil, wat d'Partikelbildung reduzéiert a streng Reinigungsnormen erfëllt.
4. Benotzerdefinéiert Design
Komplex Forme kënnen no Clientzeechnunge produzéiert ginn, an d'Porositéit an d'Beschichtungsdicke kënne kontrolléiert ginn, fir en optimale Gasfluss an eng optimal Wärmeleitfäegkeet z'erreechen.
5. Laang Liewensdauer a niddreg Ënnerhaltskäschten
Déi extrem héich Korrosiouns- a Verschleißbeständegkeet vu porösen TaC-Beschichtungen erhéicht d'Liewensdauer vun de Komponenten ëm den 3-5-Facht am Verglach mat traditionellem Graphit, wouduerch d'Ersatzfrequenz an d'Ënnerhaltskäschte reduzéiert ginn.
Haaptapplikatiounen
1. Kärkomponenten fir d'Waferproduktioun
- Reaktiounskammerauskleeder, Deckel a Duschkapp fir CVD/ALD-Ausrüstung
- PVD Zilënnerstëtzungen
- Héichtemperaturprozesskomponenten fir Diffusioun, Oxidatioun, Glühen an aner Prozesser
2. Chemesch Gasoflagerungssystemer
- Schutz vu Schlësselkomponenten a staark korrosiven Ëmfeld (wéi Fluoriden a Chloriden) während dem Prozess
3. Aner korrosiv Ëmfeld mat héijen Temperaturen
- Gëeegent fir chemesch Gasreinigung, spezialiséiert Hëtztbehandlungsuewen an aner Uwendungen.
VET Energy ass e professionnelle Produzent, dee sech op d'Fuerschung an d'Entwécklung a Produktioun vun héichwäertege Materialien wéi Graphit, Siliziumcarbid a Quarz konzentréiert, souwéi op d'Materialveraarbechtung wéi SiC-Beschichtungen, TaC-Beschichtungen, glasartiger Kuelestoffbeschichtungen, pyrolytescher Kuelestoffbeschichtungen, etc. D'Produkter gi wäit verbreet an der Photovoltaik, am Hallefleederberäich, an der neier Energie, an der Metallurgie, etc. benotzt.
Eis technesch Equipe kënnt vun den Top-Fuerschungsinstituter aus dem Inland a kann Iech méi professionell Materialléisungen ubidden.
D'Virdeeler vun der VET Energy enthalen:
• Eege Fabréck a professionellt Laboratoire;
• Industrieféierend Rengheetsniveauen a Qualitéit;
• Kompetitive Präis & séier Liwwerzäit;
• Vill Partnerschafte mat der Industrie weltwäit;
Mir invitéieren Iech zu all Moment eis Fabréck a Laboratoire ze besichen!
